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准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜被引量：2: 1; 作者尹广玥游利兵 +4 位作者陈星邵景珍陈亮王庆胜方晓东《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期219-225,共7页; 准分子激光线形光束在多晶硅薄膜的工业生产中有重要应用。基于自行研制的激光退火设备输出的线形XeCl准分子激光对等离子体增强化学气相沉积制备的大尺寸非晶硅薄膜进行退火处理。研究了线形光束的能量密度、辐照数量对薄膜晶化程度的... 展开更多; 关键词薄膜多晶硅准分子激光退火能量密度搭接率线形光束; 在线阅读下载PDF 职称材料

焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器被引量：2: 2; 作者王庆胜游利兵 +2 位作者尹广玥褚状状方晓东《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期13-16,共4页; 研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得出了最佳气体组分,... 展开更多; 关键词非链式 HF激光器磁脉冲压缩开关紫外预电离; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统被引量：3: 3; 作者尹广玥游利兵方晓东《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期383-387,共5页; 介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准... 展开更多; 关键词激光技术平板显示准分子激光退火低温多晶硅光束整形匀光; 在线阅读下载PDF 职称材料

紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展被引量：4: 4; 作者陈亮游利兵 +3 位作者王庆胜尹广玥褚状状方晓东《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期619-625,共7页; 激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱的元素分析技术,是元素分析领域重要的研究手段。作为LIBS分析的激发光源,紫外激光具有光子能量大、空间分辨率高等优点,可以提高烧蚀效率、减少分馏效应,在地质检测和生物医药检测方... 展开更多; 关键词光谱学激光诱导击穿光谱紫外激光光谱分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

应用LIBS技术检测食盐中的镉被引量：10: 5; 作者陈亮游利兵 +2 位作者罗贤锋尹广玥方晓东《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期6-10,共5页; 为了实现食盐中重金属镉(Cd)的快速定量检测,以193nm的自制准分子激光器作为激发光源,通过外部添加重金属元素Cd制作了8组食盐样品,采用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术,选取CdⅠ228.8nm特征谱线作为分析线,进行了理论分析和实验验证。结果... 展开更多; 关键词光谱学快速检测激光诱导击穿光谱食盐镉; 在线阅读下载PDF 职称材料

紫外飞秒激光的脉宽测量方法被引量：6: 6; 作者陈星游利兵 +1 位作者尹广玥方晓东《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期205-211,共7页; 相对于近红外波段的飞秒激光脉冲,紫外波段的飞秒脉冲由于具有单光子能量高、聚焦特性好、电离率高和成丝阈值低等优点,在高功率密度光场的产生、等离子体光物理等领域有着越来越广阔的应用前景,成为激光技术的研究热点。随着紫外飞秒... 展开更多; 关键词激光技术紫外飞秒脉冲互相关法多光子电离法双光子荧光法脉宽测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

聚合物光纤光栅制备进展被引量：3: 7; 作者褚状状游利兵 +3 位作者王庆胜尹广玥陈亮方晓东《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期11-18,共8页; 聚合物光纤光栅不仅具有体积小、质量轻、柔软、成本低等诸多优点,还因聚合物自身的特性而具有灵敏度高、响应范围宽、生物兼容性等优良特性。首先梳理了聚合物光纤的光敏性机理,概述了聚合物光纤光栅制备的刻蚀光源和方法;其次根据聚... 展开更多; 关键词光栅聚合物光纤光敏机制光纤布喇格光栅长周期光栅; 在线阅读下载PDF 职称材料

