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辐照激光能量对SiO_2薄膜特性及结构的影响
被引量：
3
1
作者
郭芳
徐均琪
+2 位作者
苏俊宏
党少坤
基玛.格拉索夫
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期348-352,共5页
为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光...
为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值(LIDT)的变化。结果表明,样片膜厚随激光能量的增加而减小,辐照激光能改善薄膜表面形貌,并使样片LIDT值提高,最终能使样片的LIDT值从16.96J/cm2提高至18.8J/cm2。
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关键词
SIO2薄膜
辐照激光
激光损伤阈值(LIDT)
影响
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职称材料
题名
辐照激光能量对SiO_2薄膜特性及结构的影响
被引量：
3
1
作者
郭芳
徐均琪
苏俊宏
党少坤
基玛.格拉索夫
机构
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
白俄罗斯国立信息与无线电电子大学
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期348-352,共5页
基金
国家国际科技合作专项(2013DFR70620)
国家自然科学基金(61378050)
文摘
为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化,本文以K9玻璃为基底,采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜,并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照,研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值(LIDT)的变化。结果表明,样片膜厚随激光能量的增加而减小,辐照激光能改善薄膜表面形貌,并使样片LIDT值提高,最终能使样片的LIDT值从16.96J/cm2提高至18.8J/cm2。
关键词
SIO2薄膜
辐照激光
激光损伤阈值(LIDT)
影响
Keywords
SiO2 films
laser irradiating energy
laser-induced damage threshold(LIDT)
effect
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
辐照激光能量对SiO_2薄膜特性及结构的影响
郭芳
徐均琪
苏俊宏
党少坤
基玛.格拉索夫
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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