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PECVD法氮化硅薄膜的研究 被引量:9
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作者 吴大维 范湘军 +2 位作者 郭怀喜 张志宏 李世宁 《材料科学与工程》 CSCD 1997年第1期46-49,共4页
本文采用射频等离子体增强化学气相生长法(PECVD),在单晶硅衬底上生长氮化硅薄膜,经X射线衍射测试发现,在(100)晶向硅片上生长的氮化硅薄膜为(101)晶向的外延生长膜。还用红外吸收光谱拉曼光谱和X射线光电子能谱... 本文采用射频等离子体增强化学气相生长法(PECVD),在单晶硅衬底上生长氮化硅薄膜,经X射线衍射测试发现,在(100)晶向硅片上生长的氮化硅薄膜为(101)晶向的外延生长膜。还用红外吸收光谱拉曼光谱和X射线光电子能谱测试了β-Si3N4的特性,讨论了它在微电子学中的应用。 展开更多
关键词 PECVD 外延生长 氮化硅 薄膜
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氮化碳薄膜的X射线衍射分析 被引量:2
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作者 吴大维 何孟兵 +3 位作者 范湘军 郭怀喜 范炜 傅德君 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期43-45,27,共4页
研究了生长在硅片、合金钢片上的氮化碳薄膜的X射线衍射谱(XPD)。实验结果表明在硅片上先生长Si_3N_4过渡层和对样品进行热处理,有利于β-C_3N_4晶体的生成。不同晶面的硅衬底,生长C_3N_4薄膜的晶面不同。合金钢片上C_3N_4薄膜,出现七个... 研究了生长在硅片、合金钢片上的氮化碳薄膜的X射线衍射谱(XPD)。实验结果表明在硅片上先生长Si_3N_4过渡层和对样品进行热处理,有利于β-C_3N_4晶体的生成。不同晶面的硅衬底,生长C_3N_4薄膜的晶面不同。合金钢片上C_3N_4薄膜,出现七个β-C_3N_4衍射峰和六个α-C_3N_4衍射峰,这些结果与β-C_3N_4和α-C_3N_4的晶面数据计算值相符合。 展开更多
关键词 氮化碳薄膜 X射线衍射谱 晶体生长 晶体结构
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新型超硬材料——氮化碳薄膜研究新进展 被引量:1
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作者 吴大维 何孟兵 +3 位作者 熊子友 范炜 张辉 范湘军 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期30-34,共5页
概述了新型超硬材料——氮化碳(C_3N_4)的晶体结构和合成C_3N_4的实验方法,以及C_3N_4薄膜的TED,XRD,XPS,FTIR,Raman和Hv的测试分析结果。
关键词 氮化碳 超硬材料 薄膜
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刀具涂层技术的新进展 被引量:11
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作者 付德君 杨慧娟 +1 位作者 吴大维 范湘军 《航空制造技术》 2009年第13期80-83,共4页
涂层刀具的出现,使刀具切削性能有了重大突破,它将刀具基体与硬质薄膜表层相结合,由于基体保持了良好的韧性和较高的强度,而硬质薄膜表层又具有高耐磨性和低摩擦系数,从而使刀具的性能得到大大提高。
关键词 涂层刀具 涂层技术 切削性能 硬质薄膜 低摩擦系数 高耐磨性 基体
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新型磁控溅射法合成C_3N_4/TiN复合膜 被引量:3
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作者 何孟兵 叶明生 +3 位作者 范炜 彭友贵 范湘军 吴大维 《材料科学与工程》 CSCD 1998年第4期26-28,共3页
本工作采用在封闭型非平衡磁场dc磁控溅射系统中增加对阴极的方法制备C3N4/TiN复合交替膜,用获得的TiN对进行C3N4强迫晶化,X射线衍射(XRD)和电子衍射(TED)分析表明生成了立方氮化碳(c-C3N4)。交... 本工作采用在封闭型非平衡磁场dc磁控溅射系统中增加对阴极的方法制备C3N4/TiN复合交替膜,用获得的TiN对进行C3N4强迫晶化,X射线衍射(XRD)和电子衍射(TED)分析表明生成了立方氮化碳(c-C3N4)。交替膜的界面处有TiC的生成。 展开更多
关键词 氮化碳 磁控溅射 非平衡磁场 复合膜 氮化钛
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一种QPSK解调器(松尾环)的研制 被引量:3
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作者 吴大维 《电讯技术》 北大核心 1990年第4期22-26,共5页
