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题名LIGA工艺中微电铸工艺研究
被引量：5
- 1
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作者
马龙
周月豪
熊良才
柳海鹏
史铁林
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期47-49,共3页
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基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA421190)
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文摘
为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构。为进一步的微结构加工奠定了基础。
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关键词
微电铸
LIGA
准分子激光
PMMA
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Keywords
microelectroform
lithographie galvanoformung abformung （LIGA）
excimer laser
PMMA
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名准分子激光直刻横向影响区实验研究
被引量：4
- 2
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作者
柳海鹏
周月豪
熊良才
史铁林
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期132-134,共3页
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基金
国家高技术研究发展计划 (八六三计划 )资助项目(2002AA421190)
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文摘
采用248nmKrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区。将其定义为两个部分,通过各部分的大小和颜色变化情况来描述横向影响的程度,研究了它们与激光参数之间的关系。在实验结果的基础上,提出了减小横向影响区的措施和方法。
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关键词
准分子激光
直刻
横向影响区
脉冲激光参数
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Keywords
excimer laser
direct etching
transverse aff ect zone
parameters of pulse laser
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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