不同材料在渗吸驱油中的应用分析与研究

1

作者 宋红伟 《石化技术》 2025年第1期13-15,共3页

在国内石油储层中,低渗致密油藏面临“注入难,开采难”的问题,常规三次采油方法难以驱出地层原油,从而提出了渗吸采油这一方法理论。在广泛调研的基础上,分析了渗吸采油的基本原理,并且归纳了三种不同渗吸驱油材料(表面活性剂、纳米流... 在国内石油储层中,低渗致密油藏面临“注入难,开采难”的问题,常规三次采油方法难以驱出地层原油,从而提出了渗吸采油这一方法理论。在广泛调研的基础上,分析了渗吸采油的基本原理,并且归纳了三种不同渗吸驱油材料(表面活性剂、纳米流体、聚合物)在渗吸中的驱油原理和应用。 展开更多

关键词 渗吸驱油 表面活性剂 纳米流体 聚合物 低渗油藏

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随钻D-T源孔隙度测井中的钻铤影响机制

2

作者 张泉滢 李宁超 +3 位作者 张凤姣 聂昕 宋红伟 刘国斌 《中国石油大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期68-77,共10页

基于数值模拟方法剖析钻铤改善中子孔隙度测井灵敏度的机制,并仿照钻铤影响提出中子源减速块和探测器屏蔽套等结构用于设计高灵敏度电缆D-T源孔隙度仪器。结果表明:探测器附近钻铤能屏蔽来自井眼方向的热中子,提高来自地层的热中子信息... 基于数值模拟方法剖析钻铤改善中子孔隙度测井灵敏度的机制,并仿照钻铤影响提出中子源减速块和探测器屏蔽套等结构用于设计高灵敏度电缆D-T源孔隙度仪器。结果表明:探测器附近钻铤能屏蔽来自井眼方向的热中子,提高来自地层的热中子信息比重,进而改善测井灵敏度;中子源附近钻铤会降低进入地层的高能快中子平均能量,使得仪器对中、低孔地层的灵敏度提高;中子源减速块和探测器屏蔽套等结构可以代替钻铤改善中子孔隙度的测井灵敏度,为D-T源在电缆测井中的应用提供理论指导。 展开更多

关键词 D-T源 中子孔隙度测井 钻铤影响机制 测井灵敏度 数值模拟

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分布式光纤井温法产液剖面解释方法研究 被引量：19

3

作者 宋红伟 郭海敏 +2 位作者 戴家才 张寒秋 李鹏 《测井技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期384-387,共4页

为了解生产井段产出或吸入流体的性质和流量,对油井生产状况和油层生产性质作出评价,应用分布式光纤温度传感系统进行油气田开发动态监测。分布式光纤温度系统是一种用于实时测量空间温度场分布的传感系统,它通过沿整个完井长度连续性... 为了解生产井段产出或吸入流体的性质和流量,对油井生产状况和油层生产性质作出评价,应用分布式光纤温度传感系统进行油气田开发动态监测。分布式光纤温度系统是一种用于实时测量空间温度场分布的传感系统,它通过沿整个完井长度连续性采集温度资料来监测油气田开发动态。介绍了分布式光纤温度传感系统测量原理和井下测量方式,研究了生产井内温度分布特性及热交换模型。根据井内流体温度和地层温度资料的对比分析,提出了相应的半定量解释处理方法。对现场实测资料进行了处理解释,结果与实际生产情况相符,表明所提出的解释方法可行。 展开更多

关键词 生产测井 分布式光纤传感器 产液剖面 油气田开发 动态监测

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水平井生产测井气水-两相流流型试验分析 被引量：18

4

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油天然气学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期96-101,174,共6页

随着水平井大斜度井技术应用规模的快速扩大,水平井中气-水两相流流型识别对生产测井产出剖面解释具有重要的意义。主要开展了基于倾斜及水平条件下大管径气-水两相管流的流型试验研究,意在从井筒内部的流体流动状态入手,研究生产测井... 随着水平井大斜度井技术应用规模的快速扩大,水平井中气-水两相流流型识别对生产测井产出剖面解释具有重要的意义。主要开展了基于倾斜及水平条件下大管径气-水两相管流的流型试验研究,意在从井筒内部的流体流动状态入手,研究生产测井测量的3个主要流动参数(总流量、持水率、井斜角)和流型之间的关系。根据试验数据,以这些参数为坐标轴,绘制出了二维和三维流型分析图版,分析了生产测井流动参数与井下流型的关系,用来指导水平井生产测井流型识别;并对生产测井流动参数对流型的影响做了分析。研究结果对正确认识水平井生产测井气-水两相流流型提供了重要依据。 展开更多

