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新一代纳米级器件物理特性仿真工具——SenTaurus Device 被引量：2: 1; 作者张宪敏李惠军 +1 位作者侯志刚于英霞《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期299-304,共6页; 介绍了Synopsys Inc.新近推出的新一代纳米层次器件物理特性仿真工具——SenTaurus Device的功能特点以及进行器件物理特性仿真的典型流程。重点介绍了为实现nm级器件物理特性的模拟引入的诸多近代器件物理模型。利用SenTaurus Device... 展开更多; 关键词集成电路纳米层次场效应晶体管非局域隧穿小尺寸效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

新一代nm级集成工艺仿真工具——SenTaurus Process 被引量：1: 2; 作者于英霞李惠军 +1 位作者侯志刚张宪敏《微纳电子技术》 CAS 2007年第5期231-234,245,共5页; 介绍了新思科技(Synopsys Inc.)最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具——Sen-Taurus Process的基本功能及其仿真领域,详细阐述了SenTaurus Process功能的拓展。对SenTau-rus Process增加的模型库浏览器(PDB)、一维模拟结果输出(Insp... 展开更多; 关键词集成电路纳米层次工艺仿真可制造性设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于SWB环境下的nm级NMOS虚拟优化: 3; 作者吴胜龙刘岩 +3 位作者赵守磊李惠军于英霞张宪敏《微纳电子技术》 CAS 2008年第3期140-144,共5页; 介绍了Synopsys Inc.推出的新一代(第五代)nm级TCAD仿真平台--Sentaurus Work-bench(SWB)的系统结构、基本功能及其优化功能,重点介绍了SWB的DOE及RSM优化机制。基于SWB环境实现了nm级NMOS集成化管芯的可制造性设计及优化。在对NMOS集... 展开更多; 关键词纳米层次可制造性设计虚拟工厂工艺优化集成电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米级工艺制程仿真SenTaurus Process的应用: 4; 作者于英霞李惠军 +1 位作者侯志刚张宪敏《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期295-298,311,共5页; 基于Synopsys Inc.最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具--SenTaurus Process,实现了CMOS架构的nm级NMOS制程的工艺级可制造性设计。仿真结果体现了SenTaurus Process的强大功能和使用SenTaurus Process进行工艺级可制造性设计的必... 展开更多; 关键词集成电路纳米层次工艺仿真可制造性设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

超深亚微米器件的失效机理及其可靠性研究: 5; 作者侯志刚许新新 +2 位作者张宪敏于英霞李惠军《电子质量》 2005年第12期39-42,共4页; 集成电路的集成度不断攀升,集成化器件的特征尺寸已进入超深亚微米层次。小尺寸制造进程、超微细结构及超低功耗的工作环境,使诸多寄生效应、小尺寸效应严重地影响着器件的性能、电路的寿命。本文论述了基于超深亚微米层次小尺寸效应的... 展开更多; 关键词超大规模集成电路特征尺寸超深亚微米小尺寸效应失效可靠性; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新一代纳米级器件物理特性仿真工具——SenTaurus Device 被引量：2: 1; 作者张宪敏李惠军侯志刚于英霞; 机构山东大学孟尧微电子研发中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期299-304,共6页; 文摘介绍了Synopsys Inc.新近推出的新一代纳米层次器件物理特性仿真工具——SenTaurus Device的功能特点以及进行器件物理特性仿真的典型流程。重点介绍了为实现nm级器件物理特性的模拟引入的诸多近代器件物理模型。利用SenTaurus Device对基于Sentaurus Process生成的一个90nm NMOS器件进行了器件物理特性仿真,并给出了相应结果。; 关键词集成电路纳米层次场效应晶体管非局域隧穿小尺寸效应; Keywords IC nano-level MOSFET nonloeal tunneling small scale effect; 分类号 TN431.1 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新一代nm级集成工艺仿真工具——SenTaurus Process 被引量：1: 2; 作者于英霞李惠军侯志刚张宪敏; 机构山东大学孟尧微电子研发中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 2007年第5期231-234,245,共5页; 文摘介绍了新思科技(Synopsys Inc.)