介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个"三明治"结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏...介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个"三明治"结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器,检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试,测试结果表明:该矢量水听器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa),动态范围大于120 dB。展开更多
文摘介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个"三明治"结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器,检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试,测试结果表明:该矢量水听器的接收灵敏度在1 000 Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa),动态范围大于120 dB。