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电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能
被引量：
13
1
作者
宋贵宏
娄茁
+1 位作者
李锋
陈立佳
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期509-514,共6页
采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境气氛,在7075Al合金上制备了Ti/TiN多层膜,并研究调制周期对多层膜的结构组成和腐蚀性能的影响。结果表明:多层膜与铝合金衬底界面结合较好,基本没有孔洞等缺陷。多层膜具有明显的层状特征,层间界...
采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境气氛,在7075Al合金上制备了Ti/TiN多层膜,并研究调制周期对多层膜的结构组成和腐蚀性能的影响。结果表明:多层膜与铝合金衬底界面结合较好,基本没有孔洞等缺陷。多层膜具有明显的层状特征,层间界面清晰。多层膜中TiN与单层中TiN薄膜有着相同的晶体结构,并存在(111)择优取向,每个调制周期内的TiN层都呈柱状生长。随着调制周期变小,多层膜阳极极化曲线的腐蚀电位增加,交流阻抗谱的阻抗值增大,容抗弧的半径也增大,即膜层的耐腐蚀性增加。多层膜调制周期的减小使得薄膜中含有的层界面增多,而贯穿至衬底表面的针孔等缺陷的数量将减少,这样,腐蚀性介质经过针孔等缺陷与衬底接触的机会变少,这将使薄膜的抗腐蚀能力得到改善。
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关键词
Ti/TiN多层膜
电弧离子镀
择优取向
耐腐蚀性
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职称材料
铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能
被引量：
4
2
作者
宋贵宏
娄茁
+1 位作者
熊光连
陈立佳
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
北大核心
2012年第4期391-396,共6页
为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示...
为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示,沉积的Ti/TiN多层膜具有明显的周期性,环境中N2和Ar气的时间比例决定了多层膜的调制周期,N2气时间越长,多层膜中TiN相层越厚.腐蚀性能测定表明,多层膜的调制周期影响其耐蚀性,当调制周期为550 nm时,沉积膜的耐腐蚀性最好.
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关键词
Ti/TiN多层膜
电弧离子镀
调制周期
择优取向
XRD谱
结合强度
腐蚀性能
硬质防护膜
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职称材料
脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响
被引量：
3
3
作者
宋贵宏
张硕
+2 位作者
娄茁
李锋
陈立佳
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
2010年第4期375-379,410,共6页
为了研究在铝合金上硬质膜的性能,促进硬质TiN膜在铝合金构件上的应用,利用电弧离子镀在7075铝合金上沉积TiN膜层,并通过改变脉冲偏压幅值研究其对薄膜生长过程的影响.结果表明,生长的TiN膜具有柱状特征,在无偏压或低偏压时,柱状特征明...
为了研究在铝合金上硬质膜的性能,促进硬质TiN膜在铝合金构件上的应用,利用电弧离子镀在7075铝合金上沉积TiN膜层,并通过改变脉冲偏压幅值研究其对薄膜生长过程的影响.结果表明,生长的TiN膜具有柱状特征,在无偏压或低偏压时,柱状特征明显,但随着负偏压值的增大,柱状特征变得不明显,膜层中Ti和N的原子比率增加,由无偏压、低偏压时近似为1.0增加到-200V偏压时的1.2.在0～-200V偏压范围内,沉积膜的平均生长速率由1.5μm/h增加到11.3μm/h.随着负偏压的增加,TiN膜的(111)方向的择优取向越来越明显,而(200)方向强度越来越小.沉积膜呈柱状生长,具有明显的择优取向,其程度受脉冲偏压影响.
