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基于VO_(2)热相变的光子晶体波导开关
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作者 刘海 邵齐元 +3 位作者 张砚曾 赵嘉 陈聪 白冰冰 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期267-271,293,共6页
基于相变材料VO_(2),设计了一款光子晶体波导结构的光开关。通过在硅波导中填充SU-8包层对温度灵敏度做补偿,降低了波导开关的温度敏感特性。采用热驱动开关实现了1591 nm波长处约9.5 dB的消光比。同时提出一种新型级联波导来优化开关结... 基于相变材料VO_(2),设计了一款光子晶体波导结构的光开关。通过在硅波导中填充SU-8包层对温度灵敏度做补偿,降低了波导开关的温度敏感特性。采用热驱动开关实现了1591 nm波长处约9.5 dB的消光比。同时提出一种新型级联波导来优化开关结构,实现了27.46 dB的消光比。 展开更多
关键词 光学开关设备 光子晶体 热光效应 波导
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