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组装用机械手稳定性研究
1
作者
关景泰
增渊正美
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1991年第3期307-314,共8页
集成电路制作用机械手是三轴式伺服电机驱动系统。为保证其稳定工作,以达到±0.02mm的位置精度,本文依据极点配置原理,提出利用多参量反馈控制法,获得系统可靠的稳定裕度和良好的综合动态品质。
关键词
机械手
极点配置
集成电路
稳定性
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职称材料
题名
组装用机械手稳定性研究
1
作者
关景泰
增渊正美
机构
同济大学机械学院
日本大阪大学
出处
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1991年第3期307-314,共8页
文摘
集成电路制作用机械手是三轴式伺服电机驱动系统。为保证其稳定工作,以达到±0.02mm的位置精度,本文依据极点配置原理,提出利用多参量反馈控制法,获得系统可靠的稳定裕度和良好的综合动态品质。
关键词
机械手
极点配置
集成电路
稳定性
Keywords
Poles layout
Stability margin
分类号
TM13 [电气工程—电工理论与新技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
组装用机械手稳定性研究
关景泰
增渊正美
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
1991
0
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