期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
衬底离子束表面氮化对ZnO薄膜性质的影响
1
作者
朱慧群
丁瑞钦
+1 位作者
姚若河
吴桐庆
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期123-125,共3页
采用射频磁控溅射法在抛光硅片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品X射线衍射谱的分析、原子力显微图的观察、吸收光谱和荧光光谱的研究,发现Si衬底的离子束表面氮化对ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性质有重要影响。在衬底...
采用射频磁控溅射法在抛光硅片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品X射线衍射谱的分析、原子力显微图的观察、吸收光谱和荧光光谱的研究,发现Si衬底的离子束表面氮化对ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性质有重要影响。在衬底温度为200℃、高纯氩氧比例为3∶1、压强为1.5Pa的条件下,在经离子束表面氮化预处理的Si衬底上溅射沉积的ZnO薄膜,经450℃真空退火,成为高(0002)晶面取向的ZnO薄膜,并具有良好的光学性质。
展开更多
关键词
射频磁控溅射
ZNO薄膜
离子束轰击
衬底表面氮化
在线阅读
下载PDF
职称材料
分层沉积GaAs/SiO_2纳米薄膜的结构和吸收光谱
2
作者
朱慧群
丁瑞钦
+1 位作者
王忆
吴桐庆
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期630-634,共5页
应用射频磁控溅射方法分别在抛光硅片和石英玻璃片上分层沉积了GaAs/S iO2纳米薄膜。通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及吸收光谱的测试,发现衬底温度、退火、氢掺杂等制备工艺对分层沉积的GaAs/S iO2纳米...
应用射频磁控溅射方法分别在抛光硅片和石英玻璃片上分层沉积了GaAs/S iO2纳米薄膜。通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及吸收光谱的测试,发现衬底温度、退火、氢掺杂等制备工艺对分层沉积的GaAs/S iO2纳米薄膜的微观结构和光学性质有明显的影响。本文对相关机理作了探讨。
展开更多
关键词
射频磁控溅射
GaAs/SiO2纳米薄膜
氢掺杂
吸收光谱
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
衬底离子束表面氮化对ZnO薄膜性质的影响
1
作者
朱慧群
丁瑞钦
姚若河
吴桐庆
机构
五邑大学薄膜与纳米材料研究所
华南理工大学物理科学与技术学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第7期123-125,共3页
基金
广东省自然科学基金(No.04011770)
广东省江门市科技计划基金(江财企[2004].59号)资助项目
文摘
采用射频磁控溅射法在抛光硅片上沉积了一系列ZnO薄膜样品。通过对薄膜样品X射线衍射谱的分析、原子力显微图的观察、吸收光谱和荧光光谱的研究,发现Si衬底的离子束表面氮化对ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性质有重要影响。在衬底温度为200℃、高纯氩氧比例为3∶1、压强为1.5Pa的条件下,在经离子束表面氮化预处理的Si衬底上溅射沉积的ZnO薄膜,经450℃真空退火,成为高(0002)晶面取向的ZnO薄膜,并具有良好的光学性质。
关键词
射频磁控溅射
ZNO薄膜
离子束轰击
衬底表面氮化
Keywords
radio frequency magnetron sputtering, ZnO films, ion beam bombardment, substrates surface nirtation treating
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
分层沉积GaAs/SiO_2纳米薄膜的结构和吸收光谱
2
作者
朱慧群
丁瑞钦
王忆
吴桐庆
机构
五邑大学薄膜与纳米材料研究所
华南理工大学物理科学与技术学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期630-634,共5页
基金
广东省自然科学基金(No.04011770)
广东省江门市科技计划基金(江财企2003.61)资助项目
文摘
应用射频磁控溅射方法分别在抛光硅片和石英玻璃片上分层沉积了GaAs/S iO2纳米薄膜。通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及吸收光谱的测试,发现衬底温度、退火、氢掺杂等制备工艺对分层沉积的GaAs/S iO2纳米薄膜的微观结构和光学性质有明显的影响。本文对相关机理作了探讨。
关键词
射频磁控溅射
GaAs/SiO2纳米薄膜
氢掺杂
吸收光谱
Keywords
RF magnetron sputtering
GaAs/SiO2 nano-films
hydrogen doping
absorption spectrum
分类号
O484 [理学—固体物理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
衬底离子束表面氮化对ZnO薄膜性质的影响
朱慧群
丁瑞钦
姚若河
吴桐庆
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
分层沉积GaAs/SiO_2纳米薄膜的结构和吸收光谱
朱慧群
丁瑞钦
王忆
吴桐庆
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
