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In_2O_3薄膜/锡掺杂玻璃光波导元件及其气敏性研究
被引量：
7
1
作者
姑丽各娜.买买提依明
海日沙.阿不来提
阿布力孜.伊米提
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期107-111,126,共6页
本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件,检测挥发性有机物蒸汽的新方法。通过溶胶凝胶法制备了In2O3粉末并用X-衍射对样品进行表征。采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备In2O3薄膜,研制了In2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导传...
本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件,检测挥发性有机物蒸汽的新方法。通过溶胶凝胶法制备了In2O3粉末并用X-衍射对样品进行表征。采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备In2O3薄膜,研制了In2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件,并对挥发性有机蒸汽进行检测。实验结果表明该元件对二甲苯具有较好的气敏性,在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-6(体积分数)的二甲苯蒸汽有比较明显响应。
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关键词
光波导气敏元件
溶胶凝胶法
In2O3纳米薄膜
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职称材料
Fe_2O_3-In_2O_3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究
被引量：
1
2
作者
姑丽各娜.买买提依明
阿布力孜.伊米提
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期462-466,共5页
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体...
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测。实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1×10-3～1×10-5(V/V)。在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s。Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点。
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关键词
气体传感器1
玻璃光波导2
溶胶凝胶法3
Fe2O3-In2O3复合薄膜4
二甲苯5
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职称材料
题名
In_2O_3薄膜/锡掺杂玻璃光波导元件及其气敏性研究
被引量：
7
1
作者
姑丽各娜.买买提依明
海日沙.阿不来提
阿布力孜.伊米提
机构
新疆大学化学化工学院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期107-111,126,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(20965008)
文摘
本文提出利用金属氧化物半导体材料制备光波导气敏元件,检测挥发性有机物蒸汽的新方法。通过溶胶凝胶法制备了In2O3粉末并用X-衍射对样品进行表征。采用提拉法在锡掺杂玻璃光波导表面制备In2O3薄膜,研制了In2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导传感元件,并对挥发性有机蒸汽进行检测。实验结果表明该元件对二甲苯具有较好的气敏性,在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-6(体积分数)的二甲苯蒸汽有比较明显响应。
关键词
光波导气敏元件
溶胶凝胶法
In2O3纳米薄膜
Keywords
optical waveguide gas sensor
Sol-Gel method
In2O3thin film
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
Fe_2O_3-In_2O_3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究
被引量：
1
2
作者
姑丽各娜.买买提依明
阿布力孜.伊米提
机构
喀什师范学院化学与环境科学系
新疆大学化学化工学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期462-466,共5页
基金
国家自然科学基金项目(20965008)
文摘
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测。实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1×10-3～1×10-5(V/V)。在常温下该敏感元件对于浓度为1×10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s。Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点。
关键词
气体传感器1
玻璃光波导2
溶胶凝胶法3
Fe2O3-In2O3复合薄膜4
二甲苯5
Keywords
gas sensor 1
glass optical waveguide 2
Sol-Gel method 3
Fe2O3-In2O3 composite film 4
xylene 5
分类号
TP214.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
In_2O_3薄膜/锡掺杂玻璃光波导元件及其气敏性研究
姑丽各娜.买买提依明
海日沙.阿不来提
阿布力孜.伊米提
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
Fe_2O_3-In_2O_3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究
姑丽各娜.买买提依明
阿布力孜.伊米提
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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职称材料
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