关键词 生产测井 水平井 气-水两相流 流型

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变流量生产测井在确定动态地层参数中的应用 被引量：10

5

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油天然气学报》 CAS CSCD 2012年第7期80-84,7,共5页

目前,我国处于开发中后期的油田平均产水率高达80%以上,因此对产层进行评价,确定生产层动态地层参数具有十分重要的意义。通常,压力恢复试井是油藏生产率和地层压力监测的主要方法,但是它需要关井测试,这样,一方面会影响生产甚至由于地... 目前,我国处于开发中后期的油田平均产水率高达80%以上,因此对产层进行评价,确定生产层动态地层参数具有十分重要的意义。通常,压力恢复试井是油藏生产率和地层压力监测的主要方法,但是它需要关井测试,这样,一方面会影响生产甚至由于地层水层间窜流造成停产;另一方面,传统的试井求取的是整个生产井段的平均地层参数。在油藏流动模型分析的基础上,研究了油水生产层地层参数与产液量/吸水量和油井内流压等生产测井资料之间的关系;并根据井下流体渗流理论原理,利用变流量生产测井信息,提出了一种在不关井停产情况下确定每个生产层动态地层参数的方法。该方法克服了油田现场动态监测中,常规测井解释方法无法确定子层动态参数的局限,不但为油藏动态监测开辟了新的途径,而且为油田的合理开发提供了关键参数,是常规生产测井资料应用的有力补充和完善。 展开更多

关键词 变流量生产测井 动态地层参数 自适应遗传算法 优化算法

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水平井油水两相分层流分相流量测量方法 被引量：13

6

作者 宋红伟 郭海敏 +1 位作者 郭帅 史航宇 《石油勘探与开发》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期573-582,共10页

为了准确测量和评价水平井油水产出剖面,将水平井油水两相流动态测量实验和数值模拟相结合,建立了水平井油水两相分层流分相流量测量方法。实验中将微涡轮和微电容组合测井仪置于井筒截面不同高度处同步测量局部流体速度和持水率,研究... 为了准确测量和评价水平井油水产出剖面,将水平井油水两相流动态测量实验和数值模拟相结合,建立了水平井油水两相分层流分相流量测量方法。实验中将微涡轮和微电容组合测井仪置于井筒截面不同高度处同步测量局部流体速度和持水率,研究了油水两相分层流水平井中不同总流量和含水率情况下5个测量点处涡轮及电容传感器的响应特性。采用持水率插值成像算法确定局部流体性质和油水分界面高度,将局部流体速度的涡轮测量值与数值模拟计算值相结合建立了过流截面速度场分布最优化计算模型,进而实现了水平井油水两相分层流分相流量的测量。5个测量点处流体速度的实验测量值和理论计算值基本一致,计算的总流量和含水率与实验设定值也基本吻合,表明该方法具有较高的准确度。 展开更多

关键词 水平井 油水两相流 分层流 流量测量 动态实验 生产测井

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倾斜及水平井气液两相流层状流流动模型试验分析 被引量：6

7

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油天然气学报》 CAS CSCD 2013年第6期86-92,7,共7页

针对斜井及水平井气-液分层流动,采用多相管流动量守恒方程建立了气液分层流动动量守恒模型及相关参数的计算方法。该模型反映了斜井及水平井中气液分层流动情况下混合流体平均流量、持水率、井斜角和各相流量之间的关系;并在较大的气... 针对斜井及水平井气-液分层流动,采用多相管流动量守恒方程建立了气液分层流动动量守恒模型及相关参数的计算方法。该模型反映了斜井及水平井中气液分层流动情况下混合流体平均流量、持水率、井斜角和各相流量之间的关系;并在较大的气液分相流量范围(50～800m3/d)内用124mm透明井筒中试验数据(井斜角相对于水平分别为0、5、15、45、-2、-5、-10°)对模型进行了正反演计算,正演持水率计算平均绝对误差在0.0669以下,反演水的表观速度平均绝对误差为0.0102m/s,计算结果与试验结果符合较好。为生产测井产出剖面解释提供了合理的理论模型,能够提高生产测井在大斜度与水平井中的应用效果。 展开更多

