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用电化学腐蚀法制备氧化多孔硅波导定向耦合器 被引量:3
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作者 贾振红 涂楚辙 +1 位作者 地里木拉提.土尔逊 李芮 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期11-12,共2页
用一种聚合物材料薄膜作为掩膜 ,通过在电化学腐蚀过程中控制腐蚀电流和时间 ,首次制备出了氧化多孔硅波导定向耦合器。实验中用波长为 980nm的激光作为信号光源 ,观测到了样品的耦合光信号。给出了耦合器耦合系数不确定的因素 ,同时也... 用一种聚合物材料薄膜作为掩膜 ,通过在电化学腐蚀过程中控制腐蚀电流和时间 ,首次制备出了氧化多孔硅波导定向耦合器。实验中用波长为 980nm的激光作为信号光源 ,观测到了样品的耦合光信号。给出了耦合器耦合系数不确定的因素 ,同时也分析了多孔硅波导传输损耗形成的原因。 展开更多
关键词 氧化多孔硅 波导 定向耦合器
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多孔硅/聚合物复合膜光学各向异性的研究 被引量:2
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作者 贾振红 涂楚辙 地里木拉提.土尔逊 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期28-29,共2页
首次用二维圆柱孔模型研究了多孔硅/聚合物复合膜的光学各向异性,求出了光学各向异性参数。实验上制备出了多孔硅/PMMA复合膜平面波导,采用棱镜耦合m线方法测量了复合膜的折射率。理论分析与实验结果基本相符。研究结果表明,多孔硅膜呈... 首次用二维圆柱孔模型研究了多孔硅/聚合物复合膜的光学各向异性,求出了光学各向异性参数。实验上制备出了多孔硅/PMMA复合膜平面波导,采用棱镜耦合m线方法测量了复合膜的折射率。理论分析与实验结果基本相符。研究结果表明,多孔硅膜呈现出正单轴晶体的特征,由TE和TM模射所确定的折射率分别对应寻常光折射率和非寻常光折射率。多孔硅/PMMA复合膜光学各向异性随聚合物嵌入率的增加而减小。光学各向异性也随孔隙率的不同而变化,当初始孔隙率为73%时,光学各向异性参数β取最大值。 展开更多
关键词 多孔硅 聚合物 波导 光学各向异性
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