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基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究
被引量：
11
1
作者
文常保
王蒙
+2 位作者
钟晨昊
宿建斌
巨永锋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第10期1493-1498,共6页
针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,...
针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%,平均相对误差由14.06%下降至1.20%;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿。
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关键词
检测技术
温度补偿
DE-SVM
硅基材料
压阻式压力传感器
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职称材料
题名
基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究
被引量：
11
1
作者
文常保
王蒙
钟晨昊
宿建斌
巨永锋
机构
长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第10期1493-1498,共6页
基金
国家自然科学基金项目(60806043)
陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JQ6056,2018XNCG-G-01)
中央高校教育教学改革专项经费项目(300103187051,300104283215,300103002076)
文摘
针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点,提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成,以SVM算法的非线性回归功能为核心,通过DE算法优化SVM参数,经训练后得到温度校正模块,模块接收测量数据后输出校正后的压力值。实验表明,对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正,最大误差和均方误差分别下降了93.87%和99.89%;在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下,最大误差和均方误差分别下降了93.17%和99.27%,平均相对误差由14.06%下降至1.20%;最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试,模型仍能够较好地进行温度补偿。
关键词
检测技术
温度补偿
DE-SVM
硅基材料
压阻式压力传感器
Keywords
detection technology
temperature compensation
DE-SVM
silicon based material
piezoresistive pressure sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究
文常保
王蒙
钟晨昊
宿建斌
巨永锋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
11
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