关键词 生产测井 水平井 气-水两相流 解释模型

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水平井及大斜度井油水两相流动模型研究 被引量：9

8

作者 宋红伟 郭海敏 唐小梅 《测井技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期384-390,共7页

水平井及大斜度井中由于存在重力分异,油水两相流流型、局部流速和局部持水率沿管径方向发生了复杂的变化,致使其流量和持水率测量及多相流分相流量解释非常困难,在垂直井生产测井解释中得到广泛应用的常规漂移模型已经不能解决其流动... 水平井及大斜度井中由于存在重力分异,油水两相流流型、局部流速和局部持水率沿管径方向发生了复杂的变化,致使其流量和持水率测量及多相流分相流量解释非常困难,在垂直井生产测井解释中得到广泛应用的常规漂移模型已经不能解决其流动剖面解释问题。对水平井及大斜度井中的油水两相流动进行了实验研究和半理论分析,在对多相流动环路模拟实验资料分析的基础上对漂移模型进行了修正,分别针对井斜角和持水率对相分布系数和油滴上升极限速度进行改进,确定了相关计算公式。采用改进的漂移模型预测了多相流动环路模拟实验环境下的油相表观速度,并与实验数据进行了对比分析,计算结果与实验很好地吻合,发现该模型对小于50m3/d的低流量油水两相分相流量计算平均相对误差为18.86%,大于100m3/d的中高流量油水两相分相流量计算平均相对误差为8.49%,能够满足生产测井产出剖面解释的要求。相关参数的改进扩大了漂移模型的应用范围,提高了水平井及大斜度井筒中油水两相产液剖面测井的解释精度。 展开更多

关键词 生产测井 测井解释 水平井 大斜度井 油水两相流 漂移模型

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生产测井确定地层参数的最优化解释方法 被引量：3

9

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《测井技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期370-373,共4页

油田现场动态监测中,常规方法无法确定子层动态参数。生产测井仪器一次下井可同时测得流量、压力、密度、持水率等资料。提出利用生产测井资料结合渗流理论和复形调优最优化方法,确定油藏动态参数。利用生产测井测量的流体压力和分层流... 油田现场动态监测中,常规方法无法确定子层动态参数。生产测井仪器一次下井可同时测得流量、压力、密度、持水率等资料。提出利用生产测井资料结合渗流理论和复形调优最优化方法,确定油藏动态参数。利用生产测井测量的流体压力和分层流量,建立带约束条件的非线性目标函数,进行求解确定地层的渗透率、表皮系数和压力参数。介绍复形调优法的原理及实现方法。对W1井的实际应用表明该方法的处理结果准确可靠。 展开更多

关键词 生产测井 油藏动态监测 剩余油 渗透率 最优化方法 储层参数

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水平井阵列持水率测井资料成像插值算法分析 被引量：4

10

作者 宋红伟 郭海敏 《石油天然气学报》 CAS CSCD 2016年第1期24-32,共9页

随着科学技术的进步，成像观测技术越来越先进。流动成像测井方面，国外各大测井公司均推出了全井眼测量阵列持率测井仪，测量在井中相同深度上套管内壁附近或分布在不同半径的圆周上的局部持水率。基于电容阵列持水率测井仪CAT的测井... 随着科学技术的进步，成像观测技术越来越先进。流动成像测井方面，国外各大测井公司均推出了全井眼测量阵列持率测井仪，测量在井中相同深度上套管内壁附近或分布在不同半径的圆周上的局部持水率。基于电容阵列持水率测井仪CAT的测井数据特征，分析了简单距离反比加权插值、高斯径向基函数插值、普通克里金插值和克里金中的变差函数距离反比插值算法的原理，然后对4种插值算法在理论和实际应用方面进行了比较，试验数据成像处理效果图和误差综合分析结果表明，普通克里金插值算法的成像效果和误差估计总体比其他3种插值算法好，能较直观反映井内油水介质的分布和井筒截面上总的持水率值。 展开更多

关键词 水平井 阵列持水率仪 流动成像 生产测井

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光学法测量井下多相流中气相流量的方法研究 被引量：3

11

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油机械》 北大核心 2009年第10期4-6,96,共3页

