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高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD
被引量：
6
1
作者
常开朋
程文娟
+3 位作者
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期382-385,共4页
本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石...
本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石膜具有较优的质量。
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关键词
质量
金刚石膜
无氧铜
衬底
MPCVD
微波等离子体化学气相沉积
表征
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职称材料
金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积
被引量：
2
2
作者
常开朋
程文娟
+3 位作者
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期610-612,共3页
采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了...
采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。
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关键词
金刚石膜
SI(100)
硅衬底
微波等离子体化学气相沉积
铜网
模板
选择沉积
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职称材料
题名
高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD
被引量：
6
1
作者
常开朋
程文娟
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
机构
清华大学化学系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期382-385,共4页
文摘
本文采用高纯无氧铜 (Cu)片作为基片 ,用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统 ,制备出了高质量多晶金刚石膜。用场发射扫描电子显微镜 (SEM)、Raman散射谱和X射线衍射谱 (XRD)对制备的金刚石膜进行了表征与分析 ,其结果证明金刚石膜具有较优的质量。
关键词
质量
金刚石膜
无氧铜
衬底
MPCVD
微波等离子体化学气相沉积
表征
Keywords
diamond films
Cu substrate
MPCVD
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积
被引量：
2
2
作者
常开朋
程文娟
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
机构
清华大学化学系功能晶体与薄膜研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期610-612,共3页
文摘
采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在sj(100)衬底上金刚石膜的选择沉积。用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析。并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较。结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高。
关键词
金刚石膜
SI(100)
硅衬底
微波等离子体化学气相沉积
铜网
模板
选择沉积
Keywords
diamond films
Si (100) substrates
MPCVD
分类号
TQ164.8 [化学工程—高温制品工业]
O782 [理学—晶体学]
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题名
作者
出处
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1
高质量金刚石膜在无氧铜衬底上的MPCVD
常开朋
程文娟
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
6
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职称材料
2
金刚石膜在Si(100)衬底上的选择沉积
常开朋
程文娟
江锦春
张阳
朱鹤孙
沈德忠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
2
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职称材料
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