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一种非接触式微加速度开关的研究
被引量：
5
1
作者
郭涛
李丽华
劳永建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期664-666,共3页
典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合。一般为金属接触,比如金。但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵。鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微...
典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合。一般为金属接触,比如金。但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵。鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证。
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关键词
微加速度开关
非接触式
低驱动电压
力电耦合分析
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职称材料
题名
一种非接触式微加速度开关的研究
被引量：
5
1
作者
郭涛
李丽华
劳永建
机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期664-666,共3页
基金
国家自然科学基金资助(50775209
E052502)
文摘
典型的微加速度开关至少包含一个电接触,当阈值加速度值达到时,该开关将闭合。一般为金属接触,比如金。但金属接触可能存在许多问题,如微焊接、电弧、氧化,这些问题可能导致开关工作失灵。鉴于此,本文介绍了一种低驱动电压的非接触式微加速度开关(阈值为5gn)的设计理论、研究方法和主要加工工艺步骤,同时对非接触式微加速度开关结构的力电耦合进行理论计算,结合ANSYS软件仿真分析验证。
关键词
微加速度开关
非接触式
低驱动电压
力电耦合分析
Keywords
acceleration micro switches
contactless
low actuation voltage
coupling between electrostatic force and mechanical force
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种非接触式微加速度开关的研究
郭涛
李丽华
劳永建
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
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