检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

铝诱导晶化真空蒸镀多晶硅薄膜的研究被引量：8: 1; 作者王宙曹健 +1 位作者室谷贵之付传起《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期573-575,共3页; 采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上沉积1层非晶硅薄膜,再通过铝诱导晶化的方法制备出晶粒分布较均匀、晶粒尺寸0.5～5μm、晶化率达到89%的多晶硅薄膜。研究了衬底距离、衬底温度、退火温度对薄膜表面形貌、晶粒尺寸和分布及晶化率的影响... 展开更多; 关键词多晶硅薄膜铝诱导晶化衬底温度退火温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空蒸镀锗掺杂多晶硅薄膜的研究被引量：3: 2; 作者王宙何旭 +3 位作者付传起室谷贵之杨萍曹健《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1110-1113,共4页; 为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜。用扫描电子显微镜(KYKY-1000B)和显微激光拉曼光谱仪(JY Labram HR 800)分析研究了不同掺杂分数的锗成分对掺锗多晶硅薄膜的表面形貌... 展开更多; 关键词真空蒸镀多晶硅薄膜锗掺杂晶化率; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空蒸镀多晶硅薄膜工艺对其组织和性能的影响被引量：2: 3; 作者曹健王宙 +1 位作者室谷贵之付传起《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期83-85,共3页; 采用真空蒸镀并退火的方法制备多晶硅薄膜,采用透射电子显微镜对退火前后的样品进行了表征,通过原子力显微镜观察了薄膜的形貌,并测试了薄膜的耐压性能,分析了基板温度、基板距离和退火工艺对薄膜组织和性能的影响。实验结果表明:真空... 展开更多; 关键词真空蒸镀退火多晶硅薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

燃烧反应合成Al-Cu基吸声材料: 4; 作者赵明华王宙 +3 位作者室谷贵之李昊涵付传起李斌《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2041-2043,共3页; 使用以Al粉、Cu粉混合,添加NaCl或无水K2CO3的混合配比,并采用燃烧反应合成的方法制备了规则的、具有良好吸声性能的开孔Al-Cu吸声材料。采用扫面电镜及X射线衍射对样品进行表征,并使用驻波管法测其吸声系数。实验结果表明:随着NaCl或无... 展开更多; 关键词燃烧反应合成 Al-Cu基吸声材料吸声系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

