基于近红外光谱在皮瓣移植术后的监测系统 被引量：3

1

作者 张锦龙 辛明 +4 位作者 樊琳琳 张峰 员琳 韩笑笑 杨濠琨 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期91-95,共5页

皮下组织血氧参量是反映皮瓣移植术后皮瓣存活状况的重要依据。为了无创、连续、实时地监测皮肤组织氧饱和度,采用近红外光谱法进行了理论分析和实验验证,提出了一种电流-电压(I-V)转换思路并搭建了测量系统。利用该系统进行了稳定性验... 皮下组织血氧参量是反映皮瓣移植术后皮瓣存活状况的重要依据。为了无创、连续、实时地监测皮肤组织氧饱和度,采用近红外光谱法进行了理论分析和实验验证,提出了一种电流-电压(I-V)转换思路并搭建了测量系统。利用该系统进行了稳定性验证实验、前臂静脉阻断模拟皮瓣血管栓塞实验。结果表明,不同人体、不同部位的组织氧饱和度存在微小差异,差异幅度均在0.05左右;静脉阻断下系统组织氧参量发生显著改变,最大降幅0.25。该系统具有较高灵敏度,能够连续测量组织氧饱和度参量、反映组织氧变化趋势,可以为临床检测术后皮瓣血氧运输状态提供重要参考。 展开更多

关键词 生物光学 组织氧饱和度 近红外光谱 皮瓣移植 术后监测

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血氧传感器中光源与探测器距离的研究 被引量：3

2

作者 张锦龙 张峰 +4 位作者 樊琳琳 韩笑笑 员琳 辛明 杨濠琨 《光电子技术》 CAS 北大核心 2019年第4期244-247,252,共5页

为研究光密度空间分布的规律,分析了近红外光经过人体组织时的漫射路径,研究了基于近似漫射解的组织血氧饱和度算法,提出了检测光密度空间分布的方法并搭建系统进行测试。结果表明:不同波长的近红外光在手臂组织中有不同的光密度空间分... 为研究光密度空间分布的规律,分析了近红外光经过人体组织时的漫射路径,研究了基于近似漫射解的组织血氧饱和度算法,提出了检测光密度空间分布的方法并搭建系统进行测试。结果表明:不同波长的近红外光在手臂组织中有不同的光密度空间分布,对于波长为850、940 nm的近红外光,光密度空间分布的线性区分别在20~40 mm、20~35 mm。传感器中光源到探测器的距离应选择在光密度空间分布的公共线性区。研究结果对探究组织中光密度的空间分布和设计组织血氧传感器结构具有指导意义。 展开更多

关键词 漫射近似解 光密度空间分布 漫射光强 组织血氧饱和度 血氧传感器

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双层管式微型光纤光栅传感器封装技术 被引量：3

3

作者 张锦龙 员琳 +2 位作者 韩笑笑 张峰 樊琳琳 《光通信技术》 北大核心 2019年第6期5-8,共4页

为满足厦门鹭岛柔直换流站示范工程中换流阀绝缘栅双极型晶体管(IGBT)结温监测系统对光纤光栅传感器的需求,设计了双层管式微型光纤布喇格光栅(FBG)传感器。采用点胶式和灌胶与点胶结合式2种封装方法,实现了直径为1.2mm圆柱形极小尺寸封... 为满足厦门鹭岛柔直换流站示范工程中换流阀绝缘栅双极型晶体管(IGBT)结温监测系统对光纤光栅传感器的需求,设计了双层管式微型光纤布喇格光栅(FBG)传感器。采用点胶式和灌胶与点胶结合式2种封装方法,实现了直径为1.2mm圆柱形极小尺寸封装,通过搭建实验平台对其进行温度特性标定和重复性测试。实验结果表明:封装后的光纤光栅温度特性良好,二次拟合优度均达到0.999以上,并且均具有很好的重复性;其尺寸和性能完全满足工程现场参数要求,适用于对传感器结构参数和兼容性要求较高的场合。 展开更多