通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文) 被引量：1: 8; 作者邱红松游利兵 +2 位作者王庆胜尹广玥方晓东《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期296-300,共5页; 分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程... 展开更多; 关键词激光技术 KrF准分子激光器气体分压优化气体混合物缓冲气体; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜被引量：2: 1; 作者尹广玥游利兵陈星邵景珍陈亮王庆胜方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室中国科学技术大学; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期219-225,共7页; 基金安徽省国际合作项目 1403062009~~; 文摘准分子激光线形光束在多晶硅薄膜的工业生产中有重要应用。基于自行研制的激光退火设备输出的线形XeCl准分子激光对等离子体增强化学气相沉积制备的大尺寸非晶硅薄膜进行退火处理。研究了线形光束的能量密度、辐照数量对薄膜晶化程度的影响,讨论了制备的大尺寸多晶硅薄膜的晶化体积分数及均匀性。实验结果表明,薄膜晶化的阈值为194 mJ·cm^(-2);薄膜的晶化体积分数随能量密度先线性增大,再缓慢减小,线性增长因子约为0.3,当能量密度为432 mJ·cm^(-2)时,晶化程度最优;当辐照数量超过20次时,薄膜的晶化体积分数维持稳定;当光斑搭接率为93.7%时,制备的大尺寸多晶硅薄膜右侧区域的晶化体积分数为92.26%,相对标准差为1.56%,略好于左侧区域。该工作为线形光束晶化非晶硅薄膜的研究及准分子激光线形光束退火设备的国产化及提供了参考。; 关键词薄膜多晶硅准分子激光退火能量密度搭接率线形光束; Keywords thin films poly-silicon excimer laser annealing energy density overlap ratio line shape laser beam; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器被引量：2: 2; 作者王庆胜游利兵尹广玥褚状状方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期13-16,共4页; 基金国家自然科学基金项目(61205138); 文摘研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得出了最佳气体组分,确定了最佳工作气压。总气压在8.8kPa,气体组分H2与SF6气压比为1:9时,获得最佳的激光输出,输出能量达到1.3J,激光器的光电转换效率达到2.4%。; 关键词非链式 HF激光器磁脉冲压缩开关紫外预电离; Keywords non-chain HF Laser magnetic pulse compression switch ultraviolet spark pre-ionization; 分类号 TN248.22 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统被引量：3: 3; 作者尹广玥游利兵方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期383-387,共5页; 文摘介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。阐述了典型的准分子激光退火线型光束整形系统的扩束、匀光、投影等结构。并介绍了连续横向固化技术在准分子激光制备低温多晶硅领域的应用。讨论了准分子激光退火光学系统的发展现状,指出了其在平板显示行业的重要意义。; 关键词激光技术平板显示准分子激光退火低温多晶硅光束整形匀光; Keywords laser technique flat panel display excimer laser annealing low temperature poly silicon beam shaping beam homogenization; 分类号 TN205 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展被引量：4: 4; 作者陈亮游利兵王庆胜尹广玥褚状状方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学技术大学科学岛分院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期619-625,共7页; 基金中国科学院科研装备研制资助项目(YZ201515); 文摘激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱的元素分析技术,是元素分析领域重要的研究手段。作为LIBS分析的激发光源,紫外激光具有光子能量大、空间分辨率高等优点,可以提高烧蚀效率、减少分馏效应,在地质检测和生物医药检测方面有很好的应用前景;也可从提升元素分析的效果,扩大LIBS技术的应用范围。介绍了紫外LIBS技术的原理与特点,讨论了国内外紫外LIBS技术的应用,总结了紫外LIBS技术的发展趋势。; 关键词光谱学激光诱导击穿光谱紫外激光光谱分析; Keywords spectroscopy laser induced breakdown spectroscopy ultraviolet laser spectrum analysis; 分类号 O433 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名应用LIBS技术检测食盐中的镉被引量：10: 5; 作者陈亮游利兵罗贤锋尹广玥方晓东; 机构中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室中国科学技术大学科学岛分院合肥工业大学智能制造技术研究院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期6-10,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(41627803) 中国科学院科研装备研制资助项目(YZ201515); 文摘为了实现食盐中重金属镉(Cd)的快速定量检测,以193nm的自制准分子激光器作为激发光源,通过外部添加重金属元素Cd制作了8组食盐样品,采用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术,选取CdⅠ228.8nm特征谱线作为分析线,进行了理论分析和实验验证。结果表明,延迟时间为1.5μs时,能够获得较好的光谱强度和信背比;谱线强度与Cd的质量分数具有很好的线性关系,拟合度为0.984,预测相对误差小于7%,检测限为0.65mg/kg。