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洁净室粒子沉积机理 被引量:1
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作者 怀特 库斯 +1 位作者 德科 王大千 《洁净与空调技术》 2025年第1期11-15,共5页
讨论了颗粒在洁净室表面上沉积的机理。对于约大于0.5μm的颗粒来说,主导的机理是重力沉降。而紊流沉积和静电吸引可能发生在所有粒径的颗粒上。对于0.5μm以下的颗粒,布朗扩散很重要。对不同方向和不同通风条件下暴露的验证板上≥10μ... 讨论了颗粒在洁净室表面上沉积的机理。对于约大于0.5μm的颗粒来说,主导的机理是重力沉降。而紊流沉积和静电吸引可能发生在所有粒径的颗粒上。对于0.5μm以下的颗粒,布朗扩散很重要。对不同方向和不同通风条件下暴露的验证板上≥10μm的颗粒进行了颗粒沉积速率(PDR)的测量,由此得出的结论是,超过80%的颗粒沉积为重力沉积,另外一半以上可能是紊流沉积。 展开更多
关键词 机理 粒子 沉积 重力
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洁净室空气颗粒沉积:沉积速率与空气浓度的关系
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作者 怀特 库斯 +1 位作者 德科 王大千 《洁净与空调技术》 2025年第2期12-18,共7页
讨论空气中颗粒在洁净室表面沉积的系列文章中的第二篇。它通过了解颗粒在空气中的沉降速度,研究了某个范围的累积粒径颗粒在空气中的浓度与其在洁净室表面上的沉积速率(PDR)之间的关系。而一系列累积粒径的沉降速度,是通过实验、理论... 讨论空气中颗粒在洁净室表面沉积的系列文章中的第二篇。它通过了解颗粒在空气中的沉降速度,研究了某个范围的累积粒径颗粒在空气中的浓度与其在洁净室表面上的沉积速率(PDR)之间的关系。而一系列累积粒径的沉降速度,是通过实验、理论计算和文献检索中获得的。还研究了洁净室中发现的一些变量及其对沉降速度的影响。讨论了使用沉降速度计算洁净室表面(如制成品)上的沉积量,以及它在决定所需的、按ISO14644-1中粒子浓度划分的洁净室空气洁净度等级中的意义;这些主题将在本系列的最后一篇文章中进行更深入的讨论。 展开更多
关键词 机理 粒子 沉积 重力
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