在传统的三相流测井中,流量测量是油气水三相的总体响应,无法直接获得分相流量,给测井资料的解释带来很大困难。采用光学多普勒-反射波法,利用光学多普勒效应测量流体中气相的流速,利用反射光波强度测量持气率;通过非集流的方式,在基本... 在传统的三相流测井中,流量测量是油气水三相的总体响应,无法直接获得分相流量,给测井资料的解释带来很大困难。采用光学多普勒-反射波法,利用光学多普勒效应测量流体中气相的流速,利用反射光波强度测量持气率;通过非集流的方式,在基本不改变流体流动状态的情况下,实现井下多相流中气相流量测量。测量数据反映了被测流动截面上不同介质的光学特性,由计算机根据特定算法将其转化为图像像素,进而重建和显示气相截面图像。该测量方法可实现同一界面上多点测量和多界面测量,可以获得多相流体流动截面的相态分布和速度分布的清晰图像,实现真正的流动成像测量。 展开更多

关键词 多普勒效应 光学成像 分相流量 生产测井

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井下光电流体压差密度计理论研究 被引量：1

12

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《测井技术》 CAS CSCD 2006年第3期252-254,共3页

分析了光学材料的光弹性效应及线偏振光的干涉理论,结合井下流体压差计的特点,设计了一种新型的井下流体密度计———光电流体压差密度计。该仪器通过光电测力元件将流体压力信号转换成偏振干涉光的光强信号,通过放大器和窄带有源滤波器... 分析了光学材料的光弹性效应及线偏振光的干涉理论,结合井下流体压差计的特点,设计了一种新型的井下流体密度计———光电流体压差密度计。该仪器通过光电测力元件将流体压力信号转换成偏振干涉光的光强信号,通过放大器和窄带有源滤波器,将光电探测器接收到的光强信号检测出来,利用电缆传输技术将信号传至地面信息处理系统。最后由地面处理系统结合流体力学中的伯努利方程处理得到流体密度。该仪器具有灵敏度高、惯性小、工作寿命长、抗电磁干扰等特点,并且是一种无放射性的环保测井仪器。 展开更多

关键词 生产测井 压差密度计 偏振光 光弹性效应 流体压力 伯努利方程

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缝洞型碳酸盐岩油藏物质平衡法计算储量探讨 被引量：10

13

作者 宋红伟 张智 任文博 《天然气勘探与开发》 2012年第1期32-35,49+81,共4页

油藏工程的物质平衡方法不需要考虑储层内部的复杂结构,仅根据储层内压力变化和累计注、采量就可以计算出缝洞单元的储量,运用的难点是如何确定储层内压力的变化。针对塔河油田实施的注水替油这种特殊开采方式,根据注水阶段的注入量和... 油藏工程的物质平衡方法不需要考虑储层内部的复杂结构,仅根据储层内压力变化和累计注、采量就可以计算出缝洞单元的储量,运用的难点是如何确定储层内压力的变化。针对塔河油田实施的注水替油这种特殊开采方式,根据注水阶段的注入量和井口压力的响应特征,由井口压力折算井底流压,再根据井底流压变化计算地层压力的变化,从而计算出注采单元的单井控制储量。同时,分析该方法的参数及计算结果的适用范围和可能产生的误差,研究结果为缝洞型碳酸盐岩油藏储量计算找到了一种新方法。 展开更多

关键词 缝洞型碳酸盐岩油藏 单井注水替油 储量计算 物质平衡

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生产测井时间推移测井资料确定生产层剩余油饱和度 被引量：2

14

作者 宋红伟 《石油天然气学报》 CAS 2018年第1期16-23,共8页

水驱开发油田饱和度评价是油田挖潜、提高油田开发效果的关键。油田开发过程中,生产测井资料是稳定状态下油井生产动态的物理响应,也是生产层油水分布特征的反映。因此,充分利用生产测井综合评价油藏剩余油饱和度具有十分重要的实用意... 水驱开发油田饱和度评价是油田挖潜、提高油田开发效果的关键。油田开发过程中,生产测井资料是稳定状态下油井生产动态的物理响应,也是生产层油水分布特征的反映。因此,充分利用生产测井综合评价油藏剩余油饱和度具有十分重要的实用意义。针对水驱油藏油水两相分布的特点,以储层的孔隙体积模型为基础,利用物质平衡方程建立了水驱油藏含水饱和度动态变化模型,并在该基础上提出了一种利用生产测井时间推移测井资料求取生产井产层剩余油饱和度的新方法。利用该方法对现场一口生产井历次生产测井资料进行了处理,计算的生产层剩余油饱和度随时间变化的关系与该井历次中子寿命测井解释结果具有良好的一致性,符合油藏开发变化特征。上述结果表明该方法具有结果代表范围大、实用性强等特点,适合于确定水驱油藏产层剩余油分布及对其进行动态监测。 展开更多

