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周期栅格中的场与COM参量提取被引量：2: 1; 作者史向龙王昊 +2 位作者王为标吴浩东水永安《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第2期168-173,共6页; 从耦合模式模型(COM)方程出发,得到周期短路栅格与开路栅格中场分布的解析表达式,利用给出COM参量,研究了场分布的特征,通过对解析表达式和典型频率的场分布图形的研究,找到与场分布有关的一些特征量,并将这些特征量与COM参量通过一定... 展开更多; 关键词声表器件耦合模式模型(COM)参量短路栅开路栅; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法: 2; 作者张智欣陈长娥 +5 位作者韩茜茜史向龙魏家贵苏波范佰杰林树超《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期655-659,共5页; 针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 ... 展开更多; 关键词高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器小型化高隔离低插损; 在线阅读下载PDF 职称材料

5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器研制被引量：2: 3; 作者史向龙陈晓阳 +3 位作者苏波张俊茜于倩至孙伟彬《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期210-214,255,共6页; 该文提出了5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器的研制方法。首先根据产品指标,从双信道滤波器拓扑结构设计与信号端隔离两方面确定设计方案;再通过耦合模式模型结合全波仿真对产品进行仿真优化;最后通过有限元法/边界元法(FEM/BEM... 展开更多; 关键词双接收滤波器耦合模式模型电磁仿真低损耗; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计: 4; 作者史向龙陈晓阳 +3 位作者张俊茜苏波于倩至孙伟彬《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期230-233,共4页; 该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软... 展开更多; 关键词声表面波(SAW)滤波器 Band3频段七阶换能器谐振器有限元法/边界元法(FEM/BEM); 在线阅读下载PDF 职称材料

LiTaO_(3)/石英HAL声表谐振器基于膜厚的优化研究: 5; 作者吴冉冉史向龙 +4 位作者董加和陈彦光王晓彧吴浩东张晓东《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期736-738,742,共4页; 异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基... 展开更多; 关键词异质声层状结构(HAL) 声表面波(SAW) 品质因数(Q) 高阻抗比机电耦合系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

