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DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究
被引量：
1
1
作者
刘沁
张春晓
吴雅翠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第12期11-12,42,共3页
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装，以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的ＤＦＪ－Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接...
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装，以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的ＤＦＪ－Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接机理、结构特点以及解决的主要关键技术。同时给出了用该设备封接的元件的性能测试指标。
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关键词
硅压阻式
传感器
静电封接
真空
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职称材料
题名
DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究
被引量：
1
1
作者
刘沁
张春晓
吴雅翠
机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997年第12期11-12,42,共3页
文摘
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封装，以保证硅压阻式传感器特有的高灵敏度、高精度特性。本文介绍了新近研制成的ＤＦＪ－Ⅲ型双面真空静电封接机的主要技术指标、封接机理、结构特点以及解决的主要关键技术。同时给出了用该设备封接的元件的性能测试指标。
关键词
硅压阻式
传感器
静电封接
真空
Keywords
Piezoresistive Si-Sensor,Electrostatic sealing,Vacuum.
分类号
TP212.04 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
DFJ-Ⅲ 型双面真空静电封接机的研究
刘沁
张春晓
吴雅翠
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1997
1
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