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基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试 被引量:1
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作者 吕永林 郑万祥 +7 位作者 李汝劼 张友良 唐莹娟 张伟涛 陈奕君 王贵全 李彦生 王乔方 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期965-973,共9页
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射... 薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射光谱曲线,借助不同色散模型,构建目标优化函数,获得薄膜光学常数和厚度,拟合结果与采用椭偏仪测试的结果具有较好的一致性。将拟合得到的薄膜光学参数及厚度代入反射率理论计算模型,通过理论计算模型得到的反射率曲线和实验测试曲线吻合良好,折射率测试结果与计算结果的最大相对误差小于1.8%,厚度测试结果的相对误差不大于0.4%,考虑消光系数的反射光谱拟合曲线与测试曲线相对误差的最大值小于2%。该方法只需测量薄膜的反射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜的光学常数及厚度。该方法测试计算简单、精度高、适用范围广,对光学薄膜结构设计、优化和加工具有一定的实际应用价值。 展开更多
关键词 光学薄膜 反射光谱 折射率 薄膜厚度
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LPE碲镉汞薄膜的显微Raman谱与显微荧光谱分析 被引量:2
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作者 黄晖 唐莹娟 +2 位作者 许京军 张存洲 张光寅 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期261-264,共4页
利用Raman显微镜系统对4块用液相外延(LPE)方法在Cd0 96Zn0 04Te衬底上生长的Hg0 8Cd0 2Te外延薄膜样品,在100~5000cm-1光谱范围进行测量,在实验曲线中除了观察到与碲镉汞材料晶格振动相符的类 HgTe的光学振动横模(TO1模)和纵模(LO1模)... 利用Raman显微镜系统对4块用液相外延(LPE)方法在Cd0 96Zn0 04Te衬底上生长的Hg0 8Cd0 2Te外延薄膜样品,在100~5000cm-1光谱范围进行测量,在实验曲线中除了观察到与碲镉汞材料晶格振动相符的类 HgTe的光学振动横模(TO1模)和纵模(LO1模)的Raman散射峰、类 CdTe光学振动横模(TO2模)和纵模(LO2模)混合的Raman散射峰以及来源于TO1+LO1的二级Raman散射峰外,在1000~5000cm-1光谱范围首次发现了LPE碲镉汞薄膜的显微荧光峰,该显微荧光的发光范围换算为电子伏特标度为1 34~1 83eV,发光中心位于2750cm-1即1 62eV,发光峰的半高宽(FWHM)约为0 25eV。通过分析指出,该显微荧光来源于碲镉汞外延层中阴性离子空位与材料导带底的共振能级的发光。 展开更多
关键词 LPE碲镉汞薄膜 显微Raman谱 显微荧光谱 液相外延 红外探测器 光学振动
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碲镉汞体材料的显微Raman光谱 被引量:3
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作者 黄晖 唐莹娟 +3 位作者 许京军 张存洲 潘顺臣 张光寅 《红外技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期37-41,共5页
利用Raman显微镜测量了ACRT Bridgman方法和Te溶剂方法生长的碲镉汞体材料的显微Raman光谱 ,在碲镉汞体材料的显微Raman光谱中识别出了碲镉汞的基本光学振动模 ,由此证明了碲镉汞按晶格振动的分类方法属于二模混晶 ;识别出了一个来源于... 利用Raman显微镜测量了ACRT Bridgman方法和Te溶剂方法生长的碲镉汞体材料的显微Raman光谱 ,在碲镉汞体材料的显微Raman光谱中识别出了碲镉汞的基本光学振动模 ,由此证明了碲镉汞按晶格振动的分类方法属于二模混晶 ;识别出了一个来源于类HgTe的TO1模 +LO1模的二级Raman散射峰 ;观察到了碲镉汞体材料中两个新的Raman散射峰 ,分别位于 6 6 2cm- 1和 74 9cm- 1;观察到了碲镉汞基本光学振动模的TO1模与LO1模的Raman散射强度比的变化 ,指出该现象是由于Ra 展开更多
关键词 碲镉汞晶体 显微Raman光谱 光学振动膜 RAMAN散射
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基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演 被引量:8
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作者 王贵全 张锦荣 +8 位作者 邵毅 郑万祥 唐莹娟 胡中 姜兴平 李彦生 李伟 王乔方 字正华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第5期473-477,共5页
本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线。应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数。该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数... 本文采用透射光谱法测量Ge基底类金刚石薄膜(Diamond-like carbon,DLC)的光谱曲线。应用测量的光谱曲线,基于模拟退火算法,构建目标优化函数,通过光谱反演法得到薄膜的厚度、折射率、消光系数。该方法得到的Ge基底类金刚石膜的光学参数与椭偏仪测试结果比对,折射率误差小于1%,厚度误差小于2%。并且将薄膜的光学参数带入透过率理论计算模型,得到的Ge基底类金刚石薄膜透射光谱曲线和实际测试曲线的误差小于2%。该方法只需测量透射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜光学参数,对光学薄膜设计和加工具有重要指导意义。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 透射光谱 薄膜厚度 折射率 消光系数
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基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究 被引量:1
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作者 李彦生 唐莹娟 +6 位作者 李汝劼 许红 苏斌 何雨纯 程敬辉 陈奕君 王乔方 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第11期1243-1247,共5页
本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形... 本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形偏差。为验证这一方法的正确性和可靠性,采用ZYGO可见光干涉仪,使用补偿镜法测量了同一块抛物面反射镜的面形误差。结果表明,两种测量方法结果吻合。本新方法方便快捷,具有较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的面形测试。 展开更多
关键词 红外激光干涉仪 非球面面形 波像差
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SPRITE探测器在小批量试生产阶段的维修性改善
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作者 夏丽昆 唐莹娟 莫启元 《红外技术》 CSCD 北大核心 2006年第6期365-368,共4页
国内外武器装备发展与应用的实践证明,开展维修性工作,改善维修性,对提高部队战斗力、节省装备寿命周期费用有着极其重要的作用。SPRITE探测器是红外热像仪中的关键重要部件,在其小批量试生产阶段从提高可靠性出发,对它的维修性进行了改... 国内外武器装备发展与应用的实践证明,开展维修性工作,改善维修性,对提高部队战斗力、节省装备寿命周期费用有着极其重要的作用。SPRITE探测器是红外热像仪中的关键重要部件,在其小批量试生产阶段从提高可靠性出发,对它的维修性进行了改善,取得了较好的社会效益和经济效益。 展开更多
关键词 SPRITE探测器 维修性 改善
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