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基于真空技术的高精度气体传感器测试系统 被引量:1
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作者 沈伟 高柯 +2 位作者 孙语遥 王军 赵蒙 《物理实验》 2016年第5期7-12,共6页
以真空部件为主体并结合自动化控制技术搭建了气体传感器测试系统.该系统采用静态测量模式,提高了样气配制、响应与恢复时间测量以及测试气压控制的精度.系统功能全面,可同步测量样品的光学和电学参量对目标气体体积分数、工作温度、湿... 以真空部件为主体并结合自动化控制技术搭建了气体传感器测试系统.该系统采用静态测量模式,提高了样气配制、响应与恢复时间测量以及测试气压控制的精度.系统功能全面,可同步测量样品的光学和电学参量对目标气体体积分数、工作温度、湿度、气压、光照等变量的响应,并可开展批量样品的长期稳定性测试. 展开更多
关键词 气体传感器 真空技术 静态测量模式
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