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准分子激光淀积装置真空系统的设计
1
作者
穆仲良
何永国
+1 位作者
廖信生
张素明
《南京大学学报（自然科学版）》
CSCD
1994年第4期607-613,共7页
设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气...
设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气的情况下将样品转移至主室。文中描述了关键部件的功能与结构。
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关键词
真空系统
准分子激光
烧蚀法
超导薄膜
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职称材料
题名
准分子激光淀积装置真空系统的设计
1
作者
穆仲良
何永国
廖信生
张素明
机构
南京大学仪器厂
出处
《南京大学学报（自然科学版）》
CSCD
1994年第4期607-613,共7页
基金
国家自然科学基金
南京大学固体微结构物理实验室资助
文摘
设计了一种用准分子激光烧蚀法制备高温超导薄膜与器件的真空系统．它由主室、副室、若干机械手、分子泵等组成．主室允许人们轮流淀积５种不同材料的薄膜并能原位更换掩模，副室可实现等离子体刻蚀或反应离子刻蚀，随后可在不暴露大气的情况下将样品转移至主室。文中描述了关键部件的功能与结构。
关键词
真空系统
准分子激光
烧蚀法
超导薄膜
Keywords
Vacuum system,superconducting thin film,Excimer laser ablation technique
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.05 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
准分子激光淀积装置真空系统的设计
穆仲良
何永国
廖信生
张素明
《南京大学学报（自然科学版）》
CSCD
1994
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