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结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究
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作者 宗小林 蔡华 +1 位作者 余辉 王平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2142-2144,共3页
结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段.初步实验结果表明... 结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段.初步实验结果表明,在室温条件下,该气体传感器对于乙醇气体具有较明显的响应,并具有一定的浓度梯度特性,证明该传感器的设计是可行的. 展开更多
关键词 LAPS 多孔硅 气体检测 传感器 化学MEMS
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场效应器件表面修饰对DNA测试性能影响的研究
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作者 宗小林 吴春生 +1 位作者 王丽江 王平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期1-5,共5页
对比甲醇-盐酸混合物及硫酸处理对场效应器件(Field-effect device,FED)电化学测试性能的影响。实验结果表明,FED表面经过两种方式处理,其电化学阻抗测试特性发生变化,表现在阻抗的虚部值(用Zq表示)随加在FED器件与参比电极之间的电压... 对比甲醇-盐酸混合物及硫酸处理对场效应器件(Field-effect device,FED)电化学测试性能的影响。实验结果表明,FED表面经过两种方式处理,其电化学阻抗测试特性发生变化,表现在阻抗的虚部值(用Zq表示)随加在FED器件与参比电极之间的电压的变化特性(用Zq-V曲线表示)发生改变。经过硫酸处理的器件的Zq-V曲线相对于未处理器件有微小偏移;而甲醇-盐酸体系处理后曲线在耗尽层区的斜率有所下降,表明这种处理对器件测试性能有负向的影响。经硅烷化固定在表面的氨基采用荧光标记,荧光测试结果表明,两种表面处理方式对硅烷化效果影响不大。进一步通过共价连接在硅烷化FED表面引入探针DNA分子,制备基于FED的DNA传感器。与目标DNA分子杂交反应后,实验表明,硫酸处理的测试结果要好于甲醇-盐酸的处理方法。 展开更多
关键词 场效应器件 表面修饰 硅烷化 DNA传感器
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