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航空发动机涡轮叶片温度测量综述被引量：36: 1; 作者王超苟学科 +13 位作者段英胡俊张泽展杨洋姜晶蒋洪川丁杰雄程玉华李力张江梅陈洪敏熊兵刘先富石小江《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期501-512,共12页; 简要介绍了航空发动机涡轮叶片表面温度的几种主要测量方法,总结了热电偶、晶体、示温漆、荧光、光纤、以及红外辐射、多光谱等测温方法的的测温原理、技术特点和国内外研究现状,并在此基础上对将来涡轮叶片温度测量发展方向进行了展望.; 关键词涡轮叶片温度测量辐射测温; 在线阅读下载PDF 职称材料

氮化物外延生长在线监测技术被引量：3: 2; 作者王超张泽展 +6 位作者陈磊王飞胡俊梁莹林姜晶杨萍马铁中《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期650-658,共9页; 金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材... 展开更多; 关键词曲率测量生长信息红外测温 MOCVD在线监测技术光致发光; 在线阅读下载PDF 职称材料

集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术被引量：11: 3; 作者贾镜材钟业奎 +2 位作者张泽展姜晶王超《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期15-29,共15页; 随着集成电路的不断发展,低功耗与小面积逐渐成为芯片设计中的重要指标,促使形成电路的器件尺寸不断降低。在半导体芯片制造过程中,越小的器件尺寸对工艺过程中温度控制的精度要求越高,晶圆温度的轻微偏离和高于1%的温度不均匀性将会直... 展开更多; 关键词温度监测晶圆接触式非接触式; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	航空发动机涡轮叶片温度测量综述	王超苟学科段英胡俊张泽展杨洋姜晶蒋洪川丁杰雄程玉华李力张江梅陈洪敏熊兵刘先富石小江	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2018	36	在线阅读下载PDF 职称材料
2	氮化物外延生长在线监测技术	王超张泽展陈磊王飞胡俊梁莹林姜晶杨萍马铁中	《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	集成电路制造过程中的晶圆温度监测技术	贾镜材钟业奎张泽展姜晶王超	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	11	在线阅读下载PDF 职称材料