TC-SAW滤波器仿真与设计技术被引量：1: 6; 作者陈晓阳苏波 +4 位作者叶志史向龙范佰杰张俊茜于倩至《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期560-565,共6页; 该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波... 展开更多; 关键词声表面波(SAW) 滤波器高温稳定型声表面波(TC-SAW) 三维耦合模式模型(COM) FEM/BEM; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于温度补偿型声表面波滤波器温补层的化学机械抛光工艺: 7; 作者冯志博李湃 +3 位作者袁燕史向龙于海洋孟腾飞《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期320-326,共7页; 在制备温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器温补层工艺过程中,温补层薄膜的厚度控制、膜层质量控制和膜厚不均匀性(NU)控制十分重要。对TC-SAW滤波器晶圆的温补层的化学机械抛光(CMP)工艺进行了研究,探讨了不同晶圆背压和保持环压力的比... 展开更多; 关键词化学机械抛光(CMP) 声表面波滤波器温补层膜厚不均匀性温漂系数; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名周期栅格中的场与COM参量提取被引量：2: 1; 作者史向龙王昊王为标吴浩东水永安; 机构南京大学近代声学重点实验室无锡好达电子有限公司; 出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第2期168-173,共6页; 基金中国自然科学基金资助项目(No.10774073); 文摘从耦合模式模型(COM)方程出发,得到周期短路栅格与开路栅格中场分布的解析表达式,利用给出COM参量,研究了场分布的特征,通过对解析表达式和典型频率的场分布图形的研究,找到与场分布有关的一些特征量,并将这些特征量与COM参量通过一定的解析关系联系起来。在用其他方法得到了周期栅格中的场分布时,可拟合场分布包含的这些特征量从而得出对应的COM参量。该文给出了一种从场分布提取随频率变化的COM参量的方法。; 关键词声表器件耦合模式模型(COM)参量短路栅开路栅; Keywords SAW devices COM parameters shorted-circuited grating open-circuited grating; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] O42 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法: 2; 作者张智欣陈长娥韩茜茜史向龙魏家贵苏波范佰杰林树超; 机构北京航天微电科技有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期655-659,共5页; 文摘针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 dB,通道频段的相互抑制≥50 dB,隔离度≥50 dB,尺寸为2.0 mm×1.6 mm×0.9 mm。该双工器具有小体积、低插损、高阻带、高隔离等特性,符合应用系统对双工器的使用需求。; 关键词高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器小型化高隔离低插损; Keywords FBAR duplexer miniaturization high isolation low insertion loss; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN64 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器研制被引量：2: 3; 作者史向龙陈晓阳苏波张俊茜于倩至孙伟彬; 机构北京无线电测量研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期210-214,255,共6页; 文摘该文提出了5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器的研制方法。首先根据产品指标,从双信道滤波器拓扑结构设计与信号端隔离两方面确定设计方案;再通过耦合模式模型结合全波仿真对产品进行仿真优化;最后通过有限元法/边界元法(FEM/BEM)进行器件性能验证。结果表明,产品实验与仿真结果图形吻合良好,且完全满足市场要求,证明了该文研究方法的可行性。; 关键词双接收滤波器耦合模式模型电磁仿真低损耗; Keywords SAW dual filter coupling-of-mode electromagnetic simulation little loss; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] O42 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计: 4; 作者史向龙陈晓阳张俊茜苏波于倩至孙伟彬; 机构北京无线电测量研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期230-233,共4页; 文摘该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软件进行精确的声学验证,最后通过实验验证了仿真结果的有效性。; 关键词声表面波(SAW)滤波器 Band3频段七阶换能器谐振器有限元法/边界元法(FEM/BEM); Keywords surface acoustic wave(SAW)filter Band3 7-interdigital transducer(7-IDT) resonator finite element method/boundary element method(FEM/BEM); 分类号 TN713 [电子电信—电路与系统] TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LiTaO_(3)/石英HAL声表谐振器基于膜厚的优化研究: 5; 作者吴冉冉史向龙董加和陈彦光王晓彧吴浩东张晓东; 机构南京大学声学研究所北京航天微电科技有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所南京工业职业技术大学航空工程学院苏州科技大学电子与信息工程学院; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期736-738,742,共4页; 基金国家重点研发计划基金资助项目(2016YFC0104802)。; 文摘异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基底,Cu作为金属电极的单端口HAL SAW谐振器模型。首先计算了位移场分布,分析了HAL中传播的声波模式。随后计算了LiTaO_(3)(LT)厚度h_(LT)=0.1λ~0.2λ(λ为波长),Cu电极厚度h_(Cu)=0.04λ~0.1λ下器件的伯德(Bode)-Q、机电耦合系数K^(2)和阻抗比,研究了不同LT厚度下谐振器的Bode-Q、K^(2)和阻抗比随电极厚度的变化。结果表明,当h_(LT)=0.1λ~0.2λ时,最佳Cu电极厚度均为0.05λ,理想LT厚度下Bode-Q和阻抗比分别高达3000和98 dB。; 关键词异质声层状结构(HAL) 声表面波(SAW) 品质因数(Q) 高阻抗比机电耦合系数; Keywords hetero acoustic layer(HAL) SAW Q factor high impedance ratio electromechanical coupling factor; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] O42 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名TC-SAW滤波器仿真与设计技术被引量：1: 6; 作者陈晓阳苏波叶志史向龙范佰杰张俊茜于倩至; 机构北京无线电测量研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期560-565,共6页; 文摘该文介绍了温度补偿滤波器的设计方法。通过研究温度补偿结构的材料,在性能和温度系数之间求取最佳的层间参数搭配。在此基础上提取三维耦合模式模型(COM)参数数据库,并置于设计仿真软件中,最终可以实现高温稳定型声表面波(TC-SAW)滤波器的设计优化。根据指标要求设计目标函数,设计出满足要求的低损耗TC-SAW滤波器。利用多层FEM/BEM软件对性能进行精确验证,实验结果与仿真结果吻合良好。; 关键词声表面波(SAW) 滤波器高温稳定型声表面波(TC-SAW) 三维耦合模式模型(COM) FEM/BEM; Keywords surface acoustic wave(SAW) filter temperature compensated SAW(TC-SAW) 3-D coupling of modes(COM) FEM/BEM; 分类号 TN65 [电子电信—电路与系统] TN713 [电子电信—电路与系统] O42 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于温度补偿型声表面波滤波器温补层的化学机械抛光工艺: 7; 作者冯志博李湃袁燕史向龙于海洋孟腾飞; 机构北京航天微电科技有限公司; 出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期320-326,共7页; 文摘在制备温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器温补层工艺过程中,温补层薄膜的厚度控制、膜层质量控制和膜厚不均匀性(NU)控制十分重要。对TC-SAW滤波器晶圆的温补层的化学机械抛光(CMP)工艺进行了研究,探讨了不同晶圆背压和保持环压力的比值、抛光头转速和抛光盘转速的比值等对温补层的影响,进一步优化工艺参数,并研究了CMP对温补层表面粗糙度的影响。结果表明:采用优化后的工艺参数,即晶圆背压与保持环压力比值约为1.46(晶圆背压为350 g/cm^(3),保持环压力为240 g/cm^(3))、抛光头转速为93 r/min、抛光盘转速为87 r/min时,可以获得厚度稳定、表面均匀性良好、粗糙度为0.4 nm的膜层。最后将TC-SAW滤波器晶圆温补层进行化学机械抛光,得到膜厚为605.4 nm,总厚度偏差(TTV)为62.06 nm,NU为2.54%的温补层表面,最终得到滤波器的温漂系数为-1.478×10^(-5)/℃,可以满足设计要求,提高了滤波器的合格率。; 关键词化学机械抛光(CMP) 声表面波滤波器温补层膜厚不均匀性温漂系数; Keywords chemical mechanical polishing(CMP) surface acoustic wave filter temperature compensation layer film thickness non-uniformity(NU) temperature drift coefficient; 分类号 TN305.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	周期栅格中的场与COM参量提取	史向龙王昊王为标吴浩东水永安	《压电与声光》 CSCD 北大核心	2011	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法	张智欣陈长娥韩茜茜史向龙魏家贵苏波范佰杰林树超	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	5G通信载波聚合用B34&B39双接收滤波器研制	史向龙陈晓阳苏波张俊茜于倩至孙伟彬	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计	史向龙陈晓阳张俊茜苏波于倩至孙伟彬	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	LiTaO_(3)/石英HAL声表谐振器基于膜厚的优化研究	吴冉冉史向龙董加和陈彦光王晓彧吴浩东张晓东	《压电与声光》 CAS 北大核心	2021	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	TC-SAW滤波器仿真与设计技术	陈晓阳苏波叶志史向龙范佰杰张俊茜于倩至	《压电与声光》 CAS 北大核心	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料
7	用于温度补偿型声表面波滤波器温补层的化学机械抛光工艺	冯志博李湃袁燕史向龙于海洋孟腾飞	《微纳电子技术》 CAS 北大核心	2023	0	在线阅读下载PDF 职称材料