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关键词
TIN膜
铝合金衬底
脉冲偏压
薄膜生长
择优取向
柱状特征
硬质膜
结合强度
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职称材料
题名
电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能
被引量：
13
1
作者
宋贵宏
娄茁
李锋
陈立佳
机构
沈阳工业大学材料科学与工程学院
出处
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期509-514,共6页
基金
辽宁省科委博士科研启动基金资助项目(20041022)
辽宁省教育厅科技研究项目(20092464)
文摘
采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境气氛,在7075Al合金上制备了Ti/TiN多层膜,并研究调制周期对多层膜的结构组成和腐蚀性能的影响。结果表明:多层膜与铝合金衬底界面结合较好,基本没有孔洞等缺陷。多层膜具有明显的层状特征,层间界面清晰。多层膜中TiN与单层中TiN薄膜有着相同的晶体结构,并存在(111)择优取向,每个调制周期内的TiN层都呈柱状生长。随着调制周期变小,多层膜阳极极化曲线的腐蚀电位增加,交流阻抗谱的阻抗值增大,容抗弧的半径也增大,即膜层的耐腐蚀性增加。多层膜调制周期的减小使得薄膜中含有的层界面增多,而贯穿至衬底表面的针孔等缺陷的数量将减少,这样,腐蚀性介质经过针孔等缺陷与衬底接触的机会变少,这将使薄膜的抗腐蚀能力得到改善。
关键词
Ti/TiN多层膜
电弧离子镀
择优取向
耐腐蚀性
Keywords
Ti/TiN multilayers
arc ion plating
preferred orientation
corrosive resistance
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能
被引量：
4
2
作者
宋贵宏
娄茁
熊光连
陈立佳
机构
沈阳工业大学材料科学与工程学院
出处
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
北大核心
2012年第4期391-396,共6页
基金
辽宁省科技厅博士科研启动基金资助项目(20041022)
辽宁省教育厅科研项目(20092464)
文摘
为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示,沉积的Ti/TiN多层膜具有明显的周期性,环境中N2和Ar气的时间比例决定了多层膜的调制周期,N2气时间越长,多层膜中TiN相层越厚.腐蚀性能测定表明,多层膜的调制周期影响其耐蚀性,当调制周期为550 nm时,沉积膜的耐腐蚀性最好.
关键词
Ti/TiN多层膜
电弧离子镀
调制周期
择优取向
XRD谱
结合强度
腐蚀性能
硬质防护膜
Keywords
Ti/TiN multilayer film
arc ion plating
modulation period
preferred orientation
XRD spectrum
bonding strength
corrosion resistance
hard protective film
分类号
TG146.2 [金属学及工艺—金属材料]
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职称材料
题名
脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响
被引量：
3
3
作者
宋贵宏
张硕
娄茁
李锋
陈立佳
机构
沈阳工业大学材料科学与工程学院
出处
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
2010年第4期375-379,410,共6页
基金
辽宁省科委博士科研启动基金资助项目(20041022)
辽宁省教育厅科研资助项目(2004F006)
文摘
为了研究在铝合金上硬质膜的性能,促进硬质TiN膜在铝合金构件上的应用,利用电弧离子镀在7075铝合金上沉积TiN膜层,并通过改变脉冲偏压幅值研究其对薄膜生长过程的影响.结果表明,生长的TiN膜具有柱状特征,在无偏压或低偏压时,柱状特征明显,但随着负偏压值的增大,柱状特征变得不明显,膜层中Ti和N的原子比率增加,由无偏压、低偏压时近似为1.0增加到-200V偏压时的1.2.在0～-200V偏压范围内,沉积膜的平均生长速率由1.5μm/h增加到11.3μm/h.随着负偏压的增加,TiN膜的(111)方向的择优取向越来越明显,而(200)方向强度越来越小.沉积膜呈柱状生长,具有明显的择优取向,其程度受脉冲偏压影响.
关键词
TIN膜
铝合金衬底
脉冲偏压
薄膜生长
择优取向
柱状特征
硬质膜
结合强度
Keywords
TiN film
Al alloy substrate
pulse bias
film growth
preferred orientation
column growth
hard film
cohesive strength
分类号
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能
宋贵宏
娄茁
李锋
陈立佳
《中国有色金属学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能
宋贵宏
娄茁
熊光连
陈立佳
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
北大核心
2012
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
脉冲偏压对铝合金上TiN膜生长的影响
宋贵宏
张硕
娄茁
李锋
陈立佳
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
2010
3
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职称材料
已选择
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