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直流电微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的研究
被引量:
3
1
作者
吴才香
李文芳
+1 位作者
黄文波
陈单明
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2010年第14期89-91,共3页
利用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及工艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线、扫描电镜对薄膜的相组成、形貌进行了分析。结果表明,在本实验条件下,在Pb(CH3COO)2及BaCl2溶液中无法沉积出PbTiO3及BaTiO3,在Ba(...
利用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及工艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线、扫描电镜对薄膜的相组成、形貌进行了分析。结果表明,在本实验条件下,在Pb(CH3COO)2及BaCl2溶液中无法沉积出PbTiO3及BaTiO3,在Ba(CH3COO)2及Ba(OH)2溶液中成功沉积出BaTiO3薄膜;形貌分析表明,BaTiO3晶粒呈鳞片状,薄膜表面散布着许多微孔。
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关键词
铁电薄膜
制备技术
TI
BATIO3
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职称材料
题名
直流电微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的研究
被引量:
3
1
作者
吴才香
李文芳
黄文波
陈单明
机构
华南理工大学材料科学与工程学院
出处
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2010年第14期89-91,共3页
基金
广东省自然科学基金资助项目(05006495)
文摘
利用自制的微弧氧化装置,选用合适的电解液及工艺参数,在Ti基体上直接沉积钛酸盐系铁电薄膜。利用X射线、扫描电镜对薄膜的相组成、形貌进行了分析。结果表明,在本实验条件下,在Pb(CH3COO)2及BaCl2溶液中无法沉积出PbTiO3及BaTiO3,在Ba(CH3COO)2及Ba(OH)2溶液中成功沉积出BaTiO3薄膜;形貌分析表明,BaTiO3晶粒呈鳞片状,薄膜表面散布着许多微孔。
关键词
铁电薄膜
制备技术
TI
BATIO3
Keywords
ferroelectric thin film
deposition
titanate
BaTiO3
分类号
TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流电微弧氧化法制备钛酸盐系铁电薄膜的研究
吴才香
李文芳
黄文波
陈单明
《热加工工艺》
CSCD
北大核心
2010
3
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