题名 共平面二维高精度工作台误差修正与实验研究
被引量：2
1
作者
宫二敏 黄强先 余夫领
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《中国测试》
北大核心
2014年第4期10-14,共5页
基金
国家863计划重点项目(2008AA042409)
文摘
该文通过采用误差分离与修正技术,对微纳米三坐标测量机x-y平面内存在的各项误差进行全面分析。利用高精密检测仪器和标准件,设计误差分离与修正方案,并对修正过的误差项补偿效果进行测试。然后通过实验测量标准量块平面度、长度等量值,以检验修正后的微纳米三坐标测量机测量精度。实验结果显示,一等量块工作面的平面度测量重复性标准差达到9.5nm,x和y方向长度测量的标准差分别达到了10nm和19nm。理论分析和实验表明,所研制的二维高精度工作台可用于高精度的三维测量。
关键词
微纳米三坐标测量机 误差修正 二维高精度工作台 三维测量
Keywords
micro-nano CMM error correction 2D high precision stage 3D measurement
分类号
TH721
[机械工程—精密仪器及机械]
题名 微纳米三坐标测量机驱动与控制系统的研究（英文）
被引量：1
2
作者
黄强先 宫二敏 韩彬 张维富 徐从裕
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
出处
《新型工业化》
2013年第7期78-85,共8页
基金
Specialized Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education(No.20100111110011) National High Technology Research and Development Program of China(863 Project,Grant No.2008AA042409)
文摘
本文主要介绍了纳米三坐标测量机的驱动系统。纳米三坐标测量机是一个十分复杂的系统,包括复杂的机械结构,精密的信号处理系统,灵敏的测头系统,精密的驱动系统以及其他的系统和模块。在本研究系统中,基于DVD读取头的新型的三维测量测头应用于三维测量以及定位。三个压电线性电机作为纳米三坐标测量机的驱动电机。机械机构的运动平台按照特殊的原理设计,可以最大化的消除阿贝误差。长度测量系统采用了激光回馈干涉仪。所提出的驱动与控制策略,可以实现长距离纳米级精度的快速精密驱动以及定位。X、Y、Z三个方向上的行程为50mm×50mm×50mm。目前,本系统可以实现对不定距离的单方向的快速稳定的逼近,并有效防止过冲。在一维内,不同位置点的定位波动可以被控制在±4nm左右。经过目前的测试,本系统适用于纳米三坐标测量机的驱动与控制任务。
关键词
精密仪器及机械 纳米三坐标测量机 压电直线电机 反馈控制
Keywords
precision instrument and machinery micro-nano CMM piezoelectric linear motor feedback control
分类号
TH711
[机械工程—测试计量技术及仪器]