关键词 时间推移测井 剩余油饱和度 物质平衡 生产测井

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AGA和L-M算法联合预测生产油井油水流动剖面

15

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油天然气学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期99-104,167-168,共6页

生产测井是目前油井动态监测的主要手段,生产测井产液剖面解释方法是油井动态评价的关键,具有十分重要的意义。提出了AGA和L-M联合优化技术处理油水两相流产出剖面资料的方法。该方法以生产层段单元空间中流体的能量守恒为基础,根据非... 生产测井是目前油井动态监测的主要手段,生产测井产液剖面解释方法是油井动态评价的关键,具有十分重要的意义。提出了AGA和L-M联合优化技术处理油水两相流产出剖面资料的方法。该方法以生产层段单元空间中流体的能量守恒为基础,根据非线性加权最小二乘法原理和误差理论,以理论流体温度和温度计测量值的差值建立求最小值的目标函数,由地面计量并根据流体体积换算得到的井下各相流量及控制体底部的流量测井值为约束条件。为了提高解释精度,采用遗传算法的全局搜索法(AGA)与L-M算法的直接式局域搜索法相结合的方法求解最优解,即先利用自适应遗传算法进行启发式全局搜索,然后直接把该结果作为初始参数,再进行L-M法处理来接近最优解。联合反演出来的解释结果稳定、可靠。该方法不仅适用于直井也适用于斜井。 展开更多

关键词 生产测井 能量守恒 最优化 自适应遗传算法 L-M算法 温度测井 流量测井

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光纤涡街式流量密度计理论研究

16

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《中国测试技术》 2006年第2期136-138,共3页

本文主要分析了流体的涡漩运动特性,结合强度调制光纤的传感原理,和光纤的微弯损耗特性和多模光纤模式间干涉的结果,设计了一种同时测量流体的流量和密度的新型流量、密度计。该仪器通过光纤频率检测系统和光纤举力检测系统分别检测流... 本文主要分析了流体的涡漩运动特性,结合强度调制光纤的传感原理,和光纤的微弯损耗特性和多模光纤模式间干涉的结果,设计了一种同时测量流体的流量和密度的新型流量、密度计。该仪器通过光纤频率检测系统和光纤举力检测系统分别检测流体流过漩涡发生体产生的稳定漩涡发生频率f和流体作用在漩涡发生体上的升力。结合“卡门涡街”理论和茹科斯基升力定理计算出流体流量和稳定漩涡发生频率f的线性关系和流体密度与稳定漩涡发生频率f和流体作用在漩涡发生体上的升力的关系。并设计出同时检测漩涡频率f和升举力仪器的系统原理图。 展开更多

关键词 漩涡发生体 强度调制光纤传感器 微弯损耗 涡漩频率

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井下光电压力计设计

17

作者 宋红伟 郭海敏 戴家才 《石油仪器》 2006年第2期11-12,15,共3页

分析了光学材料的光弹性效应及线偏振光的干涉理论,结合井下压力计的特点,设计了一种新型的井下压力计———光电压力计,该压力计能够在流体流动或关井条件下沿井眼测量某一目的深度上的流体压力。该光电压力计是通过光电测力元件将流... 分析了光学材料的光弹性效应及线偏振光的干涉理论,结合井下压力计的特点,设计了一种新型的井下压力计———光电压力计,该压力计能够在流体流动或关井条件下沿井眼测量某一目的深度上的流体压力。该光电压力计是通过光电测力元件将流体压力信号转换成偏振干涉光的光强信号,最后由光电探测器转变为电信号传至地面信息处理系统,随后把电信号转变成相应的压力信号。并且,设计有温度补偿系统,能够排除温度的影响。文章从理论分析验证了这种流体压力传感器的可行性,用光电检测技术代替传统的生产测井压力测量方法,可以进一步提高生产测井流体压力的测量精度和减少测量环境的干扰。 展开更多

