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多维栅格标准样板的制备与表征（英文）
被引量：
6
1
作者
雷李华
蔡潇雨
+4 位作者
魏佳斯
孟凡娇
傅云霞
张馨尹
李源
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第5期42-48,共7页
栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精...
栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。
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关键词
栅格标准样板
微纳米
快速循迹
量值溯源
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职称材料
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
2
作者
孟凡娇
傅云霞
+2 位作者
邵力
赵军
雷李华
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第11期824-830,共7页
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的...
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的提取方法,并通过模型转换实现了二维栅格结构的“行方向”、“列方向”正交扫描方向角提取的拓展;分析了一维和二维光栅结构的误差修正方法,通过集成的原子力显微镜（AFM）测头和激光共聚焦测头（LFS）的计量型纳米测量系统对栅格标准样版进行了多次重复性测量。结果表明,正交扫描方向角的有效提取,能大大提高周期性栅格结构的评价精度和准确性。
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关键词
栅格标准样版
图像畸变
正交扫描方向角
误差修正方法
纳米测量系统
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职称材料
电感耦合等离子体发射光谱法测定铝硅合金杂质含量
3
作者
孟凡娇
张宇霆
+3 位作者
曲凤娇
刘秋颖
周丹桐
马华
《汽车工艺与材料》
2025年第6期62-66,共5页
采用碱溶酸化的前处理方法及基体匹配法,在最佳的仪器参数条件下建立工作曲线,通过电感耦合等离子体发射光谱仪测定铝硅合金中杂质元素硅、镁、铁、铜、锰、锌的含量。进行了元素干扰试验及溶液酸度试验,确定各元素的方法检出限为硅元素...
采用碱溶酸化的前处理方法及基体匹配法,在最佳的仪器参数条件下建立工作曲线,通过电感耦合等离子体发射光谱仪测定铝硅合金中杂质元素硅、镁、铁、铜、锰、锌的含量。进行了元素干扰试验及溶液酸度试验,确定各元素的方法检出限为硅元素0.0097%、镁元素0.0053%、铁元素0.0044%、铜元素0.0016%、锰元素0.0003%、锌元素0.0007%,验证了曲线的重复性和准确性良好,测定样品的加标回收率为94%~106%。
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关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法
铝硅合金
碱溶酸化
标准曲线
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职称材料
题名
多维栅格标准样板的制备与表征（英文）
被引量：
6
1
作者
雷李华
蔡潇雨
魏佳斯
孟凡娇
傅云霞
张馨尹
李源
机构
上海市计量测试技术研究院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第5期42-48,共7页
基金
国家重大科学仪器开发专项(2014YQ090709)
国家自然科学基金面上项目(51475335)
国家航空科学基金(201856Y5001)
文摘
栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。
关键词
栅格标准样板
微纳米
快速循迹
量值溯源
Keywords
grid standard template
micro-nano
fast track
traceability
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
2
作者
孟凡娇
傅云霞
邵力
赵军
雷李华
机构
中国计量大学
上海市计量测试技术研究院
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第11期824-830,共7页
基金
国家重大仪器专项资助项目(2014YQ090709)
国家自然科学基金面上项目(51475335)
文摘
作为横向标准样版,栅格标准样版被广泛应用于校准各类显微镜测头的放大倍率以及图像畸变,因此,对栅格样版的精准测量是保证测量仪器量值准确传递的基础。提出了一种基于双角度偏转原理的快速、精确定位一维栅格结构的正交扫描方向角的提取方法,并通过模型转换实现了二维栅格结构的“行方向”、“列方向”正交扫描方向角提取的拓展;分析了一维和二维光栅结构的误差修正方法,通过集成的原子力显微镜（AFM）测头和激光共聚焦测头（LFS）的计量型纳米测量系统对栅格标准样版进行了多次重复性测量。结果表明,正交扫描方向角的有效提取,能大大提高周期性栅格结构的评价精度和准确性。
关键词
栅格标准样版
图像畸变
正交扫描方向角
误差修正方法
纳米测量系统
Keywords
grid standard template
image distortion
orthogonal scaning direction angle
errorcorrection method
nanometer measurement system
分类号
TN305.6 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电感耦合等离子体发射光谱法测定铝硅合金杂质含量
3
作者
孟凡娇
张宇霆
曲凤娇
刘秋颖
周丹桐
马华
机构
辽阳象屿铝业有限公司
出处
《汽车工艺与材料》
2025年第6期62-66,共5页
文摘
采用碱溶酸化的前处理方法及基体匹配法,在最佳的仪器参数条件下建立工作曲线,通过电感耦合等离子体发射光谱仪测定铝硅合金中杂质元素硅、镁、铁、铜、锰、锌的含量。进行了元素干扰试验及溶液酸度试验,确定各元素的方法检出限为硅元素0.0097%、镁元素0.0053%、铁元素0.0044%、铜元素0.0016%、锰元素0.0003%、锌元素0.0007%,验证了曲线的重复性和准确性良好,测定样品的加标回收率为94%~106%。
关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法
铝硅合金
碱溶酸化
标准曲线
Keywords
Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy
Aluminum silicon alloy
Alkaline dissolution and acidification
Standard Curve
分类号
TG146.21 [一般工业技术]
O657.31 [金属学及工艺]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多维栅格标准样板的制备与表征（英文）
雷李华
蔡潇雨
魏佳斯
孟凡娇
傅云霞
张馨尹
李源
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于栅格样版正交方向扫描的精准测量
孟凡娇
傅云霞
邵力
赵军
雷李华
《微纳电子技术》
北大核心
2018
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
电感耦合等离子体发射光谱法测定铝硅合金杂质含量
孟凡娇
张宇霆
曲凤娇
刘秋颖
周丹桐
马华
《汽车工艺与材料》
2025
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职称材料
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