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题名L型铌酸锂超表面工艺优化研究
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作者
姚雪盈
常文瑶
郭子瑞
李健梅
郭阳
顾长志
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机构
燕山大学理学院
中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室
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出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第8期645-650,共6页
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基金
国家重点研发计划项目(2024YFA1207704)
国家自然科学基金项目(92265110,62174179)
+1 种基金
河北省教育厅科学研究项目(QN2024128)
中国科学院战略性先导科技专项项目(XDB33020200)。
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文摘
绝缘体上的铌酸锂(LNOI)兼具铌酸锂(LiNbO_(3))晶体优秀的线性和非线性光学性质,及易于光子器件加工和集成的特性,被认为是集成光学的潜在平台之一。研究通过电感耦合等离子体反应离子刻蚀系统(ICP-RIE)制备了一种L型LNOI超表面结构,基于传统工艺步骤进一步提出了优化策略。主要包括,修正曝光图形,精准调控L形状;降低镀膜速率,提升掩膜的致密性与均匀性;调整刻蚀气体成分,引入氢气,消除样品副产物。实验结果表明,此优化工艺使L结构表面平整度显著改善、侧壁陡直度提高,尺寸符合理论设计。其二次谐波产生(SHG)强度相比LNOI大约提高5倍。该研究将推动铌酸锂晶体光学元件制备和集成技术的发展。
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关键词
铌酸锂
超构原子
非线性超表面
微纳米加工技术
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Keywords
Lithium niobate
Meta atoms
Nonlinear metasurfaces
Micro and nano fabrication techniques
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分类号
O437.1
[机械工程—光学工程]
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