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提高扩散硅压力传感器质量的几项措施 被引量:2
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作者 李妍君 李颖 吴丁民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1998年第9期1-3,共3页
本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中,为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施,使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品率的目的。
关键词 扩散硅 传感器 压力传感器
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EI型扩散硅力敏器件工艺技术研究 被引量:1
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作者 李妍君 乔文华 吴丁民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1995年第1期17-19,共3页
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5%。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平。
关键词 扩散硅 力敏器件 工艺 压差传感器 变送器
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工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
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作者 李妍君 李颖 吴丁民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第2期4-6,9,共4页
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程。
关键词 工业 变送器 传感器 扩散硅 压力传感器
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