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热熔融自回流方法制备硫化物玻璃非线性集成光学波导(特邀)
被引量:
1
1
作者
齐人铎
翟彦芬
+1 位作者
张巍
(
指导
)
黄翊东
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第5期46-59,共14页
硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点。对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制...
硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点。对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制备硫化物玻璃波导的工艺。该方法避免了对硫化物玻璃薄膜完整性的破坏,以及光刻胶显影液对硫化物玻璃材料的腐蚀作用,可以得到高质量的具有小模场面积的倒脊型硫化物玻璃波导。实验测试表明,采用热熔融自回流方法制备的硫化物玻璃波导具有良好的三阶非线性光学特性和受激布里渊散射特性。最后,展望了采用该方法发展硫化物玻璃非线性集成光学器件及其片上系统的研究方向和前景。
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关键词
硫化物玻璃
非线性光学器件
集成光学波导
三阶光学非线性
受激布里渊散射
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职称材料
题名
热熔融自回流方法制备硫化物玻璃非线性集成光学波导(特邀)
被引量:
1
1
作者
齐人铎
翟彦芬
张巍
(
指导
)
黄翊东
机构
清华大学电子工程系
奥地利半导体实验室
北京量子信息科学研究院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第5期46-59,共14页
基金
北京市自然科学基金(No.Z180012)
国家重点研发计划(No.2018YFB2200400)
+2 种基金
国家自然科学基金(Nos.61875101,91750206)
北京量子信息科学研究院项目(No.Y18G26)
清华大学自主科研项目。
文摘
硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点。对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制备硫化物玻璃波导的工艺。该方法避免了对硫化物玻璃薄膜完整性的破坏,以及光刻胶显影液对硫化物玻璃材料的腐蚀作用,可以得到高质量的具有小模场面积的倒脊型硫化物玻璃波导。实验测试表明,采用热熔融自回流方法制备的硫化物玻璃波导具有良好的三阶非线性光学特性和受激布里渊散射特性。最后,展望了采用该方法发展硫化物玻璃非线性集成光学器件及其片上系统的研究方向和前景。
关键词
硫化物玻璃
非线性光学器件
集成光学波导
三阶光学非线性
受激布里渊散射
Keywords
Chalcogenide glass
Nonlinear photonic device
Integrated optical waveguide
The third order nonlinearity
Stimulated Brillouin scattering
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热熔融自回流方法制备硫化物玻璃非线性集成光学波导(特邀)
齐人铎
翟彦芬
张巍
(
指导
)
黄翊东
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
1
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