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多功能防油污减反膜的研制
被引量：
4
1
作者
付秀华
吴冠岐
+2 位作者
刘冬梅
寇洋
韩放
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期198-202,共5页
为了改善光学镜头表面的耐污染性，选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料．借助TFCalc软件进行膜系设计，采用离子源辅助沉积的方法，通过电子柬真空镀膜设备进行制备．对...
为了改善光学镜头表面的耐污染性，选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料．借助TFCalc软件进行膜系设计，采用离子源辅助沉积的方法，通过电子柬真空镀膜设备进行制备．对比实验发现，不同的真空度环境以及不同的膜层厚度，对于薄膜的防油污性能的影响有所差异．通过对防油污性能的测试，不断优化沉积工艺参量，获得了在350～700nm波段平均理论反射率小于1％的宽带减反射膜．该薄膜具有憎水憎油抗污染能力，牢固度好，抗辐射能力强，可应用于军事、医疗、民用等各个领域．
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关键词
光学薄膜
防油污
宽带减反膜
离子源辅助沉积
抗辐射
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职称材料
题名
多功能防油污减反膜的研制
被引量：
4
1
作者
付秀华
吴冠岐
刘冬梅
寇洋
韩放
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期198-202,共5页
基金
国家自然科学基金(No.60977052)
省部产学研结合项目(No.2010A090200006)
2013年江苏省"双创计划"自助基金资助
文摘
为了改善光学镜头表面的耐污染性，选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料．借助TFCalc软件进行膜系设计，采用离子源辅助沉积的方法，通过电子柬真空镀膜设备进行制备．对比实验发现，不同的真空度环境以及不同的膜层厚度，对于薄膜的防油污性能的影响有所差异．通过对防油污性能的测试，不断优化沉积工艺参量，获得了在350～700nm波段平均理论反射率小于1％的宽带减反射膜．该薄膜具有憎水憎油抗污染能力，牢固度好，抗辐射能力强，可应用于军事、医疗、民用等各个领域．
关键词
光学薄膜
防油污
宽带减反膜
离子源辅助沉积
抗辐射
Keywords
Thin films
Anti-oil
Broadband
Ion beam assisted deposition
Radiation hardened
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多功能防油污减反膜的研制
付秀华
吴冠岐
刘冬梅
寇洋
韩放
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
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