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面向二维轨迹跟踪的精密运动台定量反馈交叉耦合控制方法
被引量：
1
1
作者
高殿淳
黄嘉聪
+1 位作者
吴锡鹏
宋法质
《动力学与控制学报》
2024年第12期37-44,共8页
高端制造业中对零件精度的需求逐级提高,衍生出高精度轮廓控制的需求,双轴精密运动平台由于其结构刚度高,控制频宽等优点,被广泛应用于数控设备中.本文首先基于双轴运动台的动力学模型,为解耦后的单轴系统设计了前馈反馈相结合的复合控...
高端制造业中对零件精度的需求逐级提高,衍生出高精度轮廓控制的需求,双轴精密运动平台由于其结构刚度高,控制频宽等优点,被广泛应用于数控设备中.本文首先基于双轴运动台的动力学模型,为解耦后的单轴系统设计了前馈反馈相结合的复合控制方法.其次基于切线逼近的轮廓误差模型,对交叉耦合控制策略的框图进行求解,获得了有无交叉耦合控制器的轮廓误差传递函数,并建立了等效反馈回路.再次,分别使用PID调试与定量反馈的方法为时变等效受控对象设计了交叉耦合控制器,并验证定量反馈交叉耦合控制器满足了设计条件.最后通过输入不同参考轨迹,仿真验证定量反馈交叉耦合控制相较于PID型交叉耦合控制在轨迹跟踪性能和适应不同轨迹的优越性.
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关键词
双轴运动台
轮廓控制
交叉耦合控制
定量反馈理论
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职称材料
半导体装备系统动力学与控制专刊序
2
作者
孙煜
宋法质
+1 位作者
徐云浪
李雪平
《动力学与控制学报》
2024年第12期1-4,共4页
围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学...
围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学与控制领域一些研究成果.
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关键词
半导体装备动力学
精密运动系统
主动振动控制
晶圆机械手
光栅尺
精密温度控制
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职称材料
题名
面向二维轨迹跟踪的精密运动台定量反馈交叉耦合控制方法
被引量：
1
1
作者
高殿淳
黄嘉聪
吴锡鹏
宋法质
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《动力学与控制学报》
2024年第12期37-44,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(52375530)。
文摘
高端制造业中对零件精度的需求逐级提高,衍生出高精度轮廓控制的需求,双轴精密运动平台由于其结构刚度高,控制频宽等优点,被广泛应用于数控设备中.本文首先基于双轴运动台的动力学模型,为解耦后的单轴系统设计了前馈反馈相结合的复合控制方法.其次基于切线逼近的轮廓误差模型,对交叉耦合控制策略的框图进行求解,获得了有无交叉耦合控制器的轮廓误差传递函数,并建立了等效反馈回路.再次,分别使用PID调试与定量反馈的方法为时变等效受控对象设计了交叉耦合控制器,并验证定量反馈交叉耦合控制器满足了设计条件.最后通过输入不同参考轨迹,仿真验证定量反馈交叉耦合控制相较于PID型交叉耦合控制在轨迹跟踪性能和适应不同轨迹的优越性.
关键词
双轴运动台
轮廓控制
交叉耦合控制
定量反馈理论
Keywords
dual-axis motion table
contour control
cross-coupled control
quantitative feedback theory
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
半导体装备系统动力学与控制专刊序
2
作者
孙煜
宋法质
徐云浪
李雪平
机构
复旦大学工程与应用技术研究院
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
中南大学机电工程学院
重庆大学机械与运载工程学院
出处
《动力学与控制学报》
2024年第12期1-4,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(62304045)
上海市扬帆计划资助项目(23YF1401600)。
文摘
围绕集成电路半导体装备的LPV动力学建模与控制、精密运动系统的建模与高精度运动控制、精密设备的主动隔振与抑振、晶圆机械手结构设计与减振、高精度传感装置研制、精密系统温度控制等方面,本专刊介绍了集成电路半导体装备系统动力学与控制领域一些研究成果.
关键词
半导体装备动力学
精密运动系统
主动振动控制
晶圆机械手
光栅尺
精密温度控制
Keywords
dynamic of semiconductor equipment
precision motion system
active vibration control
wafer manipulators
granting ruler
precision temperature control
分类号
TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
面向二维轨迹跟踪的精密运动台定量反馈交叉耦合控制方法
高殿淳
黄嘉聪
吴锡鹏
宋法质
《动力学与控制学报》
2024
1
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职称材料
2
半导体装备系统动力学与控制专刊序
孙煜
宋法质
徐云浪
李雪平
《动力学与控制学报》
2024
0
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职称材料
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