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基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究
被引量：
7
1
作者
尹作海
刘世元
史铁林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期74-76,共3页
介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型。
关键词
线阵电荷耦合器件
调焦调平传感器
步进重复投影光刻机
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职称材料
题名
基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究
被引量：
7
1
作者
尹作海
刘世元
史铁林
机构
华中科技大学机械科学与工程学院武汉国家光电试验室
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期74-76,共3页
文摘
介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理。介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型。
关键词
线阵电荷耦合器件
调焦调平传感器
步进重复投影光刻机
Keywords
linear army CCD
focus and level sensor
stepper
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究
尹作海
刘世元
史铁林
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
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