关键词 光纤光栅 温度传感器 微型双端封装 双层管式

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高速球轴承?转子系统动态性能的分析与优化 被引量：5

4

作者 张锦龙 王彦伟 黄正东 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期57-61,共5页

针对轴承刚度随转速呈非线性变化的特点,基于角接触球轴承拟静力学模型,考虑轴承内圈离心位移的影响,运用数值方法对轴承和轴承组的动刚度进行了计算。在此基础上,根据轴承-转子系统的有限元模型建立了动力学方程,并编制数值迭代程序求... 针对轴承刚度随转速呈非线性变化的特点,基于角接触球轴承拟静力学模型,考虑轴承内圈离心位移的影响,运用数值方法对轴承和轴承组的动刚度进行了计算。在此基础上,根据轴承-转子系统的有限元模型建立了动力学方程,并编制数值迭代程序求解其特征值,进而得到了系统的临界转速。由于转速对轴承(组)动刚度的影响,在每一次迭代计算中,需根据前次迭代计算出的临界转速求解前、后轴承(组)的动刚度,重建系统的有限元模型,因此结合Matlab优化工具箱,运用单纯形法对转子内径与轴承跨距进行了优化。分析结果表明:通过优化转子内径与轴承跨距,轴承-转子系统的一阶临界转速提高了7.65%,由于转速与内圈离心位移对轴承或轴承组动刚度的影响很大,因此在高速轴承-转子系统的动态分析中应考虑该影响因素。 展开更多

关键词 高速球轴承-转子系统 角接触球轴承 动态刚度 临界转速

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1064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法 被引量：11

5

作者 周刚 马彬 +5 位作者 焦宏飞 丁涛 张锦龙 沈正祥 程鑫彬 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期963-968,共6页

参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准,分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式,在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结果,比较并分析了这... 参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准,分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式,在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结果,比较并分析了这4种测量方式之间的差异,重点研究了R-on-1和光栅扫描测量方式中存在的激光预处理效应对薄膜损伤阈值的影响,以及辐照激光光斑尺寸与损伤阈值之间的联系,并讨论了光栅扫描方式中预处理效应与扫描间距和扫描能量密度梯度的关系。研究表明:R-on-1方式下测得的损伤阈值最高,光栅扫描和1-on-1次之,S-on-1最小;1 000个脉冲激光辐照下的累积效应不显著,并且在激光光斑尺寸的差异较小时,阈值与光斑尺寸的对应关系并不明显;光斑尺寸相同时,扫描光斑的间距越小,激光预处理效果越好。 展开更多

关键词 高反射薄膜 激光损伤阈值 激光预处理 光斑尺寸 光栅扫描

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一种半导体激光器驱动电源的设计 被引量：19

6

作者 林咏海 毛海涛 +4 位作者 张锦龙 冯伟 柴秀丽 牛金星 李方正 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期14-14,17,共2页

根据半导体激光器的光功率与电流的关系,通过慢启动电路,纹波调零电路,功率稳恒电路等解决了使用中在工作温度范围内其输出功率不稳定的问题。本文设计的电路稳定度达到4×10-4。

关键词 半导体激光器 功率增益自动控制电路 驱动电源

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半导体激光器与变芯径光纤实用化耦合技术研究 被引量：7

7

作者 牛金星 毛海涛 +5 位作者 李方正 张锦龙 王庆国 柴秀丽 林咏海 冯伟 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期424-426,共3页

文中提出了一种新的实用化光纤耦合方案,将大芯径石英光纤的一端熔成球形(用于与半导体激光器的耦合),另一端拉制成变芯径光纤,这样有利于与其它光学系统的连接。结果表明:采用该方法耦合效率达到75%左右,同时大大地增加了耦合系统的失... 文中提出了一种新的实用化光纤耦合方案,将大芯径石英光纤的一端熔成球形(用于与半导体激光器的耦合),另一端拉制成变芯径光纤,这样有利于与其它光学系统的连接。结果表明:采用该方法耦合效率达到75%左右,同时大大地增加了耦合系统的失调容差,降低了调试和封装的难度,因而有着广泛的实际应用价值。 展开更多

关键词 半导体激光器 球彩透镜 耦合效率 变芯径光纤

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SiO2/HfO2高反射膜的研制 被引量：4

8

作者 程鑫彬 沈正祥 +4 位作者 焦宏飞 马彬 张锦龙 丁涛 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1276-1280,共5页

主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸发时的氧分压可以有... 主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸发时的氧分压可以有效地将薄膜的应力控制在-250～-50 MPa。同时采用金属Hf蒸发可以显著地将节瘤缺陷密度从12.6mm-2降低至2.7mm-2,同时将损伤阈值从30J/cm2提高至55J/cm2。 展开更多

