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三氯氢硅冷凝器的双管板结构及其与换热管的胀接 被引量:2
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作者 姚振舫 孙巧英 《压力容器》 1995年第2期79-83,共5页
1 前言 三氯氢硅冷凝器是上海棱光实业公司(原上海石英玻璃厂)生产多晶硅的专用设备,用于气态三氯氢硅(SiHCl_3)的冷凝。 原设备为立置的普通固定管板列管式换热器,由某研究所设计,并经数家制造厂承制。管程介质为(SiHCl_3)。
关键词 三氯氢硅冷凝器 冷凝器 换热器 胀接连接
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