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题名大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究
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作者
祁森
刘庆纲
李锁印
张超艳
胡小唐
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第5期264-267,共4页
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基金
天津市自然基金项目资助(06YFJZJC01000)
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文摘
为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究。本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比,得到所有的重复性百分比都小于1%,表明文中所提供的加工条件下,加工钛膜具有很好的重复性。同时,通过点阵列与线阵列的理论变换方法,进一步验证了在加工氧化钛线时采用0.1μm/s扫描速度的正确性。
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关键词
加工重复性
原子力显微镜阳极氧化加工
最大残差法
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Keywords
process reproducibility
AFM anodic oxidation
method of maximum surplus error
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分类号
TQ153.6
[化学工程—电化学工业]
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题名数字化平台在浙江岱山县防汛防台风中的应用和思考
被引量：5
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作者
牟杰
张超艳
郑海伦
张炳武
虞武磊
汤燕芬
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机构
浙江省应急管理科学研究院
岱山县应急管理局
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出处
《中国防汛抗旱》
2023年第3期47-50,共4页
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文摘
防汛防台风是海岛县区应急管理工作中面临的重要课题,数字化平台是一个较为有效的手段。基于浙江岱山县面临的灾害现状,结合现有平台的优势和不足,对视频分析、物联监测、基础信息统计展示、安全码转移及台风路径、强度变化监测等数字化技术在防汛防台风中的运用进行思考,建立了一套较为方便实用的作战指挥体系和标准化流程,在有限的时间内最大限度发挥各类信息效能,保证灾害的精准预防和应对。
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关键词
防汛防台风
数字化平台
浙江岱山县
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Keywords
flood and typhoon defense
digital platform
Daishan County of Zhejiang Province
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分类号
P429
[天文地球—大气科学及气象学]
P444
[天文地球—大气科学及气象学]
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