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二维线性模组空间运动误差实时测量
被引量：
1
1
作者
娄志峰
张汉平
+3 位作者
周竞杰
张记云
钱钧
范光照
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第21期3111-3124,共14页
为实时检测二维线性模组的运动误差,搭建了误差实时测量系统。该系统由四自由度运动误差测量模块、滚动角误差测量模块和线性光栅尺组成,实现单轴六自由度运动误差测量。基于齐次坐标转换矩阵(Homogeneous Transfor-mation Matrix,HTM)...
为实时检测二维线性模组的运动误差,搭建了误差实时测量系统。该系统由四自由度运动误差测量模块、滚动角误差测量模块和线性光栅尺组成,实现单轴六自由度运动误差测量。基于齐次坐标转换矩阵(Homogeneous Transfor-mation Matrix,HTM)原理构建二维模组的空间误差模型,对功能点的实际空间位置进行表示;完成测量系统标定实验,并基于阿贝-布莱恩原则处理实验数据完成比对实验。最终,测量系统的定位误差、直线度误差和角度误差测量精度分别达到±1.2μm,±1.3μm和±1′′,并根据空间误差模型分析二维线性模组XZ平面对角线位置的测量误差。结果表明,使用二维线性模组空间误差模型求解后,XZ平面对角线位置的测量误差由68μm降至13μm,证明采用该系统进行线性模组误差测量是有效的;此外,因为加载状态下二维线性模组各位置的运动误差会改变,为验证测量系统能够实时测量出线性模组的空间误差变化,在Z轴滑块上加装质量为2 kg的标准砝码进行对照实验。结果显示,在使用二维线性模组空间误差模型求解后,XZ平面对角线位置的测量误差由56μm降至14μm。
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关键词
误差测量系统
二维线性模组
空间误差模型
实时测量
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职称材料
题名
二维线性模组空间运动误差实时测量
被引量：
1
1
作者
娄志峰
张汉平
周竞杰
张记云
钱钧
范光照
机构
大连理工大学机械工程学院
大连理工高邮研究院有限公司
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第21期3111-3124,共14页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.52275521)
中央高校基本科研业务费资助项目(No.DUT22YG209)
江苏省政策引导类计划资助项目(No.BZ2020051)。
文摘
为实时检测二维线性模组的运动误差,搭建了误差实时测量系统。该系统由四自由度运动误差测量模块、滚动角误差测量模块和线性光栅尺组成,实现单轴六自由度运动误差测量。基于齐次坐标转换矩阵(Homogeneous Transfor-mation Matrix,HTM)原理构建二维模组的空间误差模型,对功能点的实际空间位置进行表示;完成测量系统标定实验,并基于阿贝-布莱恩原则处理实验数据完成比对实验。最终,测量系统的定位误差、直线度误差和角度误差测量精度分别达到±1.2μm,±1.3μm和±1′′,并根据空间误差模型分析二维线性模组XZ平面对角线位置的测量误差。结果表明,使用二维线性模组空间误差模型求解后,XZ平面对角线位置的测量误差由68μm降至13μm,证明采用该系统进行线性模组误差测量是有效的;此外,因为加载状态下二维线性模组各位置的运动误差会改变,为验证测量系统能够实时测量出线性模组的空间误差变化,在Z轴滑块上加装质量为2 kg的标准砝码进行对照实验。结果显示,在使用二维线性模组空间误差模型求解后,XZ平面对角线位置的测量误差由56μm降至14μm。
关键词
误差测量系统
二维线性模组
空间误差模型
实时测量
Keywords
error measurement system
two-dimensional linear module
spatial error model
real-time measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二维线性模组空间运动误差实时测量
娄志峰
张汉平
周竞杰
张记云
钱钧
范光照
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
1
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