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三氯氢硅冷凝器的双管板结构及其与换热管的胀接
被引量:
2
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作者
姚振舫
孙巧英
《压力容器》
1995年第2期79-83,共5页
1 前言 三氯氢硅冷凝器是上海棱光实业公司(原上海石英玻璃厂)生产多晶硅的专用设备,用于气态三氯氢硅(SiHCl_3)的冷凝。 原设备为立置的普通固定管板列管式换热器,由某研究所设计,并经数家制造厂承制。管程介质为(SiHCl_3)。
关键词
三氯氢硅冷凝器
冷凝器
换热器
胀接连接
全文增补中
题名
三氯氢硅冷凝器的双管板结构及其与换热管的胀接
被引量:
2
1
作者
姚振舫
孙巧英
机构
苏州化工机械厂
出处
《压力容器》
1995年第2期79-83,共5页
文摘
1 前言 三氯氢硅冷凝器是上海棱光实业公司(原上海石英玻璃厂)生产多晶硅的专用设备,用于气态三氯氢硅(SiHCl_3)的冷凝。 原设备为立置的普通固定管板列管式换热器,由某研究所设计,并经数家制造厂承制。管程介质为(SiHCl_3)。
关键词
三氯氢硅冷凝器
冷凝器
换热器
胀接连接
分类号
TQ051.61 [化学工程]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
三氯氢硅冷凝器的双管板结构及其与换热管的胀接
姚振舫
孙巧英
《压力容器》
1995
2
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