关键词 应力 面形 吸收 节瘤缺陷 预处理 激光损伤

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地球静止轨道遥感相机一体化设计 被引量：9

9

作者 王跃 李世其 +2 位作者 张锦龙 高有道 刘川 《航天返回与遥感》 北大核心 2016年第4期40-48,共9页

文章针对地球静止轨道遥感器设计需求,运用光机热集成设计的方法对相机进行了一体化设计。通过复合支撑方法实现了大口径Si C主镜的高稳定性支撑,保证了反射镜面形的稳定性;相机主体结构在兼顾双通道集成支撑与装调基础上,通过优化设计... 文章针对地球静止轨道遥感器设计需求,运用光机热集成设计的方法对相机进行了一体化设计。通过复合支撑方法实现了大口径Si C主镜的高稳定性支撑,保证了反射镜面形的稳定性;相机主体结构在兼顾双通道集成支撑与装调基础上,通过优化设计,保证了相机结构的高刚度、高稳定性;相机的隔振系统针对卫星基频进行了解耦设计,保证相机镜头的安全性;相机遮光罩通过结构及热控一体化设计,有效降低了热控功耗;相机整机力学试验及真空热试验的MTF测试结果表明,相机主体具有较高的稳定性。 展开更多

关键词 地球静止轨道 一体化设计 遥感相机 红外 “高分四号”卫星

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光学表面功率谱密度的表征 被引量：5

10

作者 张磊 程鑫彬 +1 位作者 张锦龙 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期3707-3712,共6页

以硅基板镀制单层Hf O_2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD_(1D))、二维功率谱密度(PSD_(2D))以及各向同性功率谱密度(PSD_(ISO))的计算方法和具体步骤。然后... 以硅基板镀制单层Hf O_2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD_(1D))、二维功率谱密度(PSD_(2D))以及各向同性功率谱密度(PSD_(ISO))的计算方法和具体步骤。然后使用原子力显微镜测量了硅基板镀膜前后在1μm×1μm、5μm×5μm、10μm×10μm、20μm×20μm四种扫描尺寸下的表面轮廓。在此基础上使用MATLAB编程计算得到这四种扫描尺寸下的PSD_(ISO),对这些PSD_(ISO)使用几何平均算法拼接得到具有足够大频率范围的PSD_(ISO-Combined)。结果显示,硅基板镀膜前后的PSD_(ISO-Combined)在低频段基本相同,中高频段出现了明显差异。分析指出这是由镀膜后表面柱状晶体结构引起的。提出了对PSDISO在频域上积分得到表面均方根粗糙度σ_(ISO),再同由定义式计算得到的σ_(STD)作对比的方法。计算得到的σ_(ISO)与σ_(STD)基本相同,验证了PSD_(ISO)计算方法的准确性。 展开更多

关键词 表面微观形貌 功率谱密度 原子力显微镜

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微波消融术治疗上气道阻塞 被引量：7

11

作者 李玲波 林琳 +6 位作者 甘柳萍 韦孟灵 覃冠锻 金淑华 陈子松 封继明 张锦龙 《中国耳鼻咽喉头颈外科》 北大核心 2006年第4期265-267,共3页

目的探讨微波消融术治疗鼾症和阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(obstructivesleepapneahypopneasyndrome,OSAHS)的临床疗效。方法应用微波微创技术对8例鼾症和48例OSAHS患者进行治疗,术前及术后6个月进行多导睡眠监测(polysomnography,P... 目的探讨微波消融术治疗鼾症和阻塞性睡眠呼吸暂停低通气综合征(obstructivesleepapneahypopneasyndrome,OSAHS)的临床疗效。方法应用微波微创技术对8例鼾症和48例OSAHS患者进行治疗,术前及术后6个月进行多导睡眠监测(polysomnography,PSG)。结果56例患者治疗后咽腔宽敞,手术前后比较呼吸暂停低通气指数(apneahyponeaindex,AHI)均值、最低血氧饱和度(LSaO2)均值及鼾声指数差异有高度显著性(P<0.01)。治愈36例,有效15例,无效5例,总有效率91.1%。结论微波消融术是一项新的微创、安全、有效的治疗方法,在治疗鼾症和轻及中度OSAHS中具有一定的优越性。 展开更多

关键词 打鼾 睡眠呼吸暂停 阻塞性 微波 外科手术 微创性

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催化动力学光度法测定茶叶中硒浸出率 被引量：5

12

作者 赖海涛 苏国成 张锦龙 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第20期282-285,共4页