最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具——Sen-Taurus Process的基本功能及其仿真领域,详细阐述了SenTaurus Process功能的拓展。对SenTau-rus Process增加的模型库浏览器(PDB)、一维模拟结果输出(Inspect)及二、三维模拟结果输出(Tecplot SV)工具进行了介绍。重点介绍了SenTaurus Process所嵌入的诸多小尺寸模型。; 关键词集成电路纳米层次工艺仿真可制造性设计; Keywords IC nano-level process simulation design for manufacturing （DFM）; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于SWB环境下的nm级NMOS虚拟优化: 3; 作者吴胜龙刘岩赵守磊李惠军于英霞张宪敏; 机构山东大学孟壳微电子研发中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 2008年第3期140-144,共5页; 文摘介绍了Synopsys Inc.推出的新一代(第五代)nm级TCAD仿真平台--Sentaurus Work-bench(SWB)的系统结构、基本功能及其优化功能,重点介绍了SWB的DOE及RSM优化机制。基于SWB环境实现了nm级NMOS集成化管芯的可制造性设计及优化。在对NMOS集成化管芯的设计过程中,围绕Vt进行了可制造性设计,利用DOE试验方法和RSM对Vt进行了优化,得到了阈值电压(Vt)和调阈值注入剂量(Vt_Dose)、能量(Vt_Energy)及抑制穿通注入剂量(PNCH_Dose)、能量(PNCH_Energy)之间的RSM响应表面关系。在此基础上,分析了Vt各影响因素与Vt之间的关系,从而指导了在Vt的设计过程中各个主要影响参数的选取。; 关键词纳米层次可制造性设计虚拟工厂工艺优化集成电路; Keywords nano-level design for manufacturing virtual factory process optimization integrated circuit; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN386.1 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米级工艺制程仿真SenTaurus Process的应用: 4; 作者于英霞李惠军侯志刚张宪敏; 机构山东大学孟尧微电子研发中心; 出处《微纳电子技术》 CAS 2007年第6期295-298,311,共5页; 文摘基于Synopsys Inc.最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具--SenTaurus Process,实现了CMOS架构的nm级NMOS制程的工艺级可制造性设计。仿真结果体现了SenTaurus Process的强大功能和使用SenTaurus Process进行工艺级可制造性设计的必要性。; 关键词集成电路纳米层次工艺仿真可制造性设计; Keywords IC nano-level process simulation design for manufacturing （DFM）; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名超深亚微米器件的失效机理及其可靠性研究: 5; 作者侯志刚许新新张宪敏于英霞李惠军; 机构山东大学孟堯微电子研发中心; 出处《电子质量》 2005年第12期39-42,共4页; 文摘集成电路的集成度不断攀升,集成化器件的特征尺寸已进入超深亚微米层次。小尺寸制造进程、超微细结构及超低功耗的工作环境,使诸多寄生效应、小尺寸效应严重地影响着器件的性能、电路的寿命。本文论述了基于超深亚微米层次小尺寸效应的诱因分析及器件,重点剖析了陷阱效应、短沟效应、热载流子效应和栅氧击穿对器件可靠性的影响。在此基础上,提出了抑制小尺寸效应、提高器件失效阈值、保障器件可靠性的若干工艺措施。; 关键词超大规模集成电路特征尺寸超深亚微米小尺寸效应失效可靠性; Keywords VLSI Characterlatic dimension VDSM Small dimension effect Fallure Reliablllty; 分类号 TN403 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新一代纳米级器件物理特性仿真工具——SenTaurus Device	张宪敏李惠军侯志刚于英霞	《微纳电子技术》 CAS	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	新一代nm级集成工艺仿真工具——SenTaurus Process	于英霞李惠军侯志刚张宪敏	《微纳电子技术》 CAS	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于SWB环境下的nm级NMOS虚拟优化	吴胜龙刘岩赵守磊李惠军于英霞张宪敏	《微纳电子技术》 CAS	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	纳米级工艺制程仿真SenTaurus Process的应用	于英霞李惠军侯志刚张宪敏	《微纳电子技术》 CAS	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	超深亚微米器件的失效机理及其可靠性研究	侯志刚许新新张宪敏于英霞李惠军	《电子质量》	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料