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真空炉传热与水冷技术研究
1
作者
宋涛
张柏诚
+1 位作者
姜正鹤
张黎源
《工业加热》
2025年第3期47-50,共4页
针对高温真空炉壁的水冷水道选型设计困难,而传统水道设计方法依赖经验的现状,提出了一套适用于真空炉壁水冷水道的设计方法。在带反射屏炉衬的辐射传热环境下,该方法首先用玻尔兹曼定律计算通过反射屏损失的热流量;其次利用比例法计算...
针对高温真空炉壁的水冷水道选型设计困难,而传统水道设计方法依赖经验的现状,提出了一套适用于真空炉壁水冷水道的设计方法。在带反射屏炉衬的辐射传热环境下,该方法首先用玻尔兹曼定律计算通过反射屏损失的热流量;其次利用比例法计算反射屏炉衬边缘损失的热流量,即可得到真空炉体损失的热流量;再次通过比热容公式计算冷却水的体积流量与水管当量直径;最后通过仿真实验对设计的真空炉体进行验证。结果表明,设计的真空炉体在辐射传热中的炉体内壁温度小于310 K,基本上与计算结果一致。该方法计算的结果与仿真实验结果具有较高的一致性,可满足类似真空炉体水冷水道散热系统的设计。
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关键词
真空炉体
辐射传热
水冷壁
设计选型
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职称材料
用β二酮类金属有机前驱体原子层沉积金属薄膜
2
作者
曲有志
贾毅
+4 位作者
张柏诚
汤文辉
杨长伟
夏洋
姚树玉
《材料保护》
CSCD
北大核心
2016年第S1期14-18,共5页
在现代纳米科技中,三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构,在微电子、光电子、磁存储和催化等多个领域有着广泛的应用前景。本文以β二酮类金属有机前驱体(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子层沉积(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉积贵...
在现代纳米科技中,三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构,在微电子、光电子、磁存储和催化等多个领域有着广泛的应用前景。本文以β二酮类金属有机前驱体(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子层沉积(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉积贵金属(Ir、Pd、Pt)和过渡金属(Cu)。采取X射线衍射(XRD)、能谱测试(EDS)、X射线电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等手段对金属薄膜的结构、形貌进行研究。结果表明,沉积在衬底上的Ir、Pt均为金属单质而Cu和Pd中含有一定量的氧化物和硅化物,可能由于钯粒子的扩散形成硅化物和铜暴露空气中被氧化的原因。通过对这类β二酮类金属有机前驱体沉积金属薄膜过程的研究,可以发现其中的共通性,并将其拓展到其他金属薄膜的沉积。
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关键词
β二酮类金属有机前驱体
原子层沉积
金属薄膜
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职称材料
题名
真空炉传热与水冷技术研究
1
作者
宋涛
张柏诚
姜正鹤
张黎源
机构
核工业理化工程研究院激光技术研究所
出处
《工业加热》
2025年第3期47-50,共4页
文摘
针对高温真空炉壁的水冷水道选型设计困难,而传统水道设计方法依赖经验的现状,提出了一套适用于真空炉壁水冷水道的设计方法。在带反射屏炉衬的辐射传热环境下,该方法首先用玻尔兹曼定律计算通过反射屏损失的热流量;其次利用比例法计算反射屏炉衬边缘损失的热流量,即可得到真空炉体损失的热流量;再次通过比热容公式计算冷却水的体积流量与水管当量直径;最后通过仿真实验对设计的真空炉体进行验证。结果表明,设计的真空炉体在辐射传热中的炉体内壁温度小于310 K,基本上与计算结果一致。该方法计算的结果与仿真实验结果具有较高的一致性,可满足类似真空炉体水冷水道散热系统的设计。
关键词
真空炉体
辐射传热
水冷壁
设计选型
Keywords
vacuum furnace body
radiative heat transfer
water-cooled wall
design selection
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
用β二酮类金属有机前驱体原子层沉积金属薄膜
2
作者
曲有志
贾毅
张柏诚
汤文辉
杨长伟
夏洋
姚树玉
机构
山东科技大学材料学院
中科院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
出处
《材料保护》
CSCD
北大核心
2016年第S1期14-18,共5页
文摘
在现代纳米科技中,三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构,在微电子、光电子、磁存储和催化等多个领域有着广泛的应用前景。本文以β二酮类金属有机前驱体(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子层沉积(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉积贵金属(Ir、Pd、Pt)和过渡金属(Cu)。采取X射线衍射(XRD)、能谱测试(EDS)、X射线电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等手段对金属薄膜的结构、形貌进行研究。结果表明,沉积在衬底上的Ir、Pt均为金属单质而Cu和Pd中含有一定量的氧化物和硅化物,可能由于钯粒子的扩散形成硅化物和铜暴露空气中被氧化的原因。通过对这类β二酮类金属有机前驱体沉积金属薄膜过程的研究,可以发现其中的共通性,并将其拓展到其他金属薄膜的沉积。
关键词
β二酮类金属有机前驱体
原子层沉积
金属薄膜
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空炉传热与水冷技术研究
宋涛
张柏诚
姜正鹤
张黎源
《工业加热》
2025
0
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职称材料
2
用β二酮类金属有机前驱体原子层沉积金属薄膜
曲有志
贾毅
张柏诚
汤文辉
杨长伟
夏洋
姚树玉
《材料保护》
CSCD
北大核心
2016
0
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职称材料
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