本文是一种四相调相QPSK解调器(松尾环)的研制报告.该锁相环电路新颖、制作容易、性能优良,尤其适用于载波频率较高的卫星通信、微波通信设备中,是一种新型的QPSK解调器.目前在国外一些卫星设备中已有所应用.文中对松尾环的理论分析到... 本文是一种四相调相QPSK解调器(松尾环)的研制报告.该锁相环电路新颖、制作容易、性能优良,尤其适用于载波频率较高的卫星通信、微波通信设备中,是一种新型的QPSK解调器.目前在国外一些卫星设备中已有所应用.文中对松尾环的理论分析到实际电路制作给予了较详细的论述. 展开更多
关键词 QPSK 解调器 通信 四相调相
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氮化碳薄膜的耐腐蚀性和热稳定性研究 被引量:2
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作者 郭怀喜 吴大维 +4 位作者 何孟兵 傅德君 张志宏 范湘军 王国梅 《材料科学与工程》 CSCD 1998年第1期47-49,共3页
本文研究了氮化碳薄膜在氢氟酸,氢氟酸加硝酸混和酸中的抗腐蚀作用。研究表明合金钢表面镀氮化碳薄膜之后,能显著降低阳极金属电化学腐蚀电流,使金属表面明显钝化。采用热失重-差热分析方法研究氮化碳薄膜的热稳定性和抗氧化性表明... 本文研究了氮化碳薄膜在氢氟酸,氢氟酸加硝酸混和酸中的抗腐蚀作用。研究表明合金钢表面镀氮化碳薄膜之后,能显著降低阳极金属电化学腐蚀电流,使金属表面明显钝化。采用热失重-差热分析方法研究氮化碳薄膜的热稳定性和抗氧化性表明,加热氮化碳薄膜至1200℃,未见明显热失重和热反应。 展开更多
关键词 氮化碳 耐腐蚀性 热稳定性 薄膜
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氮化碳晶体的热生长
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作者 何孟兵 彭友贵 +2 位作者 叶明生 范湘军 吴大维 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期9-10,16,共3页
研究了真空热处理对非晶C3N4薄膜的晶化作用,X射线衍射(XRD)谱和透射电镜选区电子衍射(TED)图象表明。
关键词 氮化碳薄膜 真空热处理 晶体 热生长 超硬材料
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肿瘤复发患者灵性需求体验的质性研究
9
作者 邢淑君 王书航 +5 位作者 吴大维 唐玉 李宁 相前 赵苗苗 张彦新 《中国医药科学》 2024年第16期9-12,17,共5页
目的探讨肿瘤复发患者灵性需求体验,为制定针对性的灵性干预措施和医护服务的连续开展提供依据。方法2021年10月至2022年7月以目的抽样法选取在中国医学科学院肿瘤医院进行治疗的复发肿瘤患者进行访谈,共14例,将访谈资料进行转录。采用C... 目的探讨肿瘤复发患者灵性需求体验,为制定针对性的灵性干预措施和医护服务的连续开展提供依据。方法2021年10月至2022年7月以目的抽样法选取在中国医学科学院肿瘤医院进行治疗的复发肿瘤患者进行访谈,共14例,将访谈资料进行转录。采用Colaizzi 7步分析方法对资料进行编码、分析。结果肿瘤复发患者面临诸多灵性需求问题,包括精神顾虑、寻求支持。面对灵性需求,其应对经验丰富,包括积极给予,自我疏导;寻求帮助,领悟意义;主动学习,满足需求;心愿起航,自我和解。探讨其灵性需求影响因素,包括肿瘤及治疗相关因素与社会支持利用情况。结论肿瘤复发患者的灵性健康状况不容忽视,医护人员应重视其灵性需求,了解其应对经验和影响因素,满足其灵性需求。 展开更多
关键词 肿瘤复发 灵性 需求 质性
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某船气调保鲜装置的安全分析与优化
10
作者 吴大维 王振强 黄雪平 《船舶标准化工程师》 2022年第1期62-64,共3页
对某船最新投入使用的气调保鲜装置的设备原理进行阐述,提出因空气分离导致的人员缺氧的安全问题。分析气调保鲜装置的安全性并对其进行优化设计,最终确定安全执行方案。
关键词 缺氧环境 人员安全 优化设计
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泛系理论在传真机感热头开发中的应用 被引量:1
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作者 吴大维 《舰船科学技术》 1994年第2期43-49,共7页
本文根据传真机感热头工作原理、功能和结构的各项技术参数,应用泛系理论五互八悟,供求索交显充要的原则,进行创新设计、研制方案、务实开发和有关协作环境的运筹。实现了从采用的元件材料、工艺、工装设备到产品的质保体系和可靠性... 本文根据传真机感热头工作原理、功能和结构的各项技术参数,应用泛系理论五互八悟,供求索交显充要的原则,进行创新设计、研制方案、务实开发和有关协作环境的运筹。实现了从采用的元件材料、工艺、工装设备到产品的质保体系和可靠性、生产工艺的适用性,产品成本价格的可接受性等诸方面的优化显生。本项目是泛系理论在高新技术产品开发中的成功应用。 展开更多
关键词 泛系理论 感热头 传真机
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