燃烧反应合成Ni-Al-SiC摩擦磨损性能研究被引量：1: 5; 作者王宙李昊涵 +2 位作者室谷貴之赵明华付传起《表面技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期45-47,共3页; 采用燃烧反应合成方法,在球墨铸铁表面制备Ni-Al-SiC金属间化合物复合涂层,通过加入SiC粒子来改善Ni-Al系金属间化合物的摩擦磨损性能。试验结果表明:随着载荷的提高,磨损量增加,摩擦因数减小;随着SiC粒子含量的增加,硬度增加,磨损量降... 展开更多; 关键词燃烧反应合成 Ni—Al-SiC 复合涂层摩擦因数磨损量金属间化合物; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名铝诱导晶化真空蒸镀多晶硅薄膜的研究被引量：8: 1; 作者王宙曹健室谷贵之付传起; 机构大连大学表面工程中心大连大学机械工程学院; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期573-575,共3页; 文摘采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上沉积1层非晶硅薄膜,再通过铝诱导晶化的方法制备出晶粒分布较均匀、晶粒尺寸0.5～5μm、晶化率达到89%的多晶硅薄膜。研究了衬底距离、衬底温度、退火温度对薄膜表面形貌、晶粒尺寸和分布及晶化率的影响。结果表明适中的衬底距离下得到的薄膜晶粒分布均匀,表面平整度好,薄膜厚度较大。薄膜的晶化率随着衬底温度和退火温度的提高而增大;随着退火温度的进一步提高,薄膜的晶化率达到最大值然后降低。; 关键词多晶硅薄膜铝诱导晶化衬底温度退火温度; Keywords polycrystalline silicon thin film aluminum-induced crystallization substrate temperature annealing temperature; 分类号 TB34 [一般工业技术—材料科学与工程] O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空蒸镀锗掺杂多晶硅薄膜的研究被引量：3: 2; 作者王宙何旭付传起室谷贵之杨萍曹健; 机构大连大学表面工程中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期1110-1113,共4页; 文摘为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜。用扫描电子显微镜(KYKY-1000B)和显微激光拉曼光谱仪(JY Labram HR 800)分析研究了不同掺杂分数的锗成分对掺锗多晶硅薄膜的表面形貌、组织结构及薄膜晶化率的影响。结果表明:随着锗掺杂分数的增加薄膜表面更加平整、晶粒粒径变大分布更加均匀,晶化率升高;当掺杂分数为1%时,薄膜表面晶粒尺寸可达1μm、晶化率达到87.37%;但当掺杂分数超过1%,镀层表面又变得粗糙、部分晶粒发生变形、晶化率降低。这说明适量锗的掺入可以改善多晶硅薄膜表面平整度,促进薄膜表面晶粒的形成和长大,提高薄膜晶化率。; 关键词真空蒸镀多晶硅薄膜锗掺杂晶化率; Keywords Vacuum evaporation Polycrystalline thin film Ge-doping Crystalline volume fraction; 分类号 TB34 [一般工业技术—材料科学与工程] O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空蒸镀多晶硅薄膜工艺对其组织和性能的影响被引量：2: 3; 作者曹健王宙室谷贵之付传起; 机构大连大学表面工程中心; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期83-85,共3页; 文摘采用真空蒸镀并退火的方法制备多晶硅薄膜,采用透射电子显微镜对退火前后的样品进行了表征,通过原子力显微镜观察了薄膜的形貌,并测试了薄膜的耐压性能,分析了基板温度、基板距离和退火工艺对薄膜组织和性能的影响。实验结果表明:真空蒸镀所得薄膜为非晶硅薄膜,退火处理可使其多晶化,晶粒尺寸达0.5μm;基板温度120℃、基板距离60 mm为最佳工艺条件,采用该工艺所得多晶硅薄膜的耐压值可达384.2 V。; 关键词真空蒸镀退火多晶硅薄膜; Keywords vacuum evaporation annealing polycrystalline silicon thin film; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理] O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名燃烧反应合成Al-Cu基吸声材料: 4; 作者赵明华王宙室谷贵之李昊涵付传起李斌; 机构大连大学表面工程中心; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2041-2043,共3页; 文摘使用以Al粉、Cu粉混合,添加NaCl或无水K2CO3的混合配比,并采用燃烧反应合成的方法制备了规则的、具有良好吸声性能的开孔Al-Cu吸声材料。采用扫面电镜及X射线衍射对样品进行表征,并使用驻波管法测其吸声系数。实验结果表明:随着NaCl或无水K2CO3含量的增加,Al-Cu吸声材料的孔隙率及吸声系数随之增加;造孔剂为无水K2CO3的Al-Cu吸声材料,其吸声性能高于造孔剂为NaCl的;在反应过程中,没有Al、Cu单质残留,完全形成了Al-Cu金属间化合物。超声清洗后NaCl、无水K2CO3均充分溶解。; 关键词燃烧反应合成 Al-Cu基吸声材料吸声系数; Keywords self-propagating high-temperature synthesis Al-Cu-based sound-absorbing materials absorption coefficient; 分类号 TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名燃烧反应合成Ni-Al-SiC摩擦磨损性能研究被引量：1: 5; 作者王宙李昊涵室谷貴之赵明华付传起; 机构大连大学表面工程中心; 出处《表面技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期45-47,共3页; 文摘采用燃烧反应合成方法,在球墨铸铁表面制备Ni-Al-SiC金属间化合物复合涂层,通过加入SiC粒子来改善Ni-Al系金属间化合物的摩擦磨损性能。试验结果表明:随着载荷的提高,磨损量增加,摩擦因数减小;随着SiC粒子含量的增加,硬度增加,磨损量降低;在燃烧反应的过程中,随着烧结压强的增加,硬度有明显提高。由此得出结论:SiC粒子的加入,明显改善了Ni-Al系金属间化合物的摩擦磨损性能,并且提高了材料的硬度。; 关键词燃烧反应合成 Ni—Al-SiC 复合涂层摩擦因数磨损量金属间化合物; Keywords Self propagation high temperature synthesis Ni-Al-SiC Composite coating Friction coefficient Wear loss weight Intermetallic compound; 分类号 TQ153.2 [化学工程—电化学工业] TH117.1 [机械工程—机械设计及理论]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	铝诱导晶化真空蒸镀多晶硅薄膜的研究	王宙曹健室谷贵之付传起	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	真空蒸镀锗掺杂多晶硅薄膜的研究	王宙何旭付传起室谷贵之杨萍曹健	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	真空蒸镀多晶硅薄膜工艺对其组织和性能的影响	曹健王宙室谷贵之付传起	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	燃烧反应合成Al-Cu基吸声材料	赵明华王宙室谷贵之李昊涵付传起李斌	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	燃烧反应合成Ni-Al-SiC摩擦磨损性能研究	王宙李昊涵室谷貴之赵明华付传起	《表面技术》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料