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接近式步进全息干涉拼接曝光实现的大口径液晶偏振光栅制备
1
作者
王晨
房启鹏
+4 位作者
江飞宇
廖铖凯
孙秀辉
胡超
尹韶云
《液晶与显示》
北大核心
2025年第9期1268-1274,共7页
大口径的液晶偏振光栅由于其高效率、无惯性的优势,在光束指向扫描模组中具有广泛的潜在应用。受限于偏振全息干涉曝光光路元件的口径,难以通过单次曝光制备口径在2 in(1 in=2.54 cm)以上的液晶偏振光栅。本文提出了接近式步进全息干涉...
大口径的液晶偏振光栅由于其高效率、无惯性的优势,在光束指向扫描模组中具有广泛的潜在应用。受限于偏振全息干涉曝光光路元件的口径,难以通过单次曝光制备口径在2 in(1 in=2.54 cm)以上的液晶偏振光栅。本文提出了接近式步进全息干涉拼接曝光方法,通过与曝光基片接近放置的掩模版,实现单次曝光区域位置的精确控制。配合高精度位移台,实现了大口径液晶偏振光栅的步进式拼接曝光。本文所制备光栅幅面达150 mm,拼接缝隙仅为26.4μm,衍射效率达96.86%。本文为大口径光束的高效偏转提供了新的思路。
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关键词
液晶偏振光栅
全息干涉曝光
光配向
液晶聚合物
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职称材料
题名
接近式步进全息干涉拼接曝光实现的大口径液晶偏振光栅制备
1
作者
王晨
房启鹏
江飞宇
廖铖凯
孙秀辉
胡超
尹韶云
机构
中国科学院重庆绿色智能技术研究院
重庆邮电大学电子科学与工程学院
出处
《液晶与显示》
北大核心
2025年第9期1268-1274,共7页
基金
国家自然科学基金面上项目(No.62175239)
国家重点研发计划(No.2024YFF0726302)
重庆市北碚区科技人才与自主创新专项(No.2024-17).
文摘
大口径的液晶偏振光栅由于其高效率、无惯性的优势,在光束指向扫描模组中具有广泛的潜在应用。受限于偏振全息干涉曝光光路元件的口径,难以通过单次曝光制备口径在2 in(1 in=2.54 cm)以上的液晶偏振光栅。本文提出了接近式步进全息干涉拼接曝光方法,通过与曝光基片接近放置的掩模版,实现单次曝光区域位置的精确控制。配合高精度位移台,实现了大口径液晶偏振光栅的步进式拼接曝光。本文所制备光栅幅面达150 mm,拼接缝隙仅为26.4μm,衍射效率达96.86%。本文为大口径光束的高效偏转提供了新的思路。
关键词
液晶偏振光栅
全息干涉曝光
光配向
液晶聚合物
Keywords
liquid crystal polarization gratings
holographic interference exposure
photoalignment
liquid crystal polymer
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
O753.2 [理学—晶体学]
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出处
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1
接近式步进全息干涉拼接曝光实现的大口径液晶偏振光栅制备
王晨
房启鹏
江飞宇
廖铖凯
孙秀辉
胡超
尹韶云
《液晶与显示》
北大核心
2025
0
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