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微机械及微细加工方法的研究
被引量：
2
1
作者
于殿泓
魏正英
+2 位作者
郭俊杰
卢秉恒
山本昌彦
《西安理工大学学报》
CAS
2001年第1期74-77,共4页
基于光固化快速成型制造技术 ,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术 ,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板 (光敏树脂固化物 )镀膜的新方案 ,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器 ,并介绍了其加工制作的工艺...
基于光固化快速成型制造技术 ,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术 ,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板 (光敏树脂固化物 )镀膜的新方案 ,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器 ,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的 ,从而开辟了微细加工的新途径。
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关键词
微细加工
快速成型
光刻
牺牲层
化学镀膜
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职称材料
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
被引量：
1
2
作者
于殿泓
郭俊杰
+2 位作者
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可...
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。
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关键词
微激励器
立体成型
静电力
稳定平衡
微机电
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职称材料
平面曝光型光造型装置的研究
被引量：
1
3
作者
于殿泓
山本昌彦
郭俊杰
《西安理工大学学报》
CAS
2000年第1期65-68,共4页
微型光造型法的一个很大的缺点是构造物的制造时间长。为了解决这一问题 ,在报告微型光固化立体成型法现状的基础上 ,提出了一种新颖的平面曝光型光造型方案 ,设计并制作了实验装置 ,利用热敏色带制作微型平面掩膜 ,进行了平面固化成型...
微型光造型法的一个很大的缺点是构造物的制造时间长。为了解决这一问题 ,在报告微型光固化立体成型法现状的基础上 ,提出了一种新颖的平面曝光型光造型方案 ,设计并制作了实验装置 ,利用热敏色带制作微型平面掩膜 ,进行了平面固化成型实验。实验结果表明 ,利用平面曝光型光造型方案进行成型 ,单层硬化时间可缩短至 1 2 0
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关键词
平面曝光
立体光成型法
光造型装置
微型机器
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职称材料
题名
微机械及微细加工方法的研究
被引量：
2
1
作者
于殿泓
魏正英
郭俊杰
卢秉恒
山本昌彦
机构
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
西安交通大学
日本国近畿大学
出处
《西安理工大学学报》
CAS
2001年第1期74-77,共4页
文摘
基于光固化快速成型制造技术 ,结合光刻技术、牺牲层技术以及化学镀膜技术 ,研究了一种新型的微细加工方法。提出了非导电极板 (光敏树脂固化物 )镀膜的新方案 ,设计了一种有较大驱动位移的微型电容式激励器 ,并介绍了其加工制作的工艺流程。实验结果表明此微细加工方法是可行的 ,从而开辟了微细加工的新途径。
关键词
微细加工
快速成型
光刻
牺牲层
化学镀膜
Keywords
micro fabrication
rapid prototyping
photo etching
sacrificial layer
electro less plating
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
被引量：
1
2
作者
于殿泓
郭俊杰
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
机构
西安理工大学机械与精密仪器学院
西安交通大学机械工程学院
日本国近畿大学理工学部
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第1期47-50,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目!(5 95 75 0 71) .
文摘
介绍了一种新型的微细加工方法 ,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤 ,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性 ,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围 ,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线 。
关键词
微激励器
立体成型
静电力
稳定平衡
微机电
Keywords
Lithography
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
平面曝光型光造型装置的研究
被引量：
1
3
作者
于殿泓
山本昌彦
郭俊杰
机构
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
日本国近畿大学理工学部
出处
《西安理工大学学报》
CAS
2000年第1期65-68,共4页
文摘
微型光造型法的一个很大的缺点是构造物的制造时间长。为了解决这一问题 ,在报告微型光固化立体成型法现状的基础上 ,提出了一种新颖的平面曝光型光造型方案 ,设计并制作了实验装置 ,利用热敏色带制作微型平面掩膜 ,进行了平面固化成型实验。实验结果表明 ,利用平面曝光型光造型方案进行成型 ,单层硬化时间可缩短至 1 2 0
关键词
平面曝光
立体光成型法
光造型装置
微型机器
Keywords
planar exposure
photograph curing stereolithography
photocurable resin
thermal printing thin film
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械及微细加工方法的研究
于殿泓
魏正英
郭俊杰
卢秉恒
山本昌彦
《西安理工大学学报》
CAS
2001
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于立体成型法的微激励器静态特性分析
于殿泓
郭俊杰
李涤尘
卢秉恒
山本昌彦
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
平面曝光型光造型装置的研究
于殿泓
山本昌彦
郭俊杰
《西安理工大学学报》
CAS
2000
1
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职称材料
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参考文献
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