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柔性超导电路制备工艺技术研究
1
作者
朱承峰
李万
+6 位作者
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第7期929-934,共6页
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺...
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100 nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度T_(c)为8.91~9.02 K,剩余电阻比r_(RR)为5.83~6.96。温度为8 K时,38根传输线临界电流I_(c)超过1 mA;温度为4.2 K时,所有样品I_(c)均超过1 mA,其中有25根传输线I_(c)超过10 mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。
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关键词
电学计量
超导转变边沿探测器
聚酰亚胺
柔性超导电路
超导转变温度
临界电流
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职称材料
SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究
2
作者
刘海燕
孙潇莹
+5 位作者
李劲劲
王雪深
陈建
高鹤
周哲海
徐骁龙
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第4期549-554,共6页
设计良好的光学谐振腔是提高超导转变边沿传感器(TES)光学效率的有效手段,光学谐振腔结构厚度的变化,不仅对TES的光学效率有影响,而且会产生不同的残余应力进而影响TES的超导特性。研究了以超导Ti膜为TES功能层材料,同时选用SiO_(2)-SiN...
设计良好的光学谐振腔是提高超导转变边沿传感器(TES)光学效率的有效手段,光学谐振腔结构厚度的变化,不仅对TES的光学效率有影响,而且会产生不同的残余应力进而影响TES的超导特性。研究了以超导Ti膜为TES功能层材料,同时选用SiO_(2)-SiN_(x)体系作为光学谐振腔薄膜。通过对数值仿真,确定了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔薄膜厚度变化对Ti-TES光学吸收效率的影响。分析了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔不同薄膜厚度的变化自身应力随之变化的趋势,最后制备了不同厚度SiO_(2)-SiN_(x)光学谐振腔的TES,并进行光学吸收效率的测试,验证了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔薄膜厚度对Ti-TES光学吸收效率变化的规律。
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关键词
计量学
TES
超导薄膜
光学谐振腔
SiO_(2)-SiN_(x)体系
Ti膜
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职称材料
题名
柔性超导电路制备工艺技术研究
1
作者
朱承峰
李万
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
机构
中国计量大学计量测试工程学院
四川大学物理学院
中国计量科学研究院
济南量子技术研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第7期929-934,共6页
基金
国家重点研发计划(2022YFF0608303)。
文摘
超导转变边沿探测器是坎德拉单位量子化复现和单能X射线量子计量的核心器件。大规模超导转变边沿探测器阵列探头的信号读出需利用柔性超导电路将信号传输至探头侧面的超导量子干涉器件。柔性超导电路是将超导信号线制备在柔性聚酰亚胺衬底上以实现信号低热导率、无阻传输。以硅片作为临时支撑,电子束蒸发100 nm Cr膜作为剥离牺牲层。非光敏聚酰胺酸旋涂在Cr膜上固化后,通过紫外曝光、溅射薄膜沉积和剥离等工艺制备Nb/Al薄膜传输线结构,利用Cr膜高应力特性将聚酰亚胺薄膜从硅片上剥离,湿法腐蚀Cr膜完成柔性超导电路的制备。测试的40根Nb/Al传输线的超导转变温度T_(c)为8.91~9.02 K,剩余电阻比r_(RR)为5.83~6.96。温度为8 K时,38根传输线临界电流I_(c)超过1 mA;温度为4.2 K时,所有样品I_(c)均超过1 mA,其中有25根传输线I_(c)超过10 mA,满足超导转变边沿探测器阵列测试需求。
关键词
电学计量
超导转变边沿探测器
聚酰亚胺
柔性超导电路
超导转变温度
临界电流
Keywords
electrical metrology
transition edge sensor
polyimide
flexible superconducting circuit
superconducting transition temperature
critical current
分类号
TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究
2
作者
刘海燕
孙潇莹
李劲劲
王雪深
陈建
高鹤
周哲海
徐骁龙
机构
北京信息科技大学机械行业现代光电测试技术重点实验室
中国计量科学研究院
沈阳化工大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第4期549-554,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金(61901432,61701470)
国家市场监督管理总局科技计划(2020MK153,2019MK112)
+2 种基金
中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域项目(AKYZD1903)
北京长城学者支持计划(CIT&TCD20190323)
北京青年拔尖人才支持计划(Z2019042)。
文摘
设计良好的光学谐振腔是提高超导转变边沿传感器(TES)光学效率的有效手段,光学谐振腔结构厚度的变化,不仅对TES的光学效率有影响,而且会产生不同的残余应力进而影响TES的超导特性。研究了以超导Ti膜为TES功能层材料,同时选用SiO_(2)-SiN_(x)体系作为光学谐振腔薄膜。通过对数值仿真,确定了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔薄膜厚度变化对Ti-TES光学吸收效率的影响。分析了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔不同薄膜厚度的变化自身应力随之变化的趋势,最后制备了不同厚度SiO_(2)-SiN_(x)光学谐振腔的TES,并进行光学吸收效率的测试,验证了SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔薄膜厚度对Ti-TES光学吸收效率变化的规律。
关键词
计量学
TES
超导薄膜
光学谐振腔
SiO_(2)-SiN_(x)体系
Ti膜
Keywords
metrology
TES
superconducting thin film
optical cavity
SiO_(2)-SiN_(x)system
titanium film
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
柔性超导电路制备工艺技术研究
朱承峰
李万
陈建
孙潇莹
曾九孙
蔡晋辉
王振宇
李劲劲
王雪深
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
2
SiO_(2)-SiN_(x)体系光学谐振腔中Ti超导薄膜特性的研究
刘海燕
孙潇莹
李劲劲
王雪深
陈建
高鹤
周哲海
徐骁龙
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023
0
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职称材料
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