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不同退火气氛对PdNi氢气传感器的性能影响研究
1
作者
李祎龙
张虹
+7 位作者
金凡亚
姚明镜
黄熠
杨彪
但敏
唐语杉
褚力
马韦刚
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期969-975,共7页
氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一,其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%~75.6%时,极易发生爆炸,所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中,氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工...
氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一,其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%~75.6%时,极易发生爆炸,所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中,氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工艺制备了薄膜厚度为90 nm的PdNi合金薄膜,针对PdNi合金薄膜氢气传感器的零点漂移问题,采用空气和氩气进行退火处理,退火温度和时间设置为250℃和2 h,随后测试了不同退火气氛下的PdNi合金薄膜氢气传感器的氢敏响应特性。研究表明:空气退火后,PdNi薄膜氧化严重,不能对H2有较好地响应;Ar退火后,PdNi薄膜合金化程度增强,薄膜缺陷减少,降低了PdNi合金薄膜传感器的响应值及灵敏度、延长响应时间,但会使材料结构更加稳定,可以抑制传感器的零点漂移现象,相较于未退火样品优化了50%左右,传感器响应更加稳定。
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关键词
氢气传感器
薄膜
PdNi
零点漂移
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职称材料
题名
不同退火气氛对PdNi氢气传感器的性能影响研究
1
作者
李祎龙
张虹
金凡亚
姚明镜
黄熠
杨彪
但敏
唐语杉
褚力
马韦刚
机构
核工业西南物理研究院
中国核动力研究设计院
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期969-975,共7页
基金
西物创新行动项目(202301XWCX003)。
文摘
氢能是最有望代替化石能源的清洁能源之一,其具有易生产、高效和清洁环保等优点。但当氢气浓度达到4%~75.6%时,极易发生爆炸,所以在氢气的生产制备、储存、运输、分配和应用过程中,氢气浓度监测极为重要。文章采用磁控溅射技术和MEMS工艺制备了薄膜厚度为90 nm的PdNi合金薄膜,针对PdNi合金薄膜氢气传感器的零点漂移问题,采用空气和氩气进行退火处理,退火温度和时间设置为250℃和2 h,随后测试了不同退火气氛下的PdNi合金薄膜氢气传感器的氢敏响应特性。研究表明:空气退火后,PdNi薄膜氧化严重,不能对H2有较好地响应;Ar退火后,PdNi薄膜合金化程度增强,薄膜缺陷减少,降低了PdNi合金薄膜传感器的响应值及灵敏度、延长响应时间,但会使材料结构更加稳定,可以抑制传感器的零点漂移现象,相较于未退火样品优化了50%左右,传感器响应更加稳定。
关键词
氢气传感器
薄膜
PdNi
零点漂移
Keywords
Hydrogen sensor
Thin film
PdNi
Zero drift
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同退火气氛对PdNi氢气传感器的性能影响研究
李祎龙
张虹
金凡亚
姚明镜
黄熠
杨彪
但敏
唐语杉
褚力
马韦刚
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
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