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镀铜厚度对裸铜框架抗氧化性能的影响 被引量:2
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作者 张胡军 进兵 +4 位作者 安飞 雷育恒 温莉 刘殿龙 李习周 《电子与封装》 2013年第1期9-11,16,共4页
采用双臂电桥法测量了不同氧化程度的裸铜框架的电阻,在此基础上分析了烘箱内氧浓度、烘烤温度和框架表面镀铜厚度对框架氧化程度的影响。研究发现,在氧浓度≤0.1%的氮气保护环境中,经过180℃烘烤60min后,裸铜框架的氧化程度大于... 采用双臂电桥法测量了不同氧化程度的裸铜框架的电阻,在此基础上分析了烘箱内氧浓度、烘烤温度和框架表面镀铜厚度对框架氧化程度的影响。研究发现,在氧浓度≤0.1%的氮气保护环境中,经过180℃烘烤60min后,裸铜框架的氧化程度大于无氮气保护下100℃烘烤60min后的氧化程度;镀铜层能有效提高裸铜框架在100-180℃范围内的抗氧化能力,镀铜层较厚(1.0岬)的裸铜框架的抗氧化能力优于镀铜层较薄(0.5岬)的裸铜框架的抗氧化能力。 展开更多
关键词 裸铜框架 双臂电桥 电阻 镀铜厚度
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铜框架表面氧化过程及氧化膜厚度测量 被引量:1
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作者 运娟 张胡军 +1 位作者 何文海 高睿 《中国集成电路》 2014年第4期55-58,76,共5页
在集成电路封装过程中,表面氧化是制约铜框架大批量应用于生产的主要原因,而框架表面氧化程度的测量和管控是铜框架应用于封装的关键点。本文运用金属氧化理论阐述了铜框架表面氧化过程及机理;进行铜框架烘烤氧化实验后测量框架表面的... 在集成电路封装过程中,表面氧化是制约铜框架大批量应用于生产的主要原因,而框架表面氧化程度的测量和管控是铜框架应用于封装的关键点。本文运用金属氧化理论阐述了铜框架表面氧化过程及机理;进行铜框架烘烤氧化实验后测量框架表面的氧化膜厚度,通过对测量数据拟合得到铜框架氧化膜生长曲线,从而可以预测铜框架在封装过程中的氧化程度,为集成电路封装工艺的设计和管控提供依据。 展开更多
关键词 铜框架 表面氧化 氧化膜厚度
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