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掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究
被引量：
1
1
作者
陈真英
聂鹏
+4 位作者
廖庆佳
黄文华
孟炎
熊定康
邓文
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期1077-1081,共5页
采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO（掺钛氧化锌）薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO 薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c 轴择优取向的六...
采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO（掺钛氧化锌）薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO 薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c 轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1500 ℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区（400-760nm）有较高的平均透过率91.16%,较低电阻率1.07×10^-4 Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.
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关键词
掺钛氧化锌薄膜
磁控溅射
保温时间
微结构
光电性能
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职称材料
题名
掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究
被引量：
1
1
作者
陈真英
聂鹏
廖庆佳
黄文华
孟炎
熊定康
邓文
机构
广西大学物理科学与工程技术学院
广西大学行健文理学院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期1077-1081,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11265002)
广西自然科学重点基金资助项目(2010GXNSFD013036)
广西大学行健文理学院科研基金资助项目(2014ZKLX01)
文摘
采用射频磁控溅射法,以不同保温时间的掺钛氧化锌为靶材在普通玻璃衬底上制备了TZO（掺钛氧化锌）薄膜样品,测试其微结构和光电性能,从而获得制备性能优越的TZO 薄膜所需靶材的最佳条件.测试结果表明,所有样品均为具有c 轴择优取向的六角铅锌矿多晶纳米薄膜;靶材烧结温度和保温时间对薄膜微结构和光电性能有较大影响;以经1500 ℃烧结并保温6h的靶材所制备的薄膜光电性能较好,具有较大晶粒尺寸,在可见光区（400-760nm）有较高的平均透过率91.16%,较低电阻率1.07×10^-4 Ω·cm,较高的载流子浓度和较大迁移率.
关键词
掺钛氧化锌薄膜
磁控溅射
保温时间
微结构
光电性能
Keywords
TZO thin films
magnetron sputtering
heat-preservation time
microstructure
optoelectronic properties
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
掺钛氧化锌纳米薄膜微结构及其光电性能研究
陈真英
聂鹏
廖庆佳
黄文华
孟炎
熊定康
邓文
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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