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集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的校验被引量：2: 1; 作者阮刚庞海舟冒慧敏《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期26-29,共4页; 本文对知名的集成电路工艺模拟软件ＳＳＵＰＲＥＭ４进行了较仔细的校验，用ＳＳＵＰＲＥＭ４模拟了氧化、扩散工艺，并同实验值进行了比较，模拟值和实验值的偏差在１０％以内，与集成电路器件模拟软件ＳＰＩＳＣＥＳ联用校验了ＳＳ... 展开更多; 关键词集成电路工艺模拟软件校验 SSUPREM4; 在线阅读下载PDF 职称材料

集成电路工艺模拟软件SSUPREM4的应用: 2; 作者朱兆旻阮刚 +1 位作者冒慧敏庞海舟《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期29-32,51,共5页; 采用集成电路工艺模拟软件ＳＳＵＰＲＥＭ４模拟了氧化、扩散工艺，并同实验值进行了比较，模拟值和实验值的偏差在１０％以内。与集成电路器件模拟软件Ｓ－ＰＩＳＣＥＳ联用模拟了ＳＳＵＰＲＥＭ４的全工序，并把它应用于实际生... 展开更多; 关键词集成电路 SSUPREM4 工艺模拟软件; 在线阅读下载PDF 职称材料

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