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硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
被引量：
1
1
作者
贺锋涛
王晓琳
+2 位作者
张凯
米波
张冠芳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-74,共4页
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振...
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
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关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
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职称材料
基于光纤振动幅度的激光散斑控制
被引量：
1
2
作者
贺锋涛
左波
张冠芳
《西北大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期28-30,共3页
实验以单片机AT89C51为核心控制器件,采用AD9850型DDS器件产生幅度可调的正弦波信号,再经ULN2003驱动器音圈电机振动。通过控制光纤振动幅度实现了激光成像系统中激光散斑噪声的存在使得图像灰度剧烈变化,降低了图像分辨率,影响成像质...
实验以单片机AT89C51为核心控制器件,采用AD9850型DDS器件产生幅度可调的正弦波信号,再经ULN2003驱动器音圈电机振动。通过控制光纤振动幅度实现了激光成像系统中激光散斑噪声的存在使得图像灰度剧烈变化,降低了图像分辨率,影响成像质量。本文以AT89C51单片机为核心控制器件,采用AD9850型DDS器件产生幅度可调的正弦波信号,再经ULN2003驱动器驱动音圈电机振动,通过光纤振动实现了激光成像系统中激光散斑噪声的控制。在电压幅度0～3.0V振动范围内,随着电压幅度增加,图像散斑的平均对比度整体趋势减小,并在电压幅度2.2V时平均对比度获得了最小值0.06,达到了良好的散斑控制效果。
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关键词
单片机
AD9850
散斑对比度
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职称材料
题名
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
被引量：
1
1
作者
贺锋涛
王晓琳
张凯
米波
张冠芳
机构
西安邮电大学电子工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期71-74,共4页
基金
国家自然科学基金项目(No.61201193)
陕西省自然基金基础研究计划项目(No.2012JQ8014)资助
文摘
为了解决可见光显微成像技术无法实现硅基芯片内部结构观测的问题,根据1 064nm的红外激光对硅材料具有一定穿透深度的特性,设计了一种硅基半导体芯片激光红外显微成像系统.该系统采用数值孔径为0.42的长工作距显微物镜,通过音圈电机振动多模石英光纤消除散斑噪音,由系统观察CD-RW盘片道间距,表明系统分辨率可达到1.6μm,接近理论值,实现了对芯片厚度为70μm的静态随机存储器内部结构显微成像的观测.
关键词
半导体芯片
激光红外显微成像
多模石英光纤
音圈电机
Keywords
Semiconductor chip
Infrared laser micro-imaging
Multimode silica fiber
Voice coil motor
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于光纤振动幅度的激光散斑控制
被引量：
1
2
作者
贺锋涛
左波
张冠芳
机构
西安邮电大学电子工程学院
出处
《西北大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期28-30,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(61201193)
陕西省自然科学基金基础研究计划资助项目(2012JQ8014)
文摘
实验以单片机AT89C51为核心控制器件,采用AD9850型DDS器件产生幅度可调的正弦波信号,再经ULN2003驱动器音圈电机振动。通过控制光纤振动幅度实现了激光成像系统中激光散斑噪声的存在使得图像灰度剧烈变化,降低了图像分辨率,影响成像质量。本文以AT89C51单片机为核心控制器件,采用AD9850型DDS器件产生幅度可调的正弦波信号,再经ULN2003驱动器驱动音圈电机振动,通过光纤振动实现了激光成像系统中激光散斑噪声的控制。在电压幅度0～3.0V振动范围内,随着电压幅度增加,图像散斑的平均对比度整体趋势减小,并在电压幅度2.2V时平均对比度获得了最小值0.06,达到了良好的散斑控制效果。
关键词
单片机
AD9850
散斑对比度
Keywords
single chip computer
AD9850
speckle contrast
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅基半导体芯片激光红外显微成像系统研究
贺锋涛
王晓琳
张凯
米波
张冠芳
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于光纤振动幅度的激光散斑控制
贺锋涛
左波
张冠芳
《西北大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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职称材料
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