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微纳薄膜器件的电阻率精确测量方法
1
作者
吴蕾
居冰峰
+1 位作者
杨春晖
林军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期572-576,共5页
微纳级别的铝薄膜因宽度和厚度尺寸缩小其试件尺寸接近电极的最小间距、电极间的位置误差等因素的影响,导致电阻率四电极法在测量过程中产生较大的误差。通过对微纳级的导电薄膜的四电极测量法进行数学建模分析,建立了新的四电极测量法...
微纳级别的铝薄膜因宽度和厚度尺寸缩小其试件尺寸接近电极的最小间距、电极间的位置误差等因素的影响,导致电阻率四电极法在测量过程中产生较大的误差。通过对微纳级的导电薄膜的四电极测量法进行数学建模分析,建立了新的四电极测量法数学计算模型,提供精确的电阻率修正系数,并利用基于原子力显微镜的四电极电阻率测量技术精确测量了厚度为400 nm、宽度为30μm的铝薄膜的电阻率,且取不同的作用力重复实验。实验结果证明,基于修正后数学模型的微四电极技术对微纳级别薄膜的电阻率测量方面的准确性和稳定性。
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关键词
四电极
电阻率
精密测量
数学计算模型
微纳薄膜
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职称材料
ELID镜面磨削用铸铁超硬砂轮的快速精密整形研究
被引量：
2
2
作者
王平
张春河
+2 位作者
居冰峰
张飞虎
袁哲俊
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第6期112-116,共5页
介绍了对铸铁微细金刚石、ＣＢＮ砂轮采用电解－机械复合快速精密整形方法，修整后的砂轮径向跳动量小于１μｍ砂轮表面光滑，形状精度高，磨粒等高性好，适合起精密镜面磨削用。此法还具有修整时间短、成本低、砂轮变形小的特点。
关键词
铸铁砂轮
整形
镜面磨削
砂轮
超硬砂轮
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职称材料
题名
微纳薄膜器件的电阻率精确测量方法
1
作者
吴蕾
居冰峰
杨春晖
林军
机构
工业和信息化部电子第五研究所
浙江大学流体传动及控制国家重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期572-576,共5页
文摘
微纳级别的铝薄膜因宽度和厚度尺寸缩小其试件尺寸接近电极的最小间距、电极间的位置误差等因素的影响,导致电阻率四电极法在测量过程中产生较大的误差。通过对微纳级的导电薄膜的四电极测量法进行数学建模分析,建立了新的四电极测量法数学计算模型,提供精确的电阻率修正系数,并利用基于原子力显微镜的四电极电阻率测量技术精确测量了厚度为400 nm、宽度为30μm的铝薄膜的电阻率,且取不同的作用力重复实验。实验结果证明,基于修正后数学模型的微四电极技术对微纳级别薄膜的电阻率测量方面的准确性和稳定性。
关键词
四电极
电阻率
精密测量
数学计算模型
微纳薄膜
Keywords
four-point-probe
resistivity
accurate measurement
mathematical model
micro-nanofilm
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
ELID镜面磨削用铸铁超硬砂轮的快速精密整形研究
被引量：
2
2
作者
王平
张春河
居冰峰
张飞虎
袁哲俊
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第6期112-116,共5页
基金
国家自然科学基金
教委博士点基金
文摘
介绍了对铸铁微细金刚石、ＣＢＮ砂轮采用电解－机械复合快速精密整形方法，修整后的砂轮径向跳动量小于１μｍ砂轮表面光滑，形状精度高，磨粒等高性好，适合起精密镜面磨削用。此法还具有修整时间短、成本低、砂轮变形小的特点。
关键词
铸铁砂轮
整形
镜面磨削
砂轮
超硬砂轮
Keywords
Cast Iron wheel, electrolysis, PCD stick, Truing
分类号
TG580.68 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微纳薄膜器件的电阻率精确测量方法
吴蕾
居冰峰
杨春晖
林军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
2
ELID镜面磨削用铸铁超硬砂轮的快速精密整形研究
王平
张春河
居冰峰
张飞虎
袁哲俊
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
2
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职称材料
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参考文献
引证文献
统计分析
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