关键词 生产测井 流体压力 光电压力计 偏振光 光弹性效应 干涉理论

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白庙气田沙三段地震频谱衰减特征与含气性检测 被引量：4

18

作者 宋红伟 廖林 +2 位作者 边树涛 潘秀梅 董艳蕾 《断块油气田》 CAS 2012年第2期145-148,共4页

以东濮凹陷南部兰聊断裂下降盘的白庙气田沙三段砂砾岩水下扇体为例,根据优选出的气层、水层和干层在测井资料和地震属性分析中的响应特征,通过反复试验,选取合理的时窗值及子波同态谱(Cepstral谱),采用基于模型的参量法估算地震波频谱... 以东濮凹陷南部兰聊断裂下降盘的白庙气田沙三段砂砾岩水下扇体为例,根据优选出的气层、水层和干层在测井资料和地震属性分析中的响应特征,通过反复试验,选取合理的时窗值及子波同态谱(Cepstral谱),采用基于模型的参量法估算地震波频谱衰减特征,开展地层含气性预测研究。结果表明,当时窗值选择100 ms,Cepstral延迟值为10时,地震波形稳定,而且分辨率高,含气砂体在地震中出现中高频衰减现象。与实钻成果对比发现,反演预测与钻井吻合率为82.4%。 展开更多

关键词 频谱衰减 含气性检测 沙三段 白庙气田

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石油荧光检测方法及其在生产测井中的应用初探 被引量：11

19

作者 戴家才 郭海敏 +4 位作者 宋红伟 肖篆 蔡强 秦民君 刘东明 《石油天然气学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期96-99,共4页

多年来荧光技术广泛应用于石油勘探和开发,尤其在石油地质领域取得了一些非常有实用价值的研究成果。但在石油测井领域,尚未见到利用石油荧光特性开展测井方法的研究成果。本研究从石油荧光的产生机理出发,分析了石油荧光的特征和检测方... 多年来荧光技术广泛应用于石油勘探和开发,尤其在石油地质领域取得了一些非常有实用价值的研究成果。但在石油测井领域,尚未见到利用石油荧光特性开展测井方法的研究成果。本研究从石油荧光的产生机理出发,分析了石油荧光的特征和检测方法,探讨了石油荧光检测技术在生产测井中的应用,初步提出了利用石油的荧光特征确定油井中持率和油水相速度的新方法,并结合光纤技术初步设计了光纤式荧光检测系统。 展开更多

关键词 石油荧光 生产测井 光纤 持率 相速度

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p型InGaAs薄层半导体欧姆接触特性分析

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作者 宋红伟 宋洁晶 秦龙 《微纳电子技术》 CAS 2024年第6期62-67,共6页

从电流在金属和半导体界面的拥堵效应出发,依据圆形传输线模型(CTLM)推导出适用于金属和薄层半导体间欧姆接触电阻率的表达式。利用四探针电阻测量法、高导电性下小电流密度测试法以及对薄膜电阻和传输线长度采用非线性拟合的方法获得... 从电流在金属和半导体界面的拥堵效应出发,依据圆形传输线模型(CTLM)推导出适用于金属和薄层半导体间欧姆接触电阻率的表达式。利用四探针电阻测量法、高导电性下小电流密度测试法以及对薄膜电阻和传输线长度采用非线性拟合的方法获得薄层半导体与金属之间高精度的欧姆接触电阻和电阻率测试结果。研究了Zn掺杂浓度和合金温度对p型InGaAs薄层半导体欧姆接触特性的影响。研究发现:在相同合金温度下,掺杂浓度为1.94×10^(19)cm^(-3)时,样品的欧姆接触电阻率小于掺杂浓度为1.52×10^(19)cm^(-3)的样品,即提高p型InGaAs薄层半导体Zn掺杂浓度有利于半导体和金属Ti/Pt/Au形成良好的欧姆接触;相同Zn掺杂浓度的p型InGaAs薄层半导体,在经过光刻、等离子体去胶、湿法腐蚀等前道工艺后,合金温度为410℃的样品欧姆接触电阻率小于合金温度为380℃的样品,即可通过提高合金温度改善半导体与金属之间的欧姆接触特性。 展开更多

关键词 欧姆接触特性 薄层半导体 掺杂浓度 合金温度

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