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题名提高扩散硅压力传感器质量的几项措施
被引量:2
- 1
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作者
李妍君
李颖
吴丁民
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机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第9期1-3,共3页
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文摘
本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中,为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施,使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品率的目的。
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关键词
扩散硅
传感器
压力传感器
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Keywords
Diffused-Silicon,Sensor,Technological Measures.
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分类号
TH823.203
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名EI型扩散硅力敏器件工艺技术研究
被引量:1
- 2
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作者
李妍君
乔文华
吴丁民
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机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1995年第1期17-19,共3页
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文摘
本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5%。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平。
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关键词
扩散硅
力敏器件
工艺
压差传感器
变送器
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Keywords
Silicon,Pressure Sensor, Process Technology
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN379
[电子电信—物理电子学]
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题名工业变送器用75系列扩散硅压力传感器
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作者
李妍君
李颖
吴丁民
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机构
沈阳仪器仪表工艺研究所
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2000年第2期4-6,9,共4页
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文摘
介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ;其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ;测量范围为 0 6kPa~ 5 0MPa;使用温区为 - 3 0~ +80℃ ;全量程。
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关键词
工业
变送器
传感器
扩散硅
压力传感器
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Keywords
Industry Transmitter Sensor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH823.203
[机械工程—精密仪器及机械]
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