在盐酸介质中,硒(Ⅳ)能强烈催化溴酸钾氧化亚甲基蓝使之褪色,据此建立测定痕量硒(Ⅳ)的催化动力学光度法,在选定的条件下,硒(Ⅳ)的测定线性范围为0～0.6μg/50mL,检出限3.63×10-10g/mL。本实验通过催化动力学光度法可测出茶叶中原... 在盐酸介质中,硒(Ⅳ)能强烈催化溴酸钾氧化亚甲基蓝使之褪色,据此建立测定痕量硒(Ⅳ)的催化动力学光度法,在选定的条件下,硒(Ⅳ)的测定线性范围为0～0.6μg/50mL,检出限3.63×10-10g/mL。本实验通过催化动力学光度法可测出茶叶中原茶及冲泡后硒(Ⅳ)含量,计算可得茶叶中硒(Ⅳ)浸出率。通过对铁观音、绿茶、红茶进行测定,其浸出率分别为24.7%、25.3%、22.7%,结果令人满意。 展开更多

关键词 茶叶 硒(Ⅳ) 浸出率 催化动力学光度法

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不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性 被引量：3

13

作者 马宏平 程鑫彬 +2 位作者 张锦龙 王占山 唐永建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期182-187,共6页

在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si... 在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si O2反射膜,利用四种尺寸的单分散的Si O2小球形成人工节瘤,来研究薄膜镀制工艺和节瘤尺寸对节瘤损伤生长特性的影响。激光损伤测试结果表明:节瘤损伤生长阈值基本随节瘤尺寸的增加而减小。EB工艺制备的反射膜中,四种尺寸节瘤的损伤生长阈值都高于其初始损伤阈值,而IAD工艺制备的反射膜中结果则相反。另外,IAD工艺要比EB工艺制备的反射膜中的节瘤在发生初始损伤后更易于损伤生长,说明薄膜镀制工艺对节瘤的损伤生长速度有一定的影响。 展开更多

关键词 人工节瘤 激光损伤 损伤生长 镀制工艺

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一种大入射角容差宽带薄膜偏振器 被引量：3

14

作者 刘永利 张锦龙 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期130-135,共6页

通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器。该薄膜为HfO_2/SiO_2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO_2制得。对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其... 通过组合长波通和短波通膜堆的方法,设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器。该薄膜为HfO_2/SiO_2结构,采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺,蒸发金属铪和SiO_2制得。对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究,结果显示其不仅在1044~1084 nm波段内都具有很高的对比度,而且在1064 nm波长、53°~60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值,且损伤特性基本不随入射角变化。该偏振器的P光损伤阈值约为20 J/cm^2,损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起;S光损伤阈值约为45 J/cm^2,损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起。 展开更多

关键词 薄膜偏振器 入射角 电子束蒸发 激光损伤阈值 损伤形貌

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功率自适应LD开关电源的设计 被引量：2

15

作者 陈瑞霞 孟展 +2 位作者 白金柯 毛海涛 张锦龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期961-964,共4页

设计了一种基于开关电源的具有功率自适应功能的半导体激光器(LD)驱动电源,以单片机作为控制核心,结合外围硬件系统,利用PID算法,通过改变开关电源绝缘门极晶闸管(IGBT)的占空比实现了LD的恒流驱动和功率自适应调节。经实验证明,该驱动... 设计了一种基于开关电源的具有功率自适应功能的半导体激光器(LD)驱动电源,以单片机作为控制核心,结合外围硬件系统,利用PID算法,通过改变开关电源绝缘门极晶闸管(IGBT)的占空比实现了LD的恒流驱动和功率自适应调节。经实验证明,该驱动电路纹波系数低、效率高,光功率输出稳定度优于0.5%,可满足LD实际工作的需要。 展开更多

关键词 半导体激光器 开关电源 功率自适应 PID算法

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高损伤阈值三倍频分离膜 被引量：1

16

作者 王孝东 张锦龙 +3 位作者 马彬 焦宏飞 丁涛 程鑫彬 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1882-1884,共3页

设计了Nd:YAG激光用三倍频分离膜,膜层材料为SiO2和HfO2。经过优化,膜系在355 nm处的反射率在99%以上,在532 nm和1 064 nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术,在熔融石英基底上制备了样品,经测量,制备的分离膜光学性能与设计值接... 设计了Nd:YAG激光用三倍频分离膜,膜层材料为SiO2和HfO2。经过优化,膜系在355 nm处的反射率在99%以上,在532 nm和1 064 nm处透射率也在99%以上。采用电子束蒸发技术,在熔融石英基底上制备了样品,经测量,制备的分离膜光学性能与设计值接近。分离膜在355 nm激光辐照下的损伤阈值为5.1 J/cm2,并用微分干涉显微镜表征了薄膜损伤形貌。 展开更多

关键词 三倍频分离膜 电子束蒸发 激光损伤阈值 光学薄膜

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一种新型光纤光栅无线传感网络及路由设计 被引量：1

17

作者 王葵如 李成 +1 位作者 张锦龙 赵德新 《光通信研究》 北大核心 2009年第2期3-5,56,共4页

传统的光纤光栅传感网络具有灵活性低、移动性差等缺点。文章作者构建了一种新型的光纤光栅无线传感网络,该网络融合了无线通信和光纤光栅传感的优点。同时还设计了节点结构,并根据实际应用场景提出了该传感网络的路由协议——RT(路由... 传统的光纤光栅传感网络具有灵活性低、移动性差等缺点。文章作者构建了一种新型的光纤光栅无线传感网络,该网络融合了无线通信和光纤光栅传感的优点。同时还设计了节点结构,并根据实际应用场景提出了该传感网络的路由协议——RT(路由选择表)协议。在NS2(Network Simulator)中,从分组投递率、时延和能耗等3方面与Flooding协议进行了比较分析,结果显示RT协议更适合该新型传感网络。 展开更多

关键词 光纤光栅传感 无线传感器网络 路由

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近红外激光薄膜的损伤特性与抗损伤性能提升研究

18

作者 焦宏飞 张学敏 +3 位作者 程鑫彬 张锦龙 马彬 王占山 《上海航天》 CSCD 2018年第1期1-8,共8页

在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法。结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系... 在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法。结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系结构可以大大降低薄膜中由节瘤缺陷引起的电场增强效应,大幅提升损伤阈值2~3倍;对于透射元件,采用合理的刻蚀工艺可有效降低薄膜中的吸收缺陷,有效提升其损伤阈值约1.5倍。 展开更多

关键词 激光薄膜 激光损伤 损伤阈值 近红外 节瘤缺陷 吸收缺陷 反射元件 透射元件

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食道异物及并发症的护理

19

作者 张锦龙 廖惠娟 《华夏医学》 1998年第3期122-123,共2页

食道异物及并发症的护理张锦龙廖惠娟（广西柳州市工人医院柳州市５４５００５）关键词食道异物；护理；并发症食道异物是耳鼻咽喉科常见的急诊之一，也是构成事故性死亡的一个原因［１］。常见的异物有鸡骨、鱼骨、鸭骨、假牙等，还有... 食道异物及并发症的护理张锦龙廖惠娟（广西柳州市工人医院柳州市５４５００５）关键词食道异物；护理；并发症食道异物是耳鼻咽喉科常见的急诊之一，也是构成事故性死亡的一个原因［１］。常见的异物有鸡骨、鱼骨、鸭骨、假牙等，还有小儿误吞下的别针、钱币、话梅核。由... 展开更多

关键词 食道异物 护理 并发症

全文增补中

HfO_2-SiO_2混合膜力学性能 被引量：2

20

作者 卜笑庆 张锦龙 +2 位作者 潘峰 刘华松 樊荣伟 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第9期215-220,共6页

利用离子辅助电子束双源共蒸发工艺方法,制备了SiO_2掺杂含量分别为0、13%、20%、30%、40%和100%的六组HfO_2-SiO_2混合膜。采用纳米压痕法测量了不同组分混合膜的杨氏模量和硬度,并研究了混合膜杨氏模量和硬度随SiO_2含量增长的变化规... 利用离子辅助电子束双源共蒸发工艺方法,制备了SiO_2掺杂含量分别为0、13%、20%、30%、40%和100%的六组HfO_2-SiO_2混合膜。采用纳米压痕法测量了不同组分混合膜的杨氏模量和硬度,并研究了混合膜杨氏模量和硬度随SiO_2含量增长的变化规律。结果显示,随着SiO_2含量增加,混合膜杨氏模量和硬度均减小,双组分复合材料并联模型可以较好地拟合杨氏模量随混合膜SiO_2含量变化关系。为了解释混合膜力学性能随SiO_2含量变化规律,对混合膜进行了XRD测试,研究了混合膜微观结构与杨氏模量和硬度的关系,发现结晶对硬度影响显著,对杨氏模量影响较小;用Zygo干涉仪测量了样品的面形,获得了薄膜残余应力随SiO_2含量的变化规律,表明SiO_2掺杂能减小HfO_2薄膜压应力。 展开更多

关键词 混合膜 杨氏模量 硬度 应力 纳米压痕

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