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TiB_2靶材及涂层的制备
1
作者
欧阳辰鑫
林文松
吴柯夫
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009年第24期72-73,共2页
采用Ti粉和B粉燃烧合成制备了TiB2粉末,将所得粉末真空热压后得到TiB2磁控溅射靶材,并用射频溅射方法在不锈钢基片上沉积了TiB2涂层。采用XRD法检测了靶材和涂层的相结构组成;测试了涂层的显微硬度、干摩擦磨损性能。结果表明:靶材和涂...
采用Ti粉和B粉燃烧合成制备了TiB2粉末,将所得粉末真空热压后得到TiB2磁控溅射靶材,并用射频溅射方法在不锈钢基片上沉积了TiB2涂层。采用XRD法检测了靶材和涂层的相结构组成;测试了涂层的显微硬度、干摩擦磨损性能。结果表明:靶材和涂层都由TiB2单相组成;与没有涂层的基片相比,TiB2涂层大幅度地提高了基片的硬度和耐磨性。
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关键词
燃烧合成
TIB2涂层
磁控溅射
摩擦性能
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职称材料
题名
TiB_2靶材及涂层的制备
1
作者
欧阳辰鑫
林文松
吴柯夫
机构
上海工程技术大学材料工程学院
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009年第24期72-73,共2页
基金
上海市教委科研创新项目(09YZ367)
上海工程技术大学学生科研创新基金资助项目(A-0500-08-E796)
文摘
采用Ti粉和B粉燃烧合成制备了TiB2粉末,将所得粉末真空热压后得到TiB2磁控溅射靶材,并用射频溅射方法在不锈钢基片上沉积了TiB2涂层。采用XRD法检测了靶材和涂层的相结构组成;测试了涂层的显微硬度、干摩擦磨损性能。结果表明:靶材和涂层都由TiB2单相组成;与没有涂层的基片相比,TiB2涂层大幅度地提高了基片的硬度和耐磨性。
关键词
燃烧合成
TIB2涂层
磁控溅射
摩擦性能
Keywords
combustion synthesis
TiB2 coating
magnetron sputtering
frictional behaviour
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
TiB_2靶材及涂层的制备
欧阳辰鑫
林文松
吴柯夫
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2009
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