LIBS检测技术不仅具有快捷方便、无需繁琐样品准备等优点,而且具有较高的检测精度,是一种在食品安全快速检测领域中非常新颖的、有潜力的检测技术。; 关键词光谱学快速检测激光诱导击穿光谱食盐镉; Keywords spectroscopy rapid detection laser-induced breakdown spectroscopy table salt cadmium; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名紫外飞秒激光的脉宽测量方法被引量：6: 6; 作者陈星游利兵尹广玥方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室中国科学技术大学科学岛分院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第2期205-211,共7页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制资助项目(41627803); 文摘相对于近红外波段的飞秒激光脉冲,紫外波段的飞秒脉冲由于具有单光子能量高、聚焦特性好、电离率高和成丝阈值低等优点,在高功率密度光场的产生、等离子体光物理等领域有着越来越广阔的应用前景,成为激光技术的研究热点。随着紫外飞秒激光技术的发展,传统的脉宽测量方法不能满足需求。指出了紫外飞秒激光脉宽测量研究的主要进展,讨论了目前可用于紫外飞秒激光脉宽的测量方法,主要有双光子荧光测量法、互相关法、简并四波混频法、多光子电离法,介绍了相关测量原理与特点。在此基础上,对紫外飞秒激光脉宽测量技术研究前景进行了展望。; 关键词激光技术紫外飞秒脉冲互相关法多光子电离法双光子荧光法脉宽测量; Keywords laser technique ultraviolet femtosecond pulse cross correlation method multi-photon ionization method two-photon fluorescence method pulse width measurement; 分类号 O434 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚合物光纤光栅制备进展被引量：3: 7; 作者褚状状游利兵王庆胜尹广玥陈亮方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室中国科学技术大学; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期11-18,共8页; 基金国家自然科学基金项目资助(61205138); 文摘聚合物光纤光栅不仅具有体积小、质量轻、柔软、成本低等诸多优点,还因聚合物自身的特性而具有灵敏度高、响应范围宽、生物兼容性等优良特性。首先梳理了聚合物光纤的光敏性机理,概述了聚合物光纤光栅制备的刻蚀光源和方法;其次根据聚合物光纤的组成材料,概述了多种聚合物光纤光栅的制备进展和性能指标,包括聚甲基丙烯酸甲酯、环烯烃共聚物TOPAS、透明无定物氟聚合物CYTOP和聚碳酸酯。总之,目前聚甲基丙烯酸甲酯聚合物光纤光栅的研究占主导,而基于新型材料的聚合物光纤光栅因自身独特的优势也逐渐受到重视。; 关键词光栅聚合物光纤光敏机制光纤布喇格光栅长周期光栅; Keywords gratings polymer optical fibers photosensitive mechanism optical fiber Bragg grating long period grating; 分类号 TN253 [电子电信—物理电子学] TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文) 被引量：1: 8; 作者邱红松游利兵王庆胜尹广玥方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期296-300,共5页; 基金 Supported by National Natural Science Foundation of China,61205138~~; 文摘分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F_2:He:Kr:Ne=0.315:5.985:19.5:305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%.; 关键词激光技术 KrF准分子激光器气体分压优化气体混合物缓冲气体; Keywords laser techniques KrF excimer laser optimization of gas partial pressures gas mixture buffer gas; 分类号 TN248 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜	尹广玥游利兵陈星邵景珍陈亮王庆胜方晓东	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器	王庆胜游利兵尹广玥褚状状方晓东	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2016	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于平板显示LTPS制备的ELA光束整形系统	尹广玥游利兵方晓东	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2016	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展	陈亮游利兵王庆胜尹广玥褚状状方晓东	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2017	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	应用LIBS技术检测食盐中的镉	陈亮游利兵罗贤锋尹广玥方晓东	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2019	10	在线阅读下载PDF 职称材料
6	紫外飞秒激光的脉宽测量方法	陈星游利兵尹广玥方晓东	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料
7	聚合物光纤光栅制备进展	褚状状游利兵王庆胜尹广玥陈亮方晓东	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料
8	通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文)	邱红松游利兵王庆胜尹广玥方晓东	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料