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题名偏振超表面衍射光栅仪器矩阵校准方法研究
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作者
郑泽宇
叶超
周钰聪
占春连
高涵
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机构
中国计量大学光学与电子科技学院
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出处
《光子学报》
北大核心
2025年第5期144-156,共13页
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基金
国家自然科学基金(No.62405301),国家重点研发计划(No.2024YFF0618000)。
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文摘
针对偏振超表面受加工精度和系统集成误差等因素影响,其用于解算偏振态的仪器矩阵与理论值产生偏差导致偏振检测精度下降的问题,从优化系统检测方法出发,基于仪器矩阵的构成和两步校准的核心原理,提出了一种基于椭圆偏振光的“一步”校准方法,通过单次实验即可获取超表面器件的仪器矩阵,简化了校准步骤的同时减少了测量误差的累积。实验结果表明,该方法在工作波长为500 nm和1550 nm偏振超表面器件中有效提升了它们对椭圆偏振光和部分偏振光的检测精度,特别是椭圆偏振光方位角的检测精度提升明显,分别提升了2.66%和3.05%,进一步满足高精度、快速偏振检测的需求。
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关键词
超表面
衍射光栅
偏振检测
仪器矩阵
校准
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Keywords
Metagrating
Diffraction grating
Polarization detection
Instrument matrix
Calibration
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分类号
O436.3
[